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公开(公告)号:CN113362399B
公开(公告)日:2022-08-30
申请号:CN202110752293.9
申请日:2021-07-02
Applicant: 复旦大学
IPC: G06T7/80
Abstract: 本发明公开了一种偏折测量系统中对焦镜和屏幕位姿的标定方法,属于偏折测量技术领域,该方法使用内参已知的相机,采用带有标志圆斑的平面反射镜、待标定的对焦镜和屏幕组成成像光路。首先基于视觉成像确定平面镜的位姿,并拍摄经过平面镜和对焦镜反射的屏幕的一张像,仅需一张图像即可实现对焦镜以及屏幕位姿的同时标定。本发明能够实现过渡成像偏折测量光路的快速几何标定,避免了繁杂的操作步骤,提高了复杂曲面偏折测量的效率与可靠性。
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公开(公告)号:CN113686552A
公开(公告)日:2021-11-23
申请号:CN202110985500.5
申请日:2021-08-26
Applicant: 复旦大学 , 中山亚威光电科技有限公司 , 中山复旦联合创新中心
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明涉及光学工程领域,提供了一种微透镜阵列光学功能的一体化测量方法和装置。该测量装置包括激光器、光束准直系统、2个分束器、参考镜、直角棱镜、消球差透镜、压电位移系统、直线电机移动系统以及相机。本发明通过改变相机位置,实现微透镜阵列样品透射波前和聚焦功能的一体化测量。通过放大成像光路放大了光斑成像的尺寸,而已通过相机更清晰地观测聚焦光斑的形态和分布;而且通过过渡成像扩大了相机前的工作空间,避免由于微透镜焦距过小造成的相机难以调节的难题。除此之外,本发明可与数字全息显微系统集成为表面形貌‑光学功能一体化测量系统,具有精度高、适用性广、兼容性强等优势。
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公开(公告)号:CN112255758A
公开(公告)日:2021-01-22
申请号:CN202011196294.1
申请日:2020-10-30
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种偏折测量中实现屏幕和工件同时对焦的装置和方法,属于精密制造领域,其中装置包括相机、屏幕、被测工件和对焦镜,对焦镜为凹面反射镜,对焦镜用于将屏幕成像在被测工件处,相机、被测工件、对焦镜和屏幕的位置适于使屏幕经过对焦镜反射在被测工件上的第二像能够再次经过被测工件反射出第一像,且第一像与被测工件重合以便于相机同时对屏幕和被测工件对焦。本发明结构简单且使用方便,能够克服偏折测量的角度‑位置不确定度难题、克服屏幕离焦造成的相位解析误差,从而显著提高相位测量偏折术对复杂光学曲面的测量精度。
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公开(公告)号:CN118624178A
公开(公告)日:2024-09-10
申请号:CN202410795135.5
申请日:2024-06-19
Applicant: 江淮前沿技术协同创新中心 , 复旦大学
Abstract: 本发明公开了离轴反射系统用一贯式装调误差双通道检测装置及方法,属于精密装调技术领域。本发明利用对焦探测和偏折测量两个通道进行离轴反射系统的装调误差检测,对焦探测通道通过聚焦在光阑上光斑的强度和横向偏摆确定镜片的平移和倾斜;偏折测量通道通过标准离轴抛物镜将汇聚于离轴反射系统像面的球面波准直为平面波,并通过偏折测量组件进行包含波像差和调制传递函数的像质检测。本发明依靠双通道复合信号对光学系统进行装调,在失调量较大的粗调和最终的精调阶段都可以使用,且基于完备的像质评价指标,能够保证装调结果更为可靠。
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公开(公告)号:CN116499396A
公开(公告)日:2023-07-28
申请号:CN202310261863.3
申请日:2023-03-15
Applicant: 复旦大学 , 中山亚威光电科技有限公司
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明属于偏折测量技术领域,具体为一种基于光线约束的偏折测量系统一致性自标定方法。本发明将系统参数简化为屏幕坐标系下光线的方向及位置,对标准平面镜进行3次测量,对标准镜面的面形误差和屏幕的散焦虚像进行建模,根据光线直线传播原理,利用虚像对应点之间的共线约束建立系统的光线模型;然后对标准件面形进行测量,建立以测量误差和光线共线误差融合的代价函数对系统参数进行修正;最后通过多频高灵敏度编/解码方法增强系统的灵敏度。本发明有效缩短了误差传递链条,将各环节刚性的标定参数进行了退火,增加了系统参数的柔性。
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