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公开(公告)号：CN105509637B
公开(公告)日：2018-02-06
申请号：CN201510852413.7
申请日：2015-11-27
Applicant: 成都信息工程大学
Abstract: 本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪及波长修正方法，所述激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪，包括激光源、固定平面反射镜、光电探测器、测量平面反射镜装置和分光镜，所述测量平面反射镜装置包括测量平面反射镜和精密位移装置，所述精密位移装置为所述测量平面反射镜提供与被测物体位移同向或反向的位移。本申请中，将被测物体实际位移中超出半个激光波长小数部分△L也测量出来补充到位移检测结果中，进而使得本申请的激光干涉仪所测量得到的位移结果更加精确，同时精密位移装置进行若干整数波长精确位移，通过精确的距离反求环境等效激光波长，进一步提高本发明激光干涉仪的测量精度。
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公开(公告)号：CN104964641B
公开(公告)日：2017-10-10
申请号：CN201510369090.6
申请日：2015-06-29
Applicant: 成都信息工程大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种磁性微位移平台式级联阶梯角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法，磁性微位移平台式级联阶梯角反射镜激光干涉仪，包括有激光源、微动阶梯角反射镜组、干涉测量光电探测器组、移动角反射镜和分光镜组，还包括有反射测量光电探测器组，所述反射测量光电探测器组包括有z个反射测量光电探测器，所述第二激光束组在由所述移动角反射镜射向所述分光镜组后还形成有反射激光束组，所述反射激光束组的各激光束分别射向一个所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪，根据反射激光束组的强度确定激光干涉光束的干涉状态，如此实现抗环境干扰的目的。
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公开(公告)号：CN104930968B
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201510369129.4
申请日：2015-06-29
Applicant: 成都信息工程大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种磁性微位移平台式阶梯平面反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法，所述磁性微位移平台式阶梯平面反射镜激光干涉仪，包括有激光源、微动阶梯平面反射镜、干涉测量光电探测器组、移动平面反射镜、分光镜组和磁性微位移平台，所述激光源向所述分光镜组射出z束激光束，还包括有反射测量光电探测器组，所述第二激光束组在由所述移动平面反射镜射向所述分光镜组后还形成有反射激光束组，所述反射激光束组的各激光束分别射向一个所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪，根据反射激光束组的强度确定激光干涉光束的干涉状态，如此实现抗环境干扰的目的。
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公开(公告)号：CN104964642B
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：CN201510372838.8
申请日：2015-06-29
Applicant: 成都信息工程大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种磁性微位移平台式阶梯角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法，所述磁性微位移平台式阶梯角反射镜激光干涉仪，包括有激光源、微动阶梯角反射镜、干涉测量光电探测器组、移动角反射镜、分光镜组和磁性微位移平台，所述微动阶梯角反射镜设置在所述磁性微位移平台上，所述激光源向所述分光镜组射出z束激光束，还包括有反射测量光电探测器组，所述第二激光束组在由所述移动角反射镜射向所述分光镜组后还形成有反射激光束组，所述反射激光束组的各激光束分别射向一个所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪，根据反射激光束组的强度确定激光干涉光束的干涉状态，实现抗干扰的目的。
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公开(公告)号：CN104880147B
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：CN201510374210.1
申请日：2015-06-29
Applicant: 成都信息工程大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种磁性微位移平台式角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法，所述磁性微位移平台式角反射镜激光干涉仪，包括有激光源、微动角反射镜、干涉测量光电探测器、移动角反射镜、分光镜组和磁性微位移平台，所述微动角反射镜设置在所述磁性微位移平台上，还包括有反射测量光电探测器，激光束经所述移动角反射镜反射至所述分光镜组后还形成有反射激光束，所述反射激光束射向所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪，由于反射测量光电探测器可以测量移动角反射镜反射激光束的强度，根据反射激光束的强度确定激光干涉光束的干涉状态，如此实现抗环境干扰的目的。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105509637A
