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公开(公告)号：CN107479048A
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201710751690.8
申请日：2017-08-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01S7/481
CPC classification number: G01S7/4816
Abstract: InGaAs材料MSM结构光电混频探测器，涉及非扫描激光四维成像雷达领域，为了满足FM/CW体制的InGaAs材料MSM结构探测器的需求。本发明所包括的像元采用64×64阵列式排布，每个像元包括衬底、缓冲层、吸收层、缓变层、势垒增强层和叉指电极；衬底上依次设置缓冲层、吸收层、缓变层、势垒增强层和叉指电极，吸收层的材料为InGaAs；每个像元的长和宽均为60μm。本发明适用于光电混频探测。
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公开(公告)号：CN104923808B
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201510363157.5
申请日：2015-06-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23B21/00
Abstract: 极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架，属于极紫外光刻光源收集镜的刀架加工技术领域。它为了解决加工中由于车刀颤抖，使镜片表面出现波纹，表面粗糙度达不到要求的问题。本发明所述的刀架分成两部分，一部分为刀座，另一部分为一个长方体，刀座是一个圆柱体，在圆柱体的侧壁上开一个通孔，形成深斜孔，圆柱体与长方体为一体件，在长方体的上表面加工出两个镜像对称的凹槽，在两个凹槽的底面上各向下加工一个螺纹通孔，分别形成一号螺丝孔和二号螺丝孔。本刀座在加工中可保证车刀前进的平稳和加工表面的光滑。适用于作为极紫外光刻光源收集镜车削加工的刀架。
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公开(公告)号：CN105892240A
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201610437955.2
申请日：2016-06-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70825 , G03F7/2004 , G03F7/70016
Abstract: 极紫外光光刻光源收集镜片集成用的基座，涉及收集镜片的集成技术领域。为了满足将多层收集镜片集成为收集镜系统的需求。轮缘为不锈钢圆环，圆环的环形内设有6根辐条；每根辐条上均开有N个凹槽，6根辐条的凹槽组成N组与所述圆环同心的圆形，N为正整数，一组凹槽用于安装一层收集镜片，采用真空胶将收集镜片固定在凹槽中；不锈钢圆环的外径Φ为600mm，宽度为40mm、厚度为40mm。本发明的装置结构简单，能牢固固定收集镜片。本发明适用于集成收集镜片。
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公开(公告)号：CN105865758A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201610437953.3
申请日：2016-06-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 极紫外光收集镜系统的检测装置及应用该检测装置对极紫外光收集镜系统进行装配的方法，涉及光收集系统检测领域。解决了现有的极紫外光收集镜系统的集成性差、获得极紫外光的功率低的问题。它包括光源出射器和收集镜系统支撑架、CCD传感器、传感器支撑架和计算机；收集镜系统支撑架上固定有极紫外光收集镜系统，CCD传感器位于传感器支撑架上，且CCD传感器和传感器支撑架均位于收集镜系统支撑架下方，CCD传感器的数据信号输出端与计算机的数据信号输入端连接，光源出射器出射面光经极紫外光收集镜系统掠入射反射后，汇聚至CCD传感器，计算机用于测量CCD传感器接收到的光斑和记录光斑信息。用于对极紫外光收集镜系统进行性能检测。
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公开(公告)号：CN103447552B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201310438498.5
申请日：2013-09-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 极紫外光刻光源中光学收集镜直接车削加工粗加工方法，它涉及一种光学收集镜粗加工方法，以解决采用复制法对EUV光源中光学收集镜进行加工，需要先加工出一个与所需收集镜面型匹配的实心轴，再对实心轴表面进行镍沉积处理，之后将镍壳剥离形成收集镜基底，按照此方案的技术要求，加工过程中精度控制要求非常严格，增加了加工成本的问题，所述极紫外光刻光源中光学收集镜直接车削加工粗加工方法是按照以下步骤实现：一、坯料粗车，首先将铝合金坯料利用普通车床粗车成筒形工件；二、数控车削，由数控车床按收集镜面型车削筒形工件。本发明用于EUV光源中光学收集镜直接车削加工粗加工。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104617809A
