公开(公告)号：CN111919172A

公开(公告)日：2020-11-10

申请号：CN201980022753.3

申请日：2019-03-26

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 井上遥菜 ,  青岛俊荣 ,  福原敏明

IPC: G03F7/004 ,  C08G73/06 ,  G03F7/027 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物、固化膜、层叠体及它们的制造方法、半导体器件及在它们中使用的热产碱剂，上述感光性树脂组合物含有特定的热产碱剂、选自由聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体组成的组中的至少一种聚合物前体及感光剂，上述聚合物前体及上述感光剂中所含有的酸基和酸产生基团的合计含量为0.5mmol/g以下。

公开(公告)号：CN104380195B

公开(公告)日：2018-09-14

申请号：CN201380032035.7

申请日：2013-06-26

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 片冈祥平 ,  涉谷明规 ,  后藤研由 ,  松田知树 ,  福原敏明

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  G03F7/32

Abstract: 本发明的图案形成方法包括：(i)形成包含光化射线敏感或放射线敏感树脂组合物的膜，所述光化射线敏感或放射线敏感树脂组合物含有由以下所示的通式(I)表示的化合物(A)；能够通过酸的作用降低对包含有机溶剂的显影液的溶解度的树脂(P)；以及能够通过光化射线或放射线的照射产生酸的化合物(B)；(ii)用光化射线或放射线照射所述膜；(iii)使用包含有机溶剂的显影液将用所述光化射线或放射线照射的所述膜显影。RN‑A‑X+ (I)

公开(公告)号：CN104583869A

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201380044148.9

申请日：2013-08-16

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 涩谷明规 ,  片冈祥平 ,  松田知树 ,  福原敏明 ,  后藤研由

IPC: G03F7/038 ,  G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  G03F7/32 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/30 ,  C07C381/12 ,  C08F220/18 ,  C08F220/24 ,  C08F220/26 ,  C08F220/38 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0388 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/11 ,  G03F7/2041 ,  G03F7/325 ,  H01L21/0274

Abstract: 本发明提供了一种图案形成方法，所述方法包括：通过使用放射线敏感或光化射线敏感树脂组合物形成膜，该组合物含有：(A)在阳离子部分中含有氮原子的盐化合物；(B)能够在用光化射线或放射线照射后生成酸的化合物；和(C)能够通过酸的作用增加极性而降低在含有有机溶剂的显影液中的溶解度的树脂，将所述膜曝光；以及通过使用含有有机溶剂的显影液将所曝光的膜显影，以形成阴图式图案。