公开(公告)号：CN1419045A

公开(公告)日：2003-05-21

申请号：CN02160295.6

申请日：2002-08-30

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 石井贤 ,  中尾隆 ,  牛久幸广 ,  佐俣秀一

IPC: F02M3/09 ,  F04C25/02 ,  F16L59/06 ,  H01L21/00

CPC classification number: G05B9/02 ,  G05B23/024 ,  G05B23/0291

Abstract: 提供进行正确故障时间的预测，可进行安全低成本的维护的异常停止避免系统。包含：反应室(521)；将反应室(521)置于减压状态的真空泵(18，19)；向反应室(521)导入气体的气体供给控制系统(51)；测定真空泵(18，19)的特征量的时间系列数据的特征量传感器(31～37)；实时控制反应室(521)、真空泵(18，19)和气体供给控制系统(51)的实时控制器(531)；通过对时间系列数据的第一实时解析取得第一故障诊断数据，通过对第一故障诊断数据的第二实时解析取得第二故障诊断数据，由此预测故障的故障实时判定模块(533)。判断为异常停止的情况下，由气体供给控制系统(51)向反应室(521)导入清洁(purge)用气体。