公开(公告)号：CN113573897A

公开(公告)日：2021-10-29

申请号：CN202080021114.8

申请日：2020-03-10

Applicant: 日东电工株式会社

Inventor： 中村大辅 ,  永冈直树 ,  黑濑爱美 ,  石川岳人 ,  待永广宣

IPC: B32B27/06 ,  H01L41/047 ,  H01L41/187 ,  H01L41/313 ,  H01L41/319

Abstract: 维持层叠体的柔韧性的同时，降低功能层的开裂的产生。层叠体具有高分子的基材、以及形成于上述基材的第1面的结晶性的功能层，上述基材的上述第1面的表面粗糙度以算术平均粗糙度(Ra)计为3nm以下。

公开(公告)号：CN112823432A

公开(公告)日：2021-05-18

申请号：CN201980062655.2

申请日：2019-09-27

Applicant: 日东电工株式会社

Inventor： 中村大辅 ,  永冈直树 ,  黑濑爱美 ,  待永广宣 ,  石川岳人 ,  柳谷隆彦 ,  清水贵博

IPC: H01L41/187 ,  C23C14/08 ,  H01L41/053 ,  H01L41/316 ,  H01L41/319

Abstract: 提供一种机械能与电能之间的转化能力高的压电器件。压电器件具有第1电极层、第2电极层、以及上述第1电极层与上述第2电极层之间所配置的压电体层，上述压电体层向具有纤锌矿型的晶体结构的ZnO系材料中添加不表现导电性的金属，厚度振动模式下的机电耦合系数的平方值为6.5％以上。

公开(公告)号：CN112823431A

公开(公告)日：2021-05-18

申请号：CN201980062690.4

申请日：2019-09-26

Applicant: 日东电工株式会社

Inventor： 永冈直树 ,  中村大辅 ,  黑濑爱美

IPC: H01L41/047 ,  C23C14/08 ,  H01L41/113 ,  H01L41/187

Abstract: 提供抑制泄漏通路的产生，具有良好的压电特性的压电器件及其制造方法。压电器件在基材上，依次层叠有第1电极、压电体层以及第2电极，至少上述第1电极由非晶质的氧化物导电体形成。

公开(公告)号：CN112740429A

公开(公告)日：2021-04-30

申请号：CN201980062331.9

申请日：2019-09-20

Applicant: 日东电工株式会社

Inventor： 中村大辅 ,  永冈直树 ,  黑濑爱美 ,  待永广宣

IPC: H01L41/187 ,  C23C14/08 ,  H01L41/053 ,  H01L41/316 ,  H01L41/319

Abstract: 改善压电器件的光学特性与压电特性的至少一者。压电器件具有第1电极层、第2电极层、以及上述第1电极与第2电极之间所配置的至少1层压电体层，上述压电体层将纤锌矿型的结晶材料作为主成分，并添加有通过形成氧化物而具有透明性的元素1种以上，雾度值为3.0％以下，相对于波长380nm的光的透射率为50％以上。