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公开(公告)号：CN212581999U
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：CN202021228908.5
申请日：2020-06-29
Applicant: 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
Abstract: 本实用新型涉及溅射镀膜技术领域，尤其为一种具有调节功能的小型磁控溅射镀膜机，包括壳体、靶材结构和基板，所述壳体的右端内侧固定连接有双出轴电机，所述双出轴电机的一端主轴末端固定连接有第一螺杆，所述双出轴电机的一端主轴末端固定连接有第二螺杆，所述第一螺杆的外侧螺旋连接有连接杆，本实用新型中，通过设置的双出轴电机、第一螺杆、第二螺杆和限位杆等构件，通过双出轴电机带动第一螺杆与第二螺杆转动，第一螺杆与第二螺杆的螺纹方向相反，因此固定杆与连接杆的移动方向相反，即可控制基板与靶材结构移动，即可便于控制基板与靶材结构之间的距离，使得基板与靶材结构之间的距离通过控制双出轴电机得到控制，提高了灵活性。
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公开(公告)号：CN222029037U
公开(公告)日：2024-11-19
申请号：CN202323551280.9
申请日：2023-12-26
Applicant: 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
IPC: H01J3/04
Abstract: 本实用新型涉及往复移动机构技术领域，具体为一种离子源往复移动机构，包括安装座、移动座、支撑块，所述安装座的外侧固定连接有电机，所述电机的输出轴与安装座转动连接，所述电机的输出轴上固定连接有螺杆，所述螺杆与安装座通过轴承连接，所述螺杆的外侧通过螺纹连接有移动座，所述移动座与安装座滑动连接，所述移动座的外侧设置有清理机构。本实用新型通过设置有滑杆、固定板、限位孔等部件，抽出滑杆，将固定板安装在支撑块内，松开滑杆，安装板在弹簧弹力作用下，带动滑杆向固定板方向移动，滑杆卡入限位孔，对固定板进行固定，解决了离子源器固定在支撑块上，不便于对其进行维修的问题。
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公开(公告)号：CN221346650U
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202323207488.9
申请日：2023-11-27
Applicant: 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种行程可调式门铰链，包括真空室，所述真空室的前端设置有铰链机构，所述真空室的前端通过铰链机构连接有门，所述门的前端设置有把手，所述铰链机构包括第一安装座、防撞条、第一轴销、活动板、第二安装座、第二轴销、第一轴孔、第二轴孔、第一限位螺丝、第二限位螺丝。本实用新型通过采用双轴销的铰链，可以避免开门时的门下垂，同时也大大提高的承载能力。并且在铰链上安装有限位螺丝，可以调节补偿行程的范围；安装橡胶制作的防撞条，可以避免门打开角度过大撞到铰链安装座上。
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公开(公告)号：CN216668604U
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202122298163.0
申请日：2021-09-23
Applicant: 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
IPC: G01B11/06
Abstract: 本实用新型涉及一种全自动膜厚光学测试仪，包括：操作台，操作台上设有对薄膜进行厚度检测的膜厚检测本体，膜厚检测本体上设有膜厚检测头；设置在操作台上用于对膜厚检测本体进行高度调节的高度调节机构，高度调节机构包括：驱动连接杆、与驱动连接杆转动连接的驱动电机；以及，位于操作台对薄膜进行送料检测的自动送料机构，自动送料机构包括：送料辊、与送料辊相对设置的收料辊、以及设置在送料辊与收料辊之间的自动送料装置。通过采用自动送料装置设置，实现对薄膜自动收料和进料；高度调节机构的设置，对检测的高度进行调节，实现对不同类型的薄膜检测，提高检测仪的适用性，具有自动程度高的优点。
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公开(公告)号：CN221663006U
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202323180120.8
申请日：2023-11-24
Applicant: 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
Abstract: 本实用新型涉及大尺寸基盘技术领域，具体为一种离子溅射镀膜机用大尺寸基盘，包括基板、行星轮，所述基板的上端固定连接有支撑板。本实用新型通过设置有外齿圈、磁流体、电机等部件，通过行星轮结构，使基板转动的时候保持平稳，降低基板在旋转时候产生的跳动公差，这样在镀膜过程中，使覆着的材料分子排布更均匀，镀膜区域也得到了扩大，解决了目前常规的离子束溅射镀膜机基板使用高速电机带动1个基板，或者行星轮带动4个基板匀速转动，每个基板尺寸一般不超过14英寸1因为随着基板尺寸的增加，旋转时所需扭矩与基板平面跳动也会同步增加，目前离子束溅射镀膜领域缺少单个大尺寸基板的结构的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN216663219U
