-
公开(公告)号：CN102171806A
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN200980138891.4
申请日：2009-09-29
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/67
CPC classification number: H01L21/67265 , Y10S414/138
Abstract: 本发明的基板检测装置，具备：准直反射板，配置在所述多个基板的旁边；照明单元，朝向准直反射板呈面状地放射光，该照明单元以多个基板的端部位于其光路内的方式进行配置；摄像单元，对通过从照明单元呈面状放射的光而在准直反射板上形成的、包含多个基板的端部的照明透射像进行摄像；以及图像处理单元，对通过摄像单元取得的照明透射像的图像进行处理，检测多个基板的收容状态。
Search Results
11
records
(took 0.013 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
