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公开(公告)号：CN110325911B
公开(公告)日：2023-01-06
申请号：CN201880012501.8
申请日：2018-02-15
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种环化反应的进行快，并且经时保存稳定性优异的感光性树脂组合物、以及使用了上述感光性树脂组合物的含杂环聚合物前体、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件。所述感光性树脂组合物包含选自聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体中的含杂环聚合物前体和溶剂，上述感光性树脂组合物的固体成分的氨值为0.0002～0.0200mmol/g。
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公开(公告)号：CN107709407B
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN201680030632.X
申请日：2016-05-26
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: C08G73/10 , C08F290/14 , G03F7/004 , G03F7/023 , G03F7/027 , H01L21/312 , H01L23/29 , H01L23/31 , H01L25/065 , H01L25/07 , H01L25/18
Abstract: 本发明提供一种使用聚酰亚胺前体组合物的感光性树脂组合物、固化膜、固化膜的制造方法、半导体器件及聚酰亚胺前体组合物的制造方法。一种聚酰亚胺前体组合物，聚酰亚胺前体的结构异构体中由通式(1‑2)所表示的重复单元的摩尔比率为60～90摩尔％；通式(1‑2)中，A1及A2分别独立地表示氧原子或NH，R111及R112分别独立地表示单键或2价的有机基团，R113及R114分别独立地表示氢原子或1价的有机基团。
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公开(公告)号：CN111630454A
公开(公告)日：2020-09-04
申请号：CN201980009370.2
申请日：2019-01-23
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/027 , B32B15/088 , B32B27/34 , C08G73/10 , C08G73/22 , G03F7/037 , G03F7/20 , G03F7/32 , H01L21/312
Abstract: 一种感光性树脂组合物、树脂、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件，所述感光性树脂组合物包含选自聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体的聚合物前体及光活性化合物，聚合物前体具有在由来自于四羧酸、四羧酸衍生物、二羧酸及二羧酸衍生物的至少一种的结构单元以及来自于二胺的至少一种的结构单元构成的聚合物前体的侧链经由连接基团键合的磺酸基以及与聚合物前体的末端键合的磺酸基的组中的至少一种。
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公开(公告)号：CN108136756A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201780003330.8
申请日：2017-02-23
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供树脂层与树脂层的密合性优异的层叠体、以及层叠体的制造方法、半导体器件、以及半导体器件的制造方法。本发明的层叠体具有基板和至少2层树脂层，所述树脂层各自独立地在膜面的至少一部分与其他的树脂层接触，各自独立地杨氏弹性模量大于2.8GPa且为5.0GPa以下，并且断裂伸长率大于50％且为200％以下，此外，具有三维自由基交联结构，所述树脂层中的至少1层包含聚酰亚胺及聚苯并噁唑的至少1种。
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公开(公告)号：CN115997167A
公开(公告)日：2023-04-21
申请号：CN202180041834.5
申请日：2021-05-19
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004
Abstract: 本发明的第1课题在于提供一种可获得良好的形状的图案的感光化射线性或感放射线性树脂组合物。并且，本发明的第2课题在于提供一种与上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物相关的抗蚀剂膜、图案形成方法及电子器件的制造方法。并且，本发明的第3课题在于提供一种能够适合用于上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物的化合物。本发明的感光化射线性或感放射线性树脂组合物包含通过光化射线或放射线的照射而产生酸的化合物、重均分子量为30,000以下的酸分解性树脂及溶剂，上述通过光化射线或放射线的照射而产生酸的化合物包含化合物(I)。
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公开(公告)号：CN108137803B
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201680056589.4
申请日：2016-12-22
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: C08G73/10 , H01L21/312 , C08F290/14 , C08F299/02 , C08G73/22 , G03F7/027 , G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种制成固化膜时的翘曲小、膜均匀性优异、且能够形成浮渣(残渣)少的固化膜(图案)的树脂、以及使用了上述树脂的组合物、固化膜、固化膜的制造方法和半导体器件。一种树脂，其选自聚酰亚胺前体、聚酰亚胺、聚苯并噁唑前体和聚苯并噁唑，上述树脂具有聚合性基团，分子量1000以下的成分的总量为0.005～1.0质量％。
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公开(公告)号：CN107709408B
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201680037218.1
申请日：2016-06-29
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: C08G73/10 , G03F7/20 , C08F2/44 , C08F283/04 , C08F290/14 , C08G73/22 , G03F7/023 , G03F7/027
Abstract: 本发明提供一种曝光宽容度宽的感光性树脂组合物、用于提供所述感光性树脂组合物的前驱体组合物、前驱体组合物的制造方法、固化膜、固化膜的制造方法及半导体器件。一种前驱体组合物，其包含含有杂环的聚合物前驱体的至少一种，上述含有杂环的聚合物前驱体选自聚酰亚胺前驱体及聚苯并噁唑前驱体，上述含有杂环的聚合物前驱体的重均分子量/数均分子量即分散度为2.5以上。
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公开(公告)号：CN110741318A
公开(公告)日：2020-01-31
申请号：CN201880037130.9
申请日：2018-06-04
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种保存稳定性优异，且灵敏度高的感光性树脂组合物、以及使用了感光性树脂组合物的固化膜、层叠体、固化膜的制造方法、半导体装置。并且，提供一种用于形成感光性树脂组合物的新型化合物。一种感光性树脂组合物，其包含选自聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体的聚合物前体、具有硫原子的自由基聚合性化合物、光自由基聚合引发剂及溶剂。
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公开(公告)号：CN110325911A
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201880012501.8
申请日：2018-02-15
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种环化反应的进行快，并且经时保存稳定性优异的感光性树脂组合物、以及使用了上述感光性树脂组合物的含杂环聚合物前体、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件。所述感光性树脂组合物包含选自聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体中的含杂环聚合物前体和溶剂，上述感光性树脂组合物的固体成分的氨值为0.0002～0.0200mmol/g。
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公开(公告)号：CN107709408A
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201680037218.1
申请日：2016-06-29
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: C08G73/10 , G03F7/20 , C08F2/44 , C08F283/04 , C08F290/14 , C08G73/22 , G03F7/023 , G03F7/027
Abstract: 本发明提供一种曝光宽容度宽的感光性树脂组合物、用于提供所述感光性树脂组合物的前驱体组合物、前驱体组合物的制造方法、固化膜、固化膜的制造方法及半导体器件。一种前驱体组合物，其包含含有杂环的聚合物前驱体的至少一种，上述含有杂环的聚合物前驱体选自聚酰亚胺前驱体及聚苯并噁唑前驱体，上述含有杂环的聚合物前驱体的重均分子量/数均分子量即分散度为2.5以上。
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