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202122298139.7
申请日：2021-09-23
Applicant: 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
Abstract: 本实用新型涉及磁控溅射镀膜机领域，公开了一种全自动带Pas辅助源的磁控溅射镀膜机。包括：腔体，设于腔体内的磁控溅射镀膜装置，磁控溅射镀膜装置包括：设于腔体内的安装座、连接于安装座上的磁极、设于磁极上的溅射靶、设于腔体内且与安装座对应的固定座、以及设于固定座上的基片承托台。设于腔体内与安装座和固定座配合的屏蔽罩体，设于腔体内驱动屏蔽罩体进行升降的驱动装置。设于屏蔽罩体内的阻挡装置。通过上述设置，使电子不断的与Ar离子发生碰撞，增加了覆膜的均匀性，提高了溅射效率和成膜速度。
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公开(公告)号：CN213271041U
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN202021276041.0
申请日：2020-07-01
Applicant: 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
Abstract: 本实用新型公开的用于控制扩散泵返油的装置，包括驱动气缸，所述驱动气缸的一侧外表面活动安装有联轴器，所述联轴器的一端外表面固定连接第一蝶阀轴有，所述第一蝶阀轴远离联轴器的一端设置有蝶阀体，所述蝶阀体的内侧活动安装有第一齿轮和第二齿轮，所述第一齿轮位于第二齿轮的前方位置。本实用新型所述的用于控制扩散泵返油的装置，能够在不改变降低扩散泵抽速的前提下减少扩散泵返油，同时可以根据工艺性的需要调节蝶阀板的开口大小控制扩散泵的抽速的大小，并且通过蝶阀板下方的密封条的贴合，增加蝶阀体的密封效果，能够在装置进行安装使用时，对装置进行快速的安装支撑固定，并缓冲上下冲击力，为装置的安装使用带来了便利。
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公开(公告)号：CN212610880U
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN202021230739.9
申请日：2020-06-29
Applicant: 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
Abstract: 本实用新型涉及离子镀膜机技术领域，尤其为一种具有行星轮夹具结构的离子溅射镀膜机，包括真空外壳，所述真空外壳的底端内侧固定连接有固定台，所述固定台的一端内侧固定连接有基板皮带式运送装置，所述基板皮带式运送装置的一端设置有运送垫块，所述运送垫块的顶端外侧接触连接有镀膜基板，所述固定台的顶端外侧固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的伸缩主轴末端固定连接有电机固定块，所述电机固定块的一端内侧固定连接有第一伺服电机，所述第一伺服电机的主轴末端固定连接有转动连接杆，本实用新型中，通过设置的基板皮带式运送装置、行星齿轮、高精度小齿轮、移动夹头，可以使装置实现多基板高精度长时间的连续镀膜。
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公开(公告)号：CN212610872U
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN202021230499.2
申请日：2020-06-29
Applicant: 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
IPC: C23C14/30
Abstract: 本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其为一种便于更换卡具的电子枪蒸镀装置，包括蒸镀框体，所述蒸镀框体的一侧固定有控制柜，且蒸镀框体的正面一侧安装有密封盖板，所述蒸镀框体的内部中上端位置固定有支撑顶板，且支撑顶板的内部两侧均安装有电子枪体，所述支撑顶板的顶部正上方安装有保护罩，且保护罩的内部固定有离子源，所述保护罩的底部位置安装有遮挡罩，本实用新型中，通过设置的短杆、第二弹簧、凸块和卡块，当单一卡具发生受损时，受牵引作用后的短杆在克服第二弹簧的回弹作用力后，使得凸块与卡块之间实现分离，后期该装置只需借助向外抽拉的方式，即可实现对单一卡具的拆卸操作，后期进行更换操作将会更加便捷。
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公开(公告)号：CN221664997U
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202323553859.9
申请日：2023-12-26
Applicant: 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
IPC: F04D29/66
Abstract: 本实用新型涉及抽气结构技术领域，具体为一种扰流板，包括进风箱，所述进风箱上设置有安装机构，所述安装机构包括密封板，所述进风箱的上端通过螺栓连接有密封板，所述密封板的上端固定连接有把手，所述密封板的下端固定连接有连接条，所述连接条与进风箱滑动连接，所述连接条的下端固定连接有安装框。本实用新型通过设置有过滤网、半球块、碰撞杆等部件，风机抽气时，过滤网对进入的空气进行过滤，风带动叶轮旋转，叶轮通过旋转杆带动碰撞杆旋转，碰撞杆对半球块进行碰撞，半球块带动过滤网振动，防止过滤网堵塞，解决了抽气结构在抽气时，抽入的空气中可能含有杂质，影响内部的空气质量的问题。
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