-
公开(公告)号:CN103052572A
公开(公告)日:2013-04-17
申请号:CN201180040079.5
申请日:2011-08-25
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B65G1/04 , B65G49/06 , H01L21/677
CPC classification number: B65G1/04 , B65G49/061 , B65G49/063 , B65G49/067 , B65G49/068 , H01L21/6734 , H01L21/67718 , H01L21/67736 , H01L21/67769
Abstract: 本发明具备作为板状构件的玻璃板(2)以竖立状态向前后方向排列并收纳的支架(32)、和通过使玻璃板(2)向左右方向移动而与支架(32)之间传送的载重机械手(10)。载重机械手(10)具有载重侧行驶基台(14)、翻动件(17)、载重侧搬运基台和滚子。翻动件(17)形成为通过翻动执行器相对于载重侧行驶基台(14)绕轴线(L1)转动,并且通过转动使装载在其上的玻璃板(2)竖立或者倾倒的结构。所述滚子可转动地设置在载重侧搬运基台(25)上,通过转动将玻璃板(2)运送至支架(32)内。借助于此,本发明可以将作为板状构件的玻璃板(2)以竖立状态插入到支架(32)内,或者可以保持竖立状态从支架(32)中取出。
-
公开(公告)号:CN108028218B
公开(公告)日:2022-04-15
申请号:CN201680049634.3
申请日:2016-08-30
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 川崎机器人(美国)公司
IPC: H01L21/677
Abstract: 衬底搬送机器人(1)的控制器件(12)是使机器臂(4)及衬底保持装置(7)实施掌片部件进入动作、衬底接收动作以及衬底载置动作。衬底保持装置(7)构成为能够切换第1运转状态与第2运转状态,该第1运转状态是将一对掌片部件(25、26)配置在上下方向,该第2运转状态是将一对掌片部件(25、26)配置在从上下方向偏离的位置且将单个掌片部件设为可进入到衬底载置构造。无论衬底载置构造的种类为何,都能够缩短衬底搬送时的作业时间。
-
公开(公告)号:CN108028218A
公开(公告)日:2018-05-11
申请号:CN201680049634.3
申请日:2016-08-30
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 川崎机器人(美国)公司
IPC: H01L21/677
CPC classification number: H01L21/68707 , B25J9/042 , H01L21/67742 , H01L21/67766 , H01L21/67778 , H01L21/67781
Abstract: 衬底搬送机器人(1)的控制器件(12)是使机器臂(4)及衬底保持装置(7)实施掌片部件进入动作、衬底接收动作以及衬底载置动作。衬底保持装置(7)构成为能够切换第1运转状态与第2运转状态,该第1运转状态是将一对掌片部件(25、26)配置在上下方向,该第2运转状态是将一对掌片部件(25、26)配置在从上下方向偏离的位置且将单个掌片部件设为可进入到衬底载置构造。无论衬底载置构造的种类为何,都能够缩短衬底搬送时的作业时间。
-
公开(公告)号:CN103189168B
公开(公告)日:2016-06-29
申请号:CN201180051810.4
申请日:2011-11-30
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B25J9/06 , B65G49/06 , H01L21/677
CPC classification number: B25J18/04 , B25J9/042 , B25J9/044 , B65G49/067 , B65G2249/02 , H01L21/67742 , H01L21/67766
Abstract: 本发明提供一种可降低升降驱动器件中所需的升降驱动力的搬送机械手。本发明的搬送机械手包含:第1连杆部件(2),可绕着第1轴线(L1)旋转地构成;第2连杆部件(3),可绕着位于与第1轴线相距指定距离的位置上的第2轴线(L2)旋转地构成;保持部件(7),可绕着位于与第2轴线相距指定距离的位置上的第3轴线(L3)旋转且可保持物品地构成;及升降驱动器件(4),用来至少升降驱动保持部件。第1连杆部件、第2连杆部件及保持部件按照该顺序连结而构成吊臂连杆机构,升降驱动器件配置在第1连杆部件与保持部件之间而构成吊臂连杆机构的一部分。
-
-
-