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201510852413.7
申请日：2015-11-27
Applicant: 成都信息工程大学
CPC classification number: G01B9/02075 , G01B11/02
Abstract: 本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪及波长修正方法，所述激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪，包括激光源、固定平面反射镜、光电探测器、测量平面反射镜装置和分光镜，所述测量平面反射镜装置包括测量平面反射镜和精密位移装置，所述精密位移装置为所述测量平面反射镜提供与被测物体位移同向或反向的位移。本申请中，将被测物体实际位移中超出半个激光波长小数部分△L也测量出来补充到位移检测结果中，进而使得本申请的激光干涉仪所测量得到的位移结果更加精确，同时精密位移装置进行若干整数波长精确位移，通过精确的距离反求环境等效激光波长，进一步提高本发明激光干涉仪的测量精度。
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公开(公告)号：CN105445146A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201510888615.7
申请日：2015-12-04
Applicant: 成都信息工程大学
IPC: G01N9/00
Abstract: 本发明公开一种新型软磁磁环密度测试装置，包括设置于地面上的电子天平、高脚水槽和可调电磁铁，所述电子天平上表面设有烧杯，所述高脚水槽顶端设有样品架，所述样品架包括横梁、可滑动伸缩连杆和由垂直的拉杆和水平的横臂组成的L形升降臂，所述横梁设置于高脚水槽内侧壁靠近顶部的位置，所述高脚水槽其中一侧的水槽壁上开有竖直向下的滑槽，所述滑槽下端与高脚水槽内部连通，所述L形升降臂的拉杆与滑槽滑动连接，所述L形升降臂的横臂设置于高脚水槽内侧，所述高脚水槽外侧壁与滑槽对应的位置设有锁定L形升降臂的紧固螺栓。本发明以弥补传统密度测量装置在提升单一样品湿密度测试精度及批量样品密度测试时存在的不足。
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公开(公告)号：CN105300275A
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201510844921.0
申请日：2015-11-27
Applicant: 成都信息工程大学
Abstract: 本发明公开了一种波长修正式多光束阶梯平面反射镜激光干涉仪及其测量方法，包括激光源、分光镜、固定反射镜、测量反射镜装置、光电探测器组，其中激光源包括n(n≥2)个平行激光束，光电探测器组包括n个光电探测器件。测量反射镜装置包括测量反射镜与精密位移装置，固定反射镜的反射面为n个阶梯平面，相邻两个反射平面间距为λ/2n+kλ/2(k为自然数)；每束激光经分光镜后变为两束，其中一束经固定反射镜反射后从分光镜透射，到达光电探测器，同时另一束激光依次经测量反射镜、分光镜反射后也入射至该光电探测器。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关，还和阶梯型反射平面高度差值有关，该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移，同时在测量过程中修正激光波长，减小环境对激光干涉测量结果的影响，显著提高了测量精度。
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公开(公告)号：CN109342758B
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN201811372037.1
申请日：2018-11-16
Applicant: 成都信息工程大学
IPC: G01P3/36
Abstract: 本发明涉及一种测速传感器，所述测速传感器包括有激光器、三角反射镜、棱镜、折射镜以及光电探测器：激光器发射激光束，激光束入射至三角反射镜的第一反射面，经第一反射面反射后入射至第二反射面，反光镜接收第二反射面反射的激光并将激光束反射至棱镜，棱镜使所述反光镜反射的激光束发生折射，并透射出去，折射镜，用于接收从所述棱镜中透射出的激光束，并使激光束发生折射；光电探测器，用于接收经折射镜折射后的激光束，并测量其入射位置。本发明通过折射镜的设置，降低光束入射至光电探测器的角度，提高了光电探测器测量稳定性，而且根据三角关系，传感器的测量精度得到进一步提高。
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公开(公告)号：CN109521219B
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN201811365624.8
申请日：2018-11-16
Applicant: 成都信息工程大学
IPC: G01P3/36
Abstract: 本发明涉及多路测量式速度测量传感器，包括激光束一，入射至三角反射镜的所述第一反射面，经第一反射面反射后入射至所述第二反射面；分光镜一，将激光束一分为激光束二与激光束三；所述棱镜一，用于使入射的激光束二发生折射，并透射出去；折射镜一，用于接收从所述棱镜中透射出的激光束二，并使激光束二发生折射；光电探测器一，用于接收经折射镜一折射后的激光束二，并测量其入射位置；光电探测器二，用于接收经折射镜二折射后的激光束三，并测量其入射位置。本发明通过折射镜的设置，降低光束入射至光电探测器的角度，提高了光电探测器测量稳定性，而且根据三角关系，传感器的测量精度得到进一步提高。
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