公开(公告)号：CN102419512A

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：CN201110226018.X

申请日：2011-08-08

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 中川泰忠 ,  河野拓也 ,  米田郁男 ,  幡野正之

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/16 ,  H01L21/312

CPC classification number: G05B19/418 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/16

Abstract: 本发明提供微细加工方法及微细加工装置。根据一个实施方式，提供利用抗蚀剂的微细加工方法。按图案形成面的第一区域决定所需的抗蚀剂量。决定图案形成面整个区域的抗蚀剂总量。抗蚀剂总量除以抗蚀剂滴的容量。决定抗蚀剂滴的总数，对于该总数个抗蚀剂滴中的每个抗蚀剂滴，决定在图案形成面中的临时位置。按最接近的抗蚀剂滴分配各个第一区域。按第二区域重新划分图案形成面，该第二区域按抗蚀剂滴分配。按第二区域，决定一个抗蚀剂滴的容量除以对属于第二区域内的第一区域中的每个第一区域决定的需要的抗蚀剂量的总计而得到的值。在除法运算得到的值在图案形成面内的分布处于设为目标的范围内时，确定全部抗蚀剂滴的位置。

公开(公告)号：CN101271977B

公开(公告)日：2012-01-11

申请号：CN200810086883.7

申请日：2008-03-20

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 寺田贵洋 ,  中川泰忠 ,  笹木裕司 ,  吉田勇一

IPC: H01M8/02 ,  H01M8/10

CPC classification number: H01M8/04007 ,  H01M8/0289 ,  H01M8/04186 ,  H01M8/1011 ,  H01M8/1065 ,  Y02E60/523 ,  Y02P70/56

Abstract: 本发明提供一种燃料分布调整方法、燃料分布调整膜及其制造方法，能够通过调整燃料供给量在膜电极接合体上的分布而使膜电极接合体中的温度分布变得均匀。该燃料分布调整方法的特征在于：借助于在燃料电池的膜电极接合体的燃料供给侧设置的膜，来调整向上述膜电极接合体供给的燃料供给量的分布，以使上述膜电极接合体中的温度分布变得大致均匀。

公开(公告)号：CN101364651A

公开(公告)日：2009-02-11

申请号：CN200810215720.4

申请日：2005-12-13

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 寺田贵洋 ,  中川泰忠 ,  中田慎二 ,  吉田勇一

IPC: H01M8/10 ,  H01M8/04 ,  H01M8/02 ,  H01M8/00

Abstract: 一种燃料电池包括多个起电部分、第一薄片、第二薄片、补给部分、以及燃料调节薄膜。多个起电部分引起燃料和氧气进行相互的化学反应以产生电能。第一薄片对多个起电部分供应燃料。第二薄片对多个起电部分供应氧气。补给部分，置于第一薄片的预定部分，以向第一薄片补给燃料。燃料调节薄膜，插入在第一薄片中，以调节从第一薄片供应给多个起电部分中的燃料量。

公开(公告)号：CN101093879A

公开(公告)日：2007-12-26

申请号：CN200710085872.2

申请日：2007-03-08

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 寺田贵洋 ,  中川泰忠 ,  笹木裕司 ,  吉田勇一

IPC: H01M2/08 ,  H01M8/02 ,  H01M8/10 ,  H01M8/24

CPC classification number: H01M8/0276 ,  H01M8/0284 ,  H01M2008/1095

Abstract: 本发明提供减少燃料泄漏的燃料电池密封件以及燃料电池。燃料电池密封件的特征在于，由主面上有凸部的第1密封构件(11)和主面上有与上述凸部的至少一部分相互嵌合的凹部的第2密封构件(12)构成。燃料电池具有：固体电解质膜(106)，分别在上述固体电解质膜(106)的两主面侧相对设置的第1及第2密封构件，设置在上述第1密封构件(11)中与上述固体电解质膜(106)相反的一侧的燃料极(105)，设置在上述第2密封构件(12)中与上述固体电解质膜(106)相反侧的氧化剂极(107)；其特征在于，上述第1、第2密封构件中一个有凸部，上述第1、第2密封构件中另一个有与上述凸部的至少一部分相互嵌合的凹部，上述第1及第2密封构件隔着上述固体电解质膜(106)相互嵌合。