公开(公告)号：CN204479095U

公开(公告)日：2015-07-15

申请号：CN201420795900.5

申请日：2014-12-17

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 兰云萍 ,  施云波 ,  冯侨华 ,  赵文杰 ,  王欣

IPC: G01D21/02

Abstract: 一种镍铬合金膜加热温度可控环境参数集成传感器，适用于对环境参数进行测量。本实用新型的目的是要解决现有的环境参数传感器测量参数单一、受环境温湿度影响较大、工作温度随环境变化、精度低、体积大、成本高等问题。一种镍铬合金膜加热温度可控环境参数集成传感器其特征在于：主要有硅基底、二氧化硅绝缘层、镍铬合金膜加热线圈，氧化铝绝缘层、镍铬合金膜传感器、连接线和凹槽构成。一种镍铬合金膜加热温度可控环境参数集成传感器，内置镍铬合金膜加热线圈，可为传感器提供适应的工作温度，从而提高精度，悬臂梁式结构可大大减小热量的浪费，MEMS技术的应用，可将风速风向传感器单元、温湿度传感器单元和加热体温度传感器单元和气体传感器单元集成在一个传感器中，可使本传感器体积变小、成本降低。

公开(公告)号：CN204479545U

公开(公告)日：2015-07-15

申请号：CN201420796429.1

申请日：2014-12-17

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 兰云萍 ,  施云波 ,  赵文杰 ,  冯侨华 ,  王欣

IPC: G01N33/00 ,  G01D3/036

Abstract: 一种镍铬合金膜加热温湿度自补偿气体集成传感器，适用于气体测量领域。本实用新型的目的是要解决现有的气体传感器检测参数单一、受环境温湿度影响较大、工作温度随环境变化、精度低、体积大、成本高等问题。一种镍铬合金膜加热温湿度自补偿气体集成传感器其特征在于：主要有硅基底、二氧化硅绝缘层、镍铬合金膜加热线圈，氧化铝绝缘层、镍铬合金膜传感器、连接线和凹槽构成。一种镍铬合金膜加热温湿度自补偿气体集成传感器，内置镍铬合金膜加热线圈，可为传感器提供适应的工作温度，从而提高精度，悬臂梁式结构可大大减小热量的浪费，MEMS技术的应用，不仅实现多传感器的集成，还可使本传感器体积变小、成本降低。

公开(公告)号：CN204359814U

公开(公告)日：2015-05-27

申请号：CN201420795617.2

申请日：2014-12-17

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 兰云萍 ,  施云波 ,  冯侨华 ,  赵文杰 ,  王欣

IPC: G01P5/10 ,  G01P13/02

Abstract: 一种镍铬合金膜加热的高精度风速风向集成传感器，适用于风速和风向测量领域。本实用新型的目的是要解决现有的风速风向传感器受环境温湿度影响较大、工作温度随环境变化、精度低、体积大、成本高等问题。一种镍铬合金膜加热的高精度风速风向集成传感器其特征在于：主要有硅基底、二氧化硅绝缘层、镍铬合金膜加热线圈，氧化铝绝缘层、镍铬合金膜传感器、连接线和凹槽构成。一种镍铬合金膜加热的高精度风速风向集成传感器，内置镍铬合金膜加热线圈，可为传感器提供适应的工作温度，8个传感器单元同时对风速风向信息进行测量，可进一步提高测量精度，悬臂梁式结构可大大减小热量的浪费，MEMS技术的应用，可使本传感器体积变小、成本降低。