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公开(公告)号：CN105593760A
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201480053035.X
申请日：2014-09-26
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/038 , C07D239/36 , G03F7/004 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供一种感活性光线性或感放射线性树脂组合物、感活性光线性或感放射线性膜、具备感活性光线性或感放射线性膜的空白掩模、图案形成方法、电子器件的制造方法、电子器件及新型化合物。本发明的感活性光线性或感放射线性树脂组合物的特征在于，含有碱溶性树脂(A)及下述通式(1-0)所表示的交联剂(C)。[化学式1]
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公开(公告)号：CN105900013B
公开(公告)日：2019-12-24
申请号：CN201480072319.3
申请日：2014-12-11
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种感活性光线性或感放射线性树脂组合物，该组合物为含有具有酚性羟基的碱可溶性树脂(A)、以及分子内合计具有2个以上的羟基甲基或烷氧基甲基的交联剂(C)的感活性光线性或感放射线性树脂组合物，其中，相对于包含交联剂(C1)的交联剂(C)的总量，以60摩尔％～100摩尔％的比例含有分子量为420以上且分子内合计具有2～4个羟基甲基或烷氧基甲基的交联剂(C1)，且相对于感活性光线性或感放射线性树脂组合物中的固体成分1g，交联剂(C)所具有的羟基甲基或烷氧基甲基的合计的浓度0.30mmol/g以上。
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3.发明公开公开(公告)号：CN105849638A
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201480070130.0
申请日：2014-12-08
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004 , C07C41/01 , C07C43/178 , G03F7/038
Abstract: 本发明提供一种在形成例如线宽为50nm以下的超微细图案时，可抑制依赖于PEB温度的图案的线宽变动且保存稳定性也优异的感活化光线性或感放射线性树脂组合物等。该组合物含有碱可溶性树脂及交联剂，所述交联剂由下述通式(I)表示。式中，R1及R6分别独立地表示氢原子或碳原子数为5以下的烃基。R2及R5分别独立地表示烷基、环烷基、芳基或酰基。R3及R4分别独立地表示氢原子或碳原子数为2以上的有机基团。R3及R4可相互键合而形成环。[化学式1]。
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公开(公告)号：CN114096914A
公开(公告)日：2022-02-25
申请号：CN202080047471.1
申请日：2020-06-26
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种机上显影型平版印刷版原版、以及使用了上述机上显影型平版印刷版原版的平版印刷版的制作方法或平版印刷方法，该机上显影型平版印刷版原版具有支承体及在上述支承体上形成的图像记录层，上述图像记录层包含红外线吸收剂、聚合引发剂、聚合性化合物及成色体前体，在以波长为830nm的红外线激光曝光的能量密度110mJ/cm2对上述图像记录层进行曝光的情况下，上述图像记录层中的相对于未曝光区域的曝光区域的烯属不饱和键消失率为10％～40％。
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公开(公告)号：CN113382869A
公开(公告)日：2021-09-10
申请号：CN201980090963.6
申请日：2019-11-27
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一平版印刷版原版以及使用了上述平版印刷版原版的平版印刷版的制作方法及平版印刷方法，所述平版印刷版原版具有支承体以及上述支承体上的图像记录层，上述图像记录层含有红外线吸收剂、聚合引发剂及核壳粒子，在上述核壳粒子的核部含有具有官能团A的树脂A，并且在上述核壳粒子的壳部含有具有能够与上述官能团A键合或相互作用的官能团B及聚合性基团的树脂B。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105122138A
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201480021302.5
申请日：2014-04-30
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/038 , C08F212/14 , C08F220/26 , G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/32 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供一种极其高水平地同时满足高灵敏度、高分辨率(高解像力等)、膜薄化减少性能的图案形成方法。该图案形成方法包括：(1)使用感光化射线性或感放射线性树脂组合物来形成膜、(2)利用光化射线或放射线对膜进行曝光、以及(3)使用包含有机溶剂的显影液对经曝光的膜进行显影，且感光化射线性或感放射线性树脂组合物含有(A)具有通过酸的作用而分解并产生极性基的基的树脂，树脂(A)具有酚性羟基及/或由因酸的作用而脱离的基保护的酚性羟基，进而，包含有机溶剂的显影液含有与极性基形成离子键结、氢键结、化学键结及偶极相互作用中的至少一种相互作用的添加剂。
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公开(公告)号：CN113474177A
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN201980090975.9
申请日：2019-12-26
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种平版印刷版原版、使用了上述平版印刷版原版的平版印刷版的制作方法以及使用了上述平版印刷版原版的平版印刷方法，所述平版印刷版原版具有支承体及上述支承体上的图像记录层，上述图像记录层含有红外线吸收剂、聚合引发剂及核壳粒子，在上述核壳粒子的核部含有具有官能团A的树脂A，并且在上述核壳粒子的壳部含有具有能够与上述官能团A键合或相互作用的官能团B及分散基的树脂B。
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公开(公告)号：CN105103051B
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN201480019503.1
申请日：2014-03-27
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/038 , G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/32 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供一种图案形成方法、树脂组合物及抗蚀剂膜、以及电子元件的制造方法，通过所述图案形成方法而极其高水平地同时满足高灵敏度、高分辨率、膜薄化减少性能、EL、及局部的图案尺寸的均一性，所述图案形成方法包括：(1)使用感光化射线性或感放射线性树脂组合物来形成膜、(2)利用光化射线或放射线对膜进行曝光、以及(3)使用包含有机溶剂的显影液对经曝光的膜进行显影，且该树脂组合物含有(A)具有具备通过光化射线或放射线的照射而分解并产生酸的结构部位的重复单元(R)的树脂与(B)溶剂，显影液含有与曝光后的树脂(A)中所含有的极性基形成选自离子键结、氢键结、化学键结及偶极相互作用中的至少一种相互作用的添加剂。
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公开(公告)号：CN105593760B
公开(公告)日：2019-12-24
申请号：CN201480053035.X
申请日：2014-09-26
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/038 , C07D239/36 , G03F7/004 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供一种感活性光线性或感放射线性树脂组合物、感活性光线性或感放射线性膜、具备感活性光线性或感放射线性膜的空白掩模、图案形成方法、电子器件的制造方法、电子器件及新型化合物。本发明的感活性光线性或感放射线性树脂组合物的特征在于，含有碱溶性树脂(A)及下述通式(1‑0)所表示的交联剂(C)。[化学式1]
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公开(公告)号：CN105122138B
公开(公告)日：2019-11-15
申请号：CN201480021302.5
申请日：2014-04-30
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/038 , C08F212/14 , C08F220/26 , G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/32 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供一种极其高水平地同时满足高灵敏度、高分辨率(高解像力等)、膜薄化减少性能的图案形成方法、树脂组合物、抗蚀剂膜、电子元件的制造方法及电子元件。该图案形成方法包括：(1)使用感光化射线性或感放射线性树脂组合物来形成膜、(2)利用光化射线或放射线对膜进行曝光、以及(3)使用包含有机溶剂的显影液对经曝光的膜进行显影，且感光化射线性或感放射线性树脂组合物含有(A)具有通过酸的作用而分解并产生极性基的基的树脂，树脂(A)具有酚性羟基及/或由因酸的作用而脱离的基保护的酚性羟基，进而，包含有机溶剂的显影液含有与极性基形成离子键、氢键、化学键及偶极相互作用中的至少一种相互作用的添加剂。
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