公开(公告)号：CN102933738B

公开(公告)日：2014-10-15

申请号：CN201180027644.4

申请日：2011-06-15

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 谷藤信一 ,  山本兼司 ,  野村誉 ,  黑川好德 ,  后藤直行

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/35

CPC classification number: B23K9/00 ,  C23C14/325 ,  H01J37/32055 ,  H01J37/3402

Abstract: 本发明提供一种成膜速度快的电弧式蒸发源。本发明的电弧式蒸发源(1)具备：至少一个外周磁铁(3)，其包围标靶(2)的外周，并且被配置成其磁化方向沿着与标靶(2)的表面正交的方向；非环状的第一永磁铁(4A)，其配置于标靶(2)的背面侧，具有与所述外周磁铁(3)的极性同方向极性且被配置成其磁化方向沿着与标靶(2)的表面正交的方向；非环状的第二永磁铁(4B)，其在与所述第一永磁铁(4A)隔开间隔的状态下，配置于第一永磁铁(4A)与标靶(2)之间、或配置于第一永磁铁(4A)的背面侧，具有与所述外周磁铁(3)的极性同方向的极性并且被配置成其磁化方向沿着与标靶(2)的表面正交的方向；以及磁性体(5)，其配置在第一永磁铁(4A)与第二永磁铁(4B)之间。

公开(公告)号：CN101612822B

公开(公告)日：2014-01-15

申请号：CN200910149436.6

申请日：2009-06-22

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 山本兼司

IPC: B32B9/04 ,  B32B15/04 ,  C23C14/32 ,  C23C14/06 ,  C23C8/26 ,  C23C8/46 ,  C23C28/00

CPC classification number: C23C14/06 ,  C23C14/022 ,  C23C14/0641 ,  C23C14/0664 ,  C23C14/325 ,  C23C28/044 ,  C23C28/048 ,  C23C28/42 ,  C23C30/005 ,  Y10T408/567 ,  Y10T428/12771 ,  Y10T428/24975 ,  Y10T428/265

Abstract: 本发明提供耐磨损性及密合性优异的硬质被膜覆盖部件以及成形用工具。硬质被膜覆盖部件具备由含有Cr的铁基合金形成的基材、以1～10μm的膜厚形成于基材的表面的第1被膜层、以2～10μm的膜厚形成于第1被膜层的表面的第2被膜层，第1被膜层由Cr1-a-bMaBb(CcN1-c)构成，M为选自W、V、Mo、Nb、Ti、Al中的1种以上的元素，a、b、c为原子比时，满足0≤a≤0.7、0≤b≤0.15、0≤c≤0.5、0.3≤1-a-b，第2被膜层由Nb1-d-e-fCrdAleLf(CgN1-g)构成，L为选自Si、Y、B中的1种以上的元素，d、e、f、g为原子比时，满足0.05≤1-d-e-f≤0.5、0.05≤d≤0.5、0.4≤e≤0.7、0≤f≤0.15、0≤g≤0.5。

公开(公告)号：CN102304692B

公开(公告)日：2013-10-09

申请号：CN201110252244.5

申请日：2006-10-20

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 山本兼司 ,  久次米进

IPC: C23C14/06

CPC classification number: C23C14/0641 ,  C23C14/06 ,  C23C14/0664 ,  Y10T428/30

Abstract: 一种被覆于工具表面的硬质保护膜，其组成为具有下面所规定原子比的(Cr1-a-bAlaSib)(BxCyN1-x-y)，0＜a≤0.4，0.05≤b≤0.35，0.25≤1-a-b≤0.9，0≤x≤0.15，0≤y≤0.5，或其组成为具有下面所规定原子比的(M1-a-bAlaSib)(BxCyN1-x-y)，0.05≤a≤0.5，0.1＜b≤0.35，0≤x≤0.15，0≤y≤0.5，式中M表示Ti和Cr。用于切削工具的该硬质保护膜具有比常规硬质保护膜更好的耐磨性。

公开(公告)号：CN102057073A

公开(公告)日：2011-05-11

申请号：CN200980121455.6

申请日：2009-03-31

Applicant: 株式会社神户制钢所 ,  伊斯卡有限公司

Inventor： 山本兼司 ,  A·A·莱尤斯

IPC: C23C14/06 ,  B23B27/14 ,  B23C5/16

CPC classification number: C23C14/0635 ,  C04B35/565 ,  C04B35/581 ,  C04B2235/3817 ,  C04B2235/3821 ,  C04B2235/3839 ,  C04B2235/3843 ,  C04B2235/3847 ,  C04B2235/3852 ,  C04B2235/3873 ,  C04B2235/3886 ,  C04B2235/79 ,  C23C14/0641 ,  C23C14/345 ,  C23C14/35 ,  C23C28/044 ,  C23C28/42

Abstract: 提供在晶体质中不具有裂纹且兼具高硬度和优异的耐磨性的硬质被膜层及其形成方法。覆盖基材(2)的晶体质的硬质被膜层(3)是利用PVD法形成的，并且，该硬质被膜层以Si和C为必要成分，以元素M[选自3A族元素、4A族元素、5A族元素、6A族元素、B、Al及Ru中的1种以上的元素]和N为选择成分，具有SixC1-x-y-zNyMz(0.4≤x≤0.6、0≤y≤0.1、0≤z≤0.2)的组成。

