公开(公告)号：CN114787105A

公开(公告)日：2022-07-22

申请号：CN202080085992.6

申请日：2020-12-10

Applicant: 宇部兴产株式会社

Inventor： 藤永猛 ,  猪野亚纪 ,  本田道夫 ,  藤永昌孝 ,  柴田耕司 ,  山田哲夫

IPC: C04B35/593 ,  C01B21/068 ,  C04B35/587 ,  H05K1/03

Abstract: 本发明提供得到兼具高的热导率和优异的机械特性(强度和断裂韧性)的板状的氮化硅质烧结体的方法。制备在氮化硅原料中添加有烧结助剂的起始组合物，通过片成形工艺由起始组合物制作生片，将生片在含氮气体压力为0.15MPa以上且3MPa以下的加压气氛下、在最高保持温度为1790℃以上且1910℃以下的温度范围内保持而进行烧结，由此制造碱土金属含量与稀土金属含量的比率及氧含量高度受控的板状的氮化硅质烧结体，其中，所述氮化硅原料中配混有β百分率为0％以上且10％以下并且具有特定的氧含量、比表面积及平均粒径的第一氮化硅粉末和β百分率为60％以上且100％以下并且具有特定的氧含量、比表面积、平均粒径及长径比的第二氮化硅粉末。还提供原料粉末配混物及氮化硅质烧结体。

公开(公告)号：CN105980299B

公开(公告)日：2017-07-28

申请号：CN201580008245.1

申请日：2015-02-09

Applicant: 宇部兴产株式会社

Inventor： 山尾猛 ,  本田道夫 ,  治田慎辅

IPC: C01B21/068 ,  B22C3/00 ,  C01B33/02 ,  C10M103/06 ,  C10N40/36

Abstract: 本发明提供一种离型材用氮化硅粉末浆料及其制造方法、离型材用氮化硅粉末、离型材、以及用以获得该离型材用氮化硅粉末浆料的浆料用氮化硅粉末及其制造方法、以及多结晶硅锭的离型性良好的多结晶硅铸造用铸模及其低成本制造方法，上述离型材用氮化硅粉末浆料无需使用粘合剂等添加剂且无需经过烧结步骤即可于多结晶硅铸造用铸模形成不仅多结晶硅锭的离型性良好且多结晶硅锭铸造后对铸模的密接性也良好的离型层。本发明涉及一种浆料用氮化硅粉末，其是用于多结晶硅铸造用铸模的离型层形成用浆料的氮化硅粉末，且比表面积为5～50m2/g，非晶质氮化硅的比例为1.0～25.0质量％，含氧量为0.6～2.5质量％。

公开(公告)号：CN104203813A

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：CN201380017253.3

申请日：2013-03-25

Applicant: 宇部兴产株式会社

Inventor： 柴田耕司 ,  王丸卓司 ,  山尾猛 ,  藤永昌孝 ,  本田道夫 ,  藤井孝行

IPC: C01B21/068 ,  C04B35/626

CPC classification number: C01B21/0687 ,  C01B21/068 ,  C01P2006/12 ,  C01P2006/80 ,  C04B35/5935 ,  C04B2235/3206 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/5409 ,  C04B2235/723 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/96 ,  Y10T428/2982

Abstract: 本发明的目的是提供一种具有高的机械强度和传热系数的氮化硅烧结体和使用其的电路基板。提供一种氮化硅粉末的制造方法，其特征在于，一边通过连续烧结炉使在将比表面积设为RS(m2/g)、含氧比例设为RO(质量％)时的RS/RO为500以上的非晶质Si-N(-H)系化合物流动，一边在1000～1400℃的温度范围内以12～100℃/分钟的升温速度加热。另外，提供一种氮化硅粉末、烧结该氮化硅粉末而得到的氮化硅烧结体、以及使用该氮化硅烧结体的电路基板，所述氮化硅粉末的特征在于，在将存在于从粒子表面到粒子表面正下方3nm为止的氧的含有比例设为FSO(质量％)、将存在于从粒子表面正下方3nm起的内侧的氧的含有比例设为FIO(质量％)、将比表面积设为FS(m2/g)时，FS/FSO为8～25，FS/FIO为22以上。

公开(公告)号：CN103269975A

公开(公告)日：2013-08-28

申请号：CN201180062854.7

申请日：2011-07-27

Applicant: 宇部兴产株式会社

Inventor： 山尾猛 ,  本田道夫 ,  治田慎辅

IPC: C01B33/02 ,  B22C1/00 ,  B22C3/00 ,  C01B21/068

CPC classification number: B29C33/54 ,  B29C33/58 ,  C01B21/068 ,  C01B21/0687 ,  C01B33/02 ,  C01P2004/03 ,  C01P2004/61 ,  C01P2004/62 ,  C01P2006/22 ,  C01P2006/80 ,  C30B11/002 ,  C30B29/06 ,  Y10T428/2982

Abstract: 本发明提供多晶硅铸锭铸造用铸模及其制造方法、以及多晶硅铸锭铸造用铸模的脱膜材料用氮化硅粉末及含有该粉末的浆料，由此可以抑制硅铸锭和铸模表面的粘固，抑制在对凝固的硅铸锭进行脱模时发生缺损、破损，以高成品率得到高品质的硅铸锭。本发明为一种具有脱模层的多晶硅铸锭铸造用铸模的制造方法，其特征在于，具备浆料形成工序，以重量比例计，将平均短轴粒径为0.6μm～13μm的氮化硅粉末(A)和平均短轴粒径为0.1μm～0.3μm的氮化硅粉末(B)按照5:5～9:1混配得到氮化硅粉末，将所述氮化硅粉末在水中混合而形成浆料；浆料涂布工序，将所述浆料涂布于铸模表面；加热工序，在所述浆料涂布工序之后，在含氧的气氛下以800℃～1200℃对铸模进行加热。