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201510084938.0
申请日：2015-02-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02M9/06
Abstract: 一种Xe介质毛细管放电检测用光源的主脉冲电源，涉及Xe介质毛细管放电技术。它为了解决常规电源无法满足Xe介质毛细管放电检测用光源的要求的问题。三相交流电源通过一号变压器与初级充电电路连接，初级充电电路采用交流调压的充电电路，初级充电电路为中间储能脉冲形成电路充电，中间储能脉冲形成电路采用储能电容实现，中间储能脉冲形成电路的输出端通过二号变压器将能量传递给脉冲压缩电路，脉冲压缩电路通过磁脉冲压缩网络对脉冲进行压缩陡化，最终在负载上形成所需的脉冲。通过选择磁压缩回路中的电容、电感值，实现与光源等离子体匹配，从而更有效地实现Z箍缩。适合作为13.5nmXe介质毛细管放电检测用光源的电源。
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公开(公告)号：CN104597725A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201510084924.9
申请日：2015-02-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种毛细管放电EUV光源的真空室，涉及毛细管放电EUV光源技术。包括真空室I和真空室II两部分，真空室I的一端连接放电室，另一端与真空室II相连通，在放电室与真空室I连接处，设置有EUV光源的毛细管，真空室I与真空室II的连接处设置有收集镜支架，该收集镜支架的支撑杆上开有多个凹槽，用于安装收集系统的光学收集镜，真空室II的末端用于连接光刻机照明系统，所述末端的壁上设置有窗口，毛细管发出的极紫外光经过光学收集系统后聚焦在该窗口中央，并通过该窗口进入照明系统，本发明的真空室是针对上述多层wolte-I型的光学收集系统而设计的，与常规的真空室相比，不仅具有良好的真空度，而且收集效率高。
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公开(公告)号：CN102543630A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201210026159.1
申请日：2012-02-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种用于放电等离子体极紫外光刻光源的介质及其应用系统，它涉及放电等离子体光源的介质及其应用系统。本发明要解决现有放电等离子体EUV光源采用Xe介质导致其辐射光功率过低和稳定性差以及现有放电等离子体EUV光源系统不能调控不同气体流量的问题。本发明的介质是体积流量比为(0.2～2)∶(1～20)∶(1～20)的Xe气、He气和Ar气的混合气，其应用系统由Xe气瓶、He气瓶、Ar气瓶、Xe气气体流量计、He气气体流量计、Ar气气体流量计、毛细管、电极和高压脉冲电源组成。本发明将13.5nm辐射光输出功率提高2％，同时提高了气体击穿性能和辐射光输出功率稳定性。本发明用于放电等离子体极紫外光刻光源。
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公开(公告)号：CN102494765A
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN201110371873.X
申请日：2011-11-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01J1/42
Abstract: 能够实时获得极紫外光辐射特性的极紫外光探测系统，涉及一种极紫外光探测系统。它解决了现有的装置难以实时探测极紫外光辐射特性的问题。它的毛细管输出的辐射光入射至反射镜，经反射镜反射至滤光片，经滤光片滤光后入射至光电二极管的光输入端；示波器用于采集光电二极管的电信号并生成所述电信号的波形；示波器还用于通过电流线圈测量毛细管的放电电流并生成所述放电电流的波形；示波器还用于通过高压探头测量毛细管的放电电压，并生成所述放电电压的波形；光电二极管的电信号波形与毛细管的放电电流波形和放电电压波形之间形成时间关系波形，分析所述时间关系波形获得极紫外光辐射特性。本发明适用于实时获得极紫外光辐射特性。
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公开(公告)号：CN102435987A
公开(公告)日：2012-05-02
申请号：CN201110390617.5
申请日：2011-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01S7/497
Abstract: 基于单支连续太赫兹激光源的RCS测量装置，属于太赫兹雷达散射截面测量技术领域。它解决了2.52THz波段的不同尺寸目标雷达散射截面的测量问题。本发明包括CO2激光泵浦连续太赫兹激光器、斩波器、分光片、电控可变扩束比装置、P3离轴抛物面镜、P2离轴抛物面镜、精密运动平台、M1全反镜、P1离轴抛物面镜、散射信号探测器、第一锁相放大器模块、计算机和斩波器的驱动器。本发明适用于不同尺寸目标雷达散射截面的测量。
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