公开(公告)号：CN101074474B

公开(公告)日：2011-02-02

申请号：CN200710110147.6

申请日：2005-01-25

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 山本兼司 ,  久次米进 ,  高原一树 ,  藤井博文

IPC: C23C14/22 ,  C23C14/24 ,  C23C14/34 ,  C23C14/54

CPC classification number: C23C14/025

Abstract: 一种硬质叠层被膜的方法，其特征是采用在同一真空容器内分别装有1台以上都具有磁场外加功能的电弧蒸发源和溅射蒸发源的成膜装置，并通过在含有反应气体的成膜保护气氛中，使电弧蒸发源和溅射蒸发源同时工作，分别使所述层A的成分从电弧蒸发源蒸发、且使所述层B的成分从溅射蒸发源蒸发，同时使基板相对于所述各蒸发源相对移动，进而在基板上交替叠层所述层A和所述层B。

公开(公告)号：CN100999383B

公开(公告)日：2010-04-14

申请号：CN200610164744.2

申请日：2006-12-06

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 伊藤弘高 ,  山本兼司

IPC: C03B40/027

CPC classification number: C03B11/086 ,  C03B2215/22 ,  C03B2215/24 ,  Y10T428/265

Abstract: 提供一种硬质涂层以及具有该硬质涂层的玻璃成型模具，其中所述硬质涂层结合了对于玻璃的优异可脱模性和在600℃或更高的高温环境下的优异耐久性。玻璃成型模具具有形成在模座的成型表面上的硬质涂层。所述硬质涂层包含W和V中的一种或两种，并且包含B、C和N；其中当所述涂层的组成表示为Wa1Va2BbCcNd时，满足下列关系：0.1≤a1+a2≤0.5、0.05≤b≤0.5、0.02≤c≤0.15、0.05≤d≤0.5，并且a1+a2+b+c+d＝1。硬质涂层可以隔着包括非晶质CrSiN膜的中间层形成在模座的成型表面上。

公开(公告)号：CN100553968C

公开(公告)日：2009-10-28

申请号：CN200610132110.9

申请日：2006-10-10

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 山本兼司

IPC: B32B33/00 ,  B32B9/00 ,  C23C14/06

CPC classification number: C23C14/0664 ,  C23C14/3464 ,  C23C28/044 ,  C23C28/42 ,  C23C30/005 ,  Y10T428/12493 ,  Y10T428/12576 ,  Y10T428/12743 ,  Y10T428/12771 ,  Y10T428/24975 ,  Y10T428/26 ,  Y10T428/265

Abstract: 此处公开了一种硬质保护膜，由多个层构成，其特征在于，包括多于1层的第一层以及多于1层的第二层，其中所述第一层具有下式(1a)表示的组成并且其厚度为1至80nm，所述第二层具有下式(2a)表示的组成并且其厚度为1至80nm，其中，第一层和第二层是交替配置的；(Cr(1-a)Ala)(C(1-x)Nx) …(1a);(Zr(1-k)Hfk)(C(1-y)Ny) …(2a);式中，每个下标表示下面规定的原子比。0.2≤a≤0.8;0.7≤x≤1;0≤k≤1;0.5≤y≤1;所述硬质保护膜具有杰出的高温特性。

公开(公告)号：CN100529157C

公开(公告)日：2009-08-19

申请号：CN200610006681.8

申请日：2006-02-08

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 山本兼司

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/22

Abstract: 本发明的目的是提供一种具有优异的硬度和润滑性的硬涂层。该目的通过提供这样一种硬涂层而实现，所述硬涂层包含(Al1-aVa)(C1-XNX)，其中0.27≤a≤0.75，并且0.3≤X≤1，其中a和X独立地表示原子比率。

公开(公告)号：CN101121309A

公开(公告)日：2008-02-13

申请号：CN200710136652.8

申请日：2007-07-18

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 山本兼司

IPC: B32B33/00 ,  C23C14/06

Abstract: 本发明提供一种硬质皮膜及硬质皮膜被覆材，其与现有的表面被覆层相比，耐磨损性好，并且摩擦系数低且滑动性好。由M(BaCbN1－a－b)构成的皮膜层A，满足下式(1A)～(2A)，由Ti1－x－yCrxAlySiz(C1－ANA)所构成的皮膜层B，满足下式(1B)～(5B)，其各自层厚分别为5～100nm，层叠而成的硬质皮膜等(其中，上述M为W、V、Mo、Nb中的1种以上，在下式中，a表示B的原子比，b表示C的原子比，x表示Cr的原子比，y表示Al的原子比，z表示Si的原子比，A表示N的原子比。)。0≤a≤0.3式(1A)；0≤b≤0.5式(2A)；0≤1－x－y≤0.5式(1B)；0≤x≤0.5式(2B)；0.4≤y≤0.7式(3B)；0≤z≤0.15式(4B)；0.5≤A≤1式(5B)。

公开(公告)号：CN1847463A

公开(公告)日：2006-10-18

申请号：CN200610071602.1

申请日：2006-03-29

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 漆原亘 ,  山本兼司

IPC: C25D5/12 ,  C25D3/04 ,  B22D11/059

Abstract: 本发明提出一种镀铬构件，其设有即使经受300℃以上的恶劣的热过程，也难以有裂缝发生的电镀铬层。是一种在金属制构件的表面设有电镀铬层的镀铬构件，所述电镀铬层中的微晶的平均直径为16.0nm以上，并且，根据X射线衍射法测定的{211}与{222}的峰值强度比({211}/{222})为0.10以上。