SiC单晶的评价用样品取得方法

    公开(公告)号:CN111272505A

    公开(公告)日:2020-06-12

    申请号:CN201911220551.8

    申请日:2019-12-03

    Inventor: 野口骏介

    Abstract: 一种SiC单晶的评价用样品取得方法,其特征在于,具有:使用从晶种沿着c轴方向使SiC结晶生长而成的SiC锭,在从构成结晶生长方向的顶端面的弯曲面朝向所述晶种的厚度位置在径向上切断所述SiC锭,得到包含所述弯曲面的头构件的工序;和研磨所述头构件的硅面从而得到评价用样品的工序。

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