公开(公告)号：CN105116843A

公开(公告)日：2015-12-02

申请号：CN201510405398.1

申请日：2015-07-11

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘杨 ,  何良辰 ,  宋法质 ,  陈兴林 ,  刘洋 ,  宋跃 ,  张常江 ,  王一光 ,  万勇利 ,  赵为志

IPC: G05B19/414

CPC classification number: G05B19/414

Abstract: 一种直线电机与两个旋转电机的同步控制方法。本发明涉及一种直线电机与两个旋转电机的同步控制方法。所述控制方法包括以下六个步骤，步骤一：将运动控制卡系统初始化；步骤二：向初始化后的运动控制卡系统内输入用来控制两个旋转电机的旋转角度参数；所述两个旋转电机分别是定旋转电机与动旋转电机，所述定旋转电机固定在台体上，定旋转电机的转子通过旋转电机连接杆与动旋转电机的转子刚性连接，所述动旋转电机的转子通过水平方向可伸缩线缆与直线电机连接，所述直线电机在直线电机导轨上运动，所述直线电机导轨安装在台体的左侧边。本发明用于直线电机与旋转电机的同步控制。

公开(公告)号：CN105068383A

公开(公告)日：2015-11-18

申请号：CN201510474811.X

申请日：2015-08-05

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  赵为志 ,  董岳 ,  刘杨 ,  宋法质 ,  王一光

IPC: G03F7/20 ,  G06F19/00

Abstract: 一种微动台机械参数误差辨识方法，属于超精密制造领域。为了解决传统间接测量方法受固定参数和固定输入输出维数的限制的问题。本发明通过对微动台的建模，描述方程的建立，通过方程和近似解得一部分机械参数误差，最后引入紧凑式教学优化算法得到剩余其他的参数误差。使参数的测量不受测量的参数和需求参数的维数所限制，不受传统方法解算方程时参数矩阵不能为奇异矩阵的限制，误差参数的个数和需要测量的参数的个数不受限制，同时能满足控制所需的高精度。本发明用于光刻机。

公开(公告)号：CN105004264A

公开(公告)日：2015-10-28

申请号：CN201510434375.3

申请日：2015-07-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  刘洋 ,  王一光 ,  何良辰 ,  陈震宇 ,  宋法质 ,  张常江 ,  宋跃 ,  万勇利 ,  韩记晓 ,  赵为志

IPC: G01B9/02

Abstract: 基于VME总线的多路激光干涉仪数据的同步读取方法，属于高精度运动控制系统的信号采集与数据通信技术领域，本发明为解决读取多路激光干涉仪数据时，相互冲突、未加区分识别以及缺失同步性的问题。本发明应用VME总线通信机制，设计同步传输-存储卡产生同步时钟、数据存储信号、地址信号以及读使能信号，完成单块干涉信号处理卡到同步传输-存储卡的信号交互，用来实现最多四路激光干涉仪数据的同步读取，然后扩展到多块干涉信号处理卡，通过添加高位地址线的方法来区分干涉信号处理卡，从而解决了读取不同卡时地址冲突的问题，最终实现了任意路激光干涉仪数据的同步读取。

公开(公告)号：CN104935218A

公开(公告)日：2015-09-23

申请号：CN201510405399.6

申请日：2015-07-11

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘杨 ,  何良辰 ,  宋法质 ,  陈兴林 ,  刘洋 ,  宋跃 ,  张常江 ,  王一光 ,  万勇利 ,  赵为志

IPC: H02P5/52

Abstract: 一种双旋转电机系统的主从控制方法。本发明涉及一种双旋转电机系统的主从控制方法。所述双旋转电机系统包括定旋转电机、动旋转电机、旋转电机连接杆及台体，所述定旋转电机固定在台体上，所述定旋转电机的转子通过旋转电机连接杆与动旋转电机的转子刚性连接；所述控制方法包括七个步骤，步骤一：将运动控制卡系统初始化；步骤二：向初始化后的运动控制卡系统内输入用来控制定旋转电机的旋转角度参数；步骤三：利用双速旋转变压器及其角位变送器来采集定旋转电机的旋转角度数据，将传感器采集的旋转角度数据通过运动控制卡系统进行数据转换，并实时读取定旋转电机旋转角度数据。本发明用于双旋转电机系统的主从控制。

公开(公告)号：CN104914683A

公开(公告)日：2015-09-16

申请号：CN201510353919.3

申请日：2015-06-24

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  万勇利 ,  宋法质 ,  韩记晓 ,  张常江 ,  赵为志 ,  何良辰 ,  刘洋 ,  宋跃 ,  陈震宇

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种三自由度光刻机双工件台框架气浮补偿方法，本发明属于光刻机双工件台框架运动控制的高精度控制定位的技术领域。它的方法步骤为：在框架的一个长边同一侧固定安装第一三角光传感器、第二三角光传感器，在框架的短边上固定安装第三三角光传感器；设传感器的测量值在初始值的基础上变化了△m1,△m2,△m3，利用△m1,△m2求角度θ；以第二三角光传感器为研究对象，计算三个运动对第二三角光传感器读数的影响；得出框架沿Y方向偏移的距离△Y，在X向偏移的距离△X；根据θ,△X,△Y的值进行电机给定补偿；补偿公转电机控制给定，补偿X/Y电机的控制给定。本发明可以实现光刻机双工件台的换台补偿，对于外界的对框架的干扰可以实时动态补偿宏动电机的控制给定，达到顺利换台的目的。