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公开(公告)号：CN107003168B
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201580044670.6
申请日：2015-11-02
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G01F23/22 , B01J4/00 , C23C16/455 , H01L21/31
Abstract: 本发明提供一种在可以从液相切换到气相的检测时间上减少流量依存性的同时，缩短检测时间的液面计以及液体原料气化供给装置。该液面计具备：贮存液体原料的腔体(2)；收容用于检测腔体(2)内的液面(L1)的测温电阻的至少一根保护管(3)；以及控制从腔体(2)流出的气体的流量并进行供给的流量控制装置(4)，其中，保护管(3)沿水平方向插入并固定于腔体(2)的侧壁(2a)。
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公开(公告)号：CN107532298B
公开(公告)日：2019-07-26
申请号：CN201680007156.X
申请日：2016-04-11
Applicant: 株式会社富士金
IPC: C23C16/448 , B01J4/00 , B01J7/02 , C23C16/52 , H01L21/31
Abstract: 本发明提供一种可解除从气化器内通往流量控制装置的气体流路内被液体充满的不当情况的气化供给装置。该气化供给装置具备：气化器(2)，其将液体(L)加热而使其气化；流量控制装置(3)，其控制从气化器送出的气体的流量；第一控制阀(5)，其介入设置于液体向气化器(2)的供给路径(4)中；压力检测器(6)，其用于检测出在气化器(2)被气化并送往流量控制装置(3)的气体的压力；液体检测部(7A)，其测定气化器(2)内的超过预定量的液体的参数；以及控制装置(8)，其按照如下方式进行控制：以能够根据压力检测器(6)检测出的压力值向气化器(2)供给预定量的液体(L)的方式控制第一控制阀(5)，且在液体检测部(7A)检测到液体时，关闭第一控制阀(5)。
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公开(公告)号：CN103858212B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201280047608.9
申请日：2012-07-24
Applicant: 株式会社富士金 , 国立大学法人东北大学
IPC: H01L21/205 , C23C16/448
CPC classification number: C23C16/4481
Abstract: 本发明提供能够使气化器内的压力的举动稳定的气化器。本发明的气化器具备：腔，其具备流入口以及流出口；加热装置，其加热该腔内；隔壁构造体(13)，其设于该腔内，并将该腔内的液体材料划分到多个区划；以及液体流通部(20)，其设于隔壁构造体(13)的下部，以容许利用隔壁构造体(13)划分的各区划之间的液体流通，所述隔壁构造体具有格子状、蜂窝状、网孔状、或管状的隔壁。
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公开(公告)号：CN1202987C
公开(公告)日：2005-05-25
申请号：CN00801205.9
申请日：2000-06-05
IPC: C01B5/00
Abstract: 本发明的主要目的为，更彻底地防止水分发生用反应炉体内部中氢气着火或气体供给源一侧回火的发生以及镀铂触媒层的剥离，进一步提高水分发生用反应炉的安全性，同时减少反应炉体的内部空间的未利用空间，使反应炉体进一步小型化。为此，在本发明中，有气体供给口1a的入口侧炉体构件1和有水汽出口2a的出口侧炉体构件2对置状组装，通过将两者焊接形成反应炉体A，其内部空间V内设有反射体的同时在前述出口侧炉体构件2的内壁面形成镀铂触媒层8，从气体供给口1a供给反应炉体A的内部空间V内的氢气与氧气与镀铂保护膜8b接触使其活性化反应，从而使氢气与氧气在非燃烧状态下反应，产生水。
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公开(公告)号：CN1356961A
公开(公告)日：2002-07-03
申请号：CN00801205.9
申请日：2000-06-05
IPC: C01B5/00
Abstract: 本发明的主要目的为,更彻底地防止水分发生用反应炉体内部中氢气着火或气体供给源一侧回火的发生以及镀铂触媒层的剥离,进一步提高水分发生用反应炉的安全性,同时减少反应炉体的内部空间的未利用空间,使反应炉体进一步小型化。为此,在本发明中,有气体供给口1a的入口侧炉体构件1和有水汽出口2a的出口侧炉体构件2对置状组装,通过将两者焊接形成反应炉体A,其内部空间V内设有反射体的同时在前述出口侧炉体构件2的内壁面形成镀铂触媒层8,从气体供给口1a供给反应炉体A的内部空间V内的氢气与氧气与镀铂保护膜8b接触使其活性化反应,从而使氢气与氧气在非燃烧状态下反应,产生水。
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