图案形成方法
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1918696A

    公开(公告)日:2007-02-21

    申请号:CN200580004597.6

    申请日:2005-02-04

    Abstract: 本发明的目的是提供图案形成方法,该方法可以形成具有良好细度和高精确性以及具有因抑制在图案形成材料上所形成的图像变形而产生的充足效率的永久图案,比如布线图案。为了实现该目的,提供了包括如下的图案形成方法:调制从激光源辐发射的激光束,补偿调制的激光束,以及由调制且补偿的激光束曝光光敏层,其中将所述光敏层安置在载体上以形成图案形成材料,所述调制是由包括多个成像部分的激光调制器进行的,每个成像部分都能够接收激光束和输出调制的激光束,以及所述补偿是通过使调制的激光束经过多个微透镜传输进行的,每个微透镜都具有能够补偿因成像部分的输出表面变形所导致的像差的非球形表面,并且将所述多个微透镜排列成为微透镜阵列。

    图形形成材料、以及图形形成装置和图形形成方法

    公开(公告)号:CN1673863A

    公开(公告)日:2005-09-28

    申请号:CN200510059449.6

    申请日:2005-03-22

    Abstract: 一种图形形成材料,其特征在于在支撑体上至少具有感光层,该感光层含有粘合剂、聚合性化合物和光聚合引发剂,该粘合剂的I/O值为0.300-0.650,而且玻璃化转变温度(Tg)为80℃以上。上述粘合剂含有共聚物,该共聚物优选具有来自苯乙烯和苯乙烯衍生物中的至少一种的结构单元。本发明还涉及具有上述图形形成材料的图形形成装置和使用上述图形形成材料的图形形成方法。在本发明中,通过使在感光层中含有的粘合剂的I/O值和玻璃化转变温度都在一定的数值范围内,可以提供分辨率和遮盖性优良且显影性也优良、而且可抑制熔边产生的图形形成材料、以及具有该图形形成材料的图形形成装置和使用该图形形成材料的图形形成方法。

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