图形制造系统、曝光装置及曝光方法

    公开(公告)号:CN1580950A

    公开(公告)日:2005-02-16

    申请号:CN200410058860.7

    申请日:2004-08-02

    Abstract: 一种图形制造系统、曝光装置及曝光方法,利用由加工用图形数据(100)指定的图形线的线宽与曝光量,对涂覆于基板上的铜箔上的抗蚀剂进行直接描绘曝光,再对曝光过的抗蚀剂进行显影来形成抗蚀图形,然后,蚀刻形成有抗蚀图形的基板上的铜箔来形成图形。这时,扫描蚀刻后的形成图形得到图像信息(200),再对图像信息(200)的图形线的线宽与蚀刻后的目标的目标形成图形的图形线的线宽进行比较,根据该比较结果来调整由加工用图形数据(100)指定的图形线的线宽,再对使用调整过的线宽直接描绘抗蚀剂。因此,调整蚀刻液的劣化等的图形线的线宽的成品误差来形成图形而可得到精度高的成品。

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