测定方法和测定装置
    14.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103765158A

    公开(公告)日:2014-04-30

    申请号:CN201280041663.7

    申请日:2012-09-05

    Abstract: 本发明的目的在于非接触性/非破坏性且简便地测定形成于被检体的表面的覆膜的膜厚,得到覆膜的组分的信息,分光装置(10)事先测定已知的被检体的分光数据,运算装置(22)对测定出的分光数据进行基底分解,提取该分光数据的特征量,计算该特征量与形成于所述已知的被检体的表面的覆膜的膜厚和组分之间的关系,分光装置(10)测定所述被检体的分光数据,运算装置(22)对测定出的被检体的分光数据进行基底分解,提取该分光数据的特征量,根据计算出的已知的被检体的分光数据的特征量与覆膜的膜厚和组分之间的关系,计算形成于所述被检体的表面的覆膜的膜厚和组分。

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