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公开(公告)号：CN111758149A
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN201880090262.8
申请日：2018-10-25
IPC: H01L21/205 , A62D3/36 , A62D101/49 , C23C16/44
Abstract: 根据一实施方式，提供一种处理液。处理液是用于对通过使用包含硅及卤素的气体使含硅物在基材上沉积的方法而产生的副产物进行处理的处理液。处理液包含无机碱及有机碱中的至少一者，且为碱性。
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公开(公告)号：CN107415383A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201710569491.5
申请日：2016-03-17
Applicant: 株式会社东芝
IPC: B32B27/08 , B32B27/06 , B32B27/36 , B32B27/34 , B32B27/30 , B32B27/32 , B32B27/02 , B32B27/38 , B32B15/14 , B32B15/20 , B32B15/082 , B32B33/00 , B32B7/08 , B32B7/12
CPC classification number: B32B5/022 , B32B3/04 , B32B3/06 , B32B3/26 , B32B5/026 , B32B5/08 , B32B5/24 , B32B5/26 , B32B7/045 , B32B7/05 , B32B15/02 , B32B15/082 , B32B15/088 , B32B15/14 , B32B15/20 , B32B27/12 , B32B27/302 , B32B27/308 , B32B27/32 , B32B27/34 , B32B27/36 , B32B2250/44 , B32B2262/023 , B32B2262/0246 , B32B2262/0253 , B32B2262/0261 , B32B2262/0276 , B32B2262/0284 , B32B2262/101 , B32B2262/105 , B32B2262/106 , B32B2262/14 , B32B2264/101 , B32B2264/102 , B32B2264/104 , B32B2264/105 , B32B2307/202 , B32B2307/204 , B32B2307/302 , B32B2307/304 , B32B2307/31 , B32B2307/50 , B32B2307/718 , B32B2307/72 , B32B2307/732 , B32B2363/00 , B32B2535/00 , B32B2553/00 , B32B2603/00 , B32B2605/08 , B32B2605/10 , B32B2605/18 , B32B27/08 , B32B7/08 , B32B7/12 , B32B27/306 , B32B33/00 , B32B2255/102 , B32B2255/205 , B32B2307/206 , B32B2311/24 , B32B2329/04 , B32B2333/00 , B32B2367/00 , B32B2377/00
Abstract: 根据实施方式，提供一种结构体，其具备：由纤维构成的芯材、和构成芯材且与芯材接触的内芯材。
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公开(公告)号：CN112970095B
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202080005934.8
申请日：2020-01-22
Applicant: 株式会社东芝 , 铠侠股份有限公司 , 国立大学法人东北大学
IPC: H01L21/205 , C23C16/44
Abstract: 根据实施方式，本申请提供一种处理装置，其对在包含硅及卤族元素的原料物质的反应或者包含硅的原料物质与包含卤族元素的原料物质的反应中产生的副产物进行处理。处理装置具备处理液罐、处理槽、供给机构和排气机构。在处理液罐中贮液包含碱性的水溶液处理液。向处理槽中投入包含副产物被处理构件。供给机构从处理液罐向处理槽供给处理液，通过所供给的处理液，在处理槽中对副产物进行处理。排气机构将通过处理液与副产物的反应而产生的气体从处理槽排气。
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公开(公告)号：CN110387587B
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN201910186702.6
申请日：2019-03-13
Applicant: 株式会社东芝
IPC: D01D5/00
Abstract: 本发明提供电场纺丝头以及电场纺丝装置，为简单的构成，能够控制飞翔的纤维的扩展以及纤维朝基材的引导，实现纤维膜的质量以及生产率的提高，进而实现装置成本降低。实施方式的电场纺丝头具有：喷嘴单元，与基材对置地配置，通过被施加电压而能够排出纤维的原料液；以及控制体，以向上述基材与上述喷嘴单元之间的纺丝空间的外侧方向延伸的方式配置于上述喷嘴单元的附近，且被施加与对上述喷嘴单元施加的电压相同极性的电压，能够在上述喷嘴单元的周边产生电场。
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公开(公告)号：CN112442741A
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：CN202010606404.0
申请日：2020-06-29
Applicant: 株式会社东芝
IPC: D01D5/00
Abstract: 本发明的实施方式涉及电场纺丝头及电场纺丝装置，能够适当地从喷出口朝向收集体及基材喷出原料液。根据实施方式，电场纺丝头具备头主体及喷嘴。在头主体的内部形成有收纳空洞，喷嘴从头主体的外周面突出。在喷嘴在内部形成有与收纳空洞连通的流路，在突出端形成有流路的喷出口。在喷嘴，第1延伸设置部形成与头主体连接的连接部分，第2延伸设置部从第1延伸设置部突出，并且形成突出端。与第1延伸设置部的除了流路之外的部分的第1体积相比，第2延伸设置部的除了流路之外的部分的第2体积较小，第2延伸设置部与第1延伸设置部相比，沿着突出方向的尺寸较小。
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公开(公告)号：CN111690992A
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN202010122718.3
申请日：2020-02-27
Applicant: 株式会社东芝
IPC: D01D5/00
Abstract: 本发明的实施方式涉及喷头单元、电场纺丝喷头以及电场纺丝装置。提供可抑制结构以及控制系统的复杂化、制造成本的增加以及生产率的降低并且恰当地形成宽度方向尺寸大的纤维的膜的喷头单元、电场纺丝喷头以及电场纺丝装置。根据实施方式，电场纺丝喷头具备多个喷头单元以及连结构造，多个喷头单元通过连结构造相互连结。多个喷丝喷头单元分别具备单元主体以及喷嘴。在单元主体的内部沿着长边轴形成用于收纳原料液的空洞。喷嘴由导电材料形成，并且设置在单元主体的外周面。喷嘴喷出经由单元主体的空洞供给的原料液。连结构造在单元主体的空洞相互连通的状态下将多个喷头单元连结。
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公开(公告)号：CN111758149B
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN201880090262.8
申请日：2018-10-25
Applicant: 株式会社东芝 , 国立大学法人东北大学
IPC: H01L21/205 , A62D3/36 , A62D101/49 , C23C16/44
Abstract: 根据一实施方式，提供一种处理液。处理液是用于对通过使用包含硅及卤素的气体使含硅物在基材上沉积的方法而产生的副产物进行处理的处理液。处理液包含无机碱及有机碱中的至少一者，且为碱性。
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公开(公告)号：CN111758148B
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN201880090250.5
申请日：2018-10-25
Applicant: 株式会社东芝 , 国立大学法人东北大学
IPC: H01L21/205 , A62D3/36 , A62D101/49 , C23C16/44
Abstract: 根据一实施方式，提供一种处理液。处理液是用于对具有环状结构的卤硅烷类进行处理的处理液。处理液包含无机碱及有机碱中的至少一者，且为碱性。
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公开(公告)号：CN112997281B
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202080005933.3
申请日：2020-01-15
Applicant: 株式会社东芝 , 铠侠股份有限公司 , 国立大学法人东北大学
Abstract: 根据实施方式，本申请提供一种判定方法。判定方法对在使包含硅及卤素的物质反应或者使包含硅的物质与包含卤素的物质反应的工序中产生的副产物的处理的进行判定。副产物的处理包括使包含水的处理液与副产物接触而得到第一固形物。判定方法包括基于关于第一固形物的Si‑α键(α为选自由F、Cl、Br及I构成的组中的至少1种)及Si‑H键中的至少一者的利用化学分析的信号来判定副产物的处理的进行。
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