感活化光线性或感放射线性树脂组合物、膜

    公开(公告)号:CN105849638B

    公开(公告)日:2020-07-07

    申请号:CN201480070130.0

    申请日:2014-12-08

    Abstract: 本发明提供一种在形成例如线宽为50nm以下的超微细图案时,可抑制依赖于PEB温度的图案的线宽变动且保存稳定性也优异的感活化光线性或感放射线性树脂组合物等。该组合物含有碱可溶性树脂及交联剂,所述交联剂由下述通式(I)表示。式中,R1及R6分别独立地表示氢原子或碳原子数为5以下的烃基。R2及R5分别独立地表示烷基、环烷基、芳基或酰基。R3及R4分别独立地表示氢原子或碳原子数为2以上的有机基团。R3及R4可相互键合而形成环。[化学式1]

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