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公开(公告)号：CN116145201A
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202310199518.1
申请日：2023-03-04
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于超声驻波剥离阴极涂层的设备及方法。本发明的龙门架两侧内壁与两个Y轴运动机构中的Y轴移动板分别固定；龙门架两侧内壁均设有Z轴运动机构，两个Z轴运动机构中每对称的两个支撑块与一个X轴运动机构中两个支撑板的两端分别固定；每个X轴运动机构的工作台均固定有振动头固定板，振动头固定板上设有多个超声振动模组，超声振动模组中换能器通过电缆与超声波发生器连接；固定在振动头固定板上的吸嘴抽出口通过波纹管与工业吸尘器的吸入端连接。本发明通过驻波振动使阴极涂层内部产生撕裂现象，达到剥离阴极涂层的目的，且避免了飞溅物的产生，同时减小了对阴极板的损伤，提高了阴极板的可重复利用率。
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公开(公告)号：CN113210215A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN202110532112.1
申请日：2021-05-17
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种悬浮式匀胶机及其匀胶方法。现有匀胶机涂膜不均匀。本发明包括底座，所述底座上设有风筒；所述风筒上固定匀胶室，所述匀胶室为空腔结构，且匀胶室的底端与风筒连通，所述匀胶室的侧壁开设有通气孔，所述匀胶室内设有载片托盘，所述载片托盘的侧壁上开设有沿周向均布的多个气道；所述风筒内位于所述载片托盘正下方位置处固定设有出风装置；所述出风装置的进气口和所述载片托盘的通气孔均与气体发生装置连接，所述出风装置用于驱动所述载片托盘悬浮，所述通气孔与气道配合用于驱动载片托盘旋转。本发明使得载片托盘中的晶片在空中旋转，没有任何直接的干扰，保证了晶片的形状不会受到破坏，增加了匀胶晶片的成品率。
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公开(公告)号：CN113210215B
公开(公告)日：2022-07-19
申请号：CN202110532112.1
申请日：2021-05-17
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种悬浮式匀胶机及其匀胶方法。现有匀胶机涂膜不均匀。本发明包括底座，所述底座上设有风筒；所述风筒上固定匀胶室，所述匀胶室为空腔结构，且匀胶室的底端与风筒连通，所述匀胶室的侧壁开设有通气孔，所述匀胶室内设有载片托盘，所述载片托盘的侧壁上开设有沿周向均布的多个气道；所述风筒内位于所述载片托盘正下方位置处固定设有出风装置；所述出风装置的进气口和所述载片托盘的通气孔均与气体发生装置连接，所述出风装置用于驱动所述载片托盘悬浮，所述通气孔与气道配合用于驱动载片托盘旋转。本发明使得载片托盘中的晶片在空中旋转，没有任何直接的干扰，保证了晶片的形状不会受到破坏，增加了匀胶晶片的成品率。
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公开(公告)号：CN114314504A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111632799.2
申请日：2021-12-29
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种磁场与机械振动结合的硅纳米结构制备方法，通过振动硅片，使预先沉积在硅片上的导磁性膜析出导磁性金属粒子，通过向三个漆包线绕线组产生三个磁场，使导磁性金属粒子沿磁场的磁力线排布，并在持续振动作用下沿硅片表面磁力线指向与硅片表面发生撞击，使团聚在导磁性金属粒子周围的腐蚀液中的酸随导磁性金属粒子撞击硅片表面，与硅片反应；在振动与磁场结合作用下，导磁性金属粒子不断重复与硅片表面撞击，并不断回到磁力线位置进行排布，逐渐完成硅片表面的微纳米结构制备。本发明通过改变三个漆包线绕线组通入电流的频率、相位和幅值，能获得不同磁场分布，使导磁性金属粒子能带动腐蚀液中的酸在硅片上刻蚀出不同的预设图案。
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公开(公告)号：CN114291786A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202111681487.0
申请日：2021-12-29
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种磁场与振动结合的硅片微纳米结构制备装置，包括衔铁圈、漆包线绕线组、反应釜、振动器和夹紧托盘；衔铁圈固定在反应釜的侧壁上；三个漆包线绕线组绕在衔铁圈上；夹紧推盘固定在反应釜底部；反应釜底部与振动器的输出端固定连接；振动器和三个漆包线绕线组分别连接一个电源。本发明通过改变三个漆包线绕线组通入电流的频率、相位和幅值，能获得不同的磁场分布，使得导磁性金属粒子周围团聚的腐蚀液中的酸能在硅片上刻蚀出不同的预设图案；本发明结构简单，在硅片加工时具有较高的精度。
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