公开(公告)号：CN104773961A

公开(公告)日：2015-07-15

申请号：CN201510159777.7

申请日：2015-04-07

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 王波 ,  赖志锋 ,  李文鹏 ,  王骏 ,  王石磊

IPC: C03C19/00

Abstract: 一种基于PLC的ICP等离子体加工机床腔体气压控制方法，属于等离子加工机床技术领域。为了克服以往等离子机床将反应气体直接排放入大气中的种种弊端，本发明可以在机床加工时维持机床腔体压力的稳定，防止压力变化对加工效果产生影响；在加工后，可以将机床腔体内部的反应剩余气体和反应后的气体进行抽排；之后再进行进一步的尾气处理，防止污染环境和损伤操作人员健康。

公开(公告)号：CN105014239B

公开(公告)日：2018-01-02

申请号：CN201510389636.4

申请日：2015-07-06

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 王波 ,  苏星 ,  王骏 ,  张鹏 ,  辛强

IPC: B23K26/348

Abstract: 一种激光辅助等离子体加工装置，本发明属于精密光学零件加工的技术领域。它的等离子体炬设置在牺牲工件的上端，使等离子体炬的等离子体炬加工区处在牺牲工件的上端面上，激光器发射的激光通过振镜系统反射到牺牲工件的上端面上，并使激光扫描区一直处在等离子体炬加工区的运动方向前侧，被加工件设置在牺牲工件的上端面上，牺牲工件的外轮廓大于被加工件的外轮廓。本发明在对光学镜片加工时，使用激光预处理，不会产生波纹度误差条件下部分修复微裂纹，进而使用大气等离子体加工，避免了等离子体加工损伤打开的效果，实现了高质量的光学加工。

公开(公告)号：CN104916519B

公开(公告)日：2017-03-15

申请号：CN201510389614.8

申请日：2015-07-06

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 王波 ,  苏星 ,  张鹏 ,  李娜 ,  王骏

IPC: H01J37/32

Abstract: 一种火抛光辅助电感耦合等离子体加工装置，本发明属于精密光学零件加工的技术领域。它的加工电感耦合等离子体炬和火抛光电感耦合等离子体炬都安装在双炬连接组件上；加工电感耦合等离子体炬通入的工作气体为含氟气体，具有去除效果；火抛光电感耦合等离子体炬通入的气体为不含氟气体，无去除效果；使火抛光电感耦合等离子体炬的火抛光电感耦合等离子体炬作用区位于加工电感耦合等离子体炬的加工电感耦合等离子体炬作用区运动方向前侧。本发明在对光学镜片加工时，使用火抛光电感耦合等离子体炬预处理，不会产生波纹度误差，部分修复微裂纹，进而使用大气等离子体加工，避免了等离子体加工损伤打开的效果，实现了高质量的光学加工。

公开(公告)号：CN104950355B

公开(公告)日：2016-04-27

申请号：CN201510389611.4

申请日：2015-07-06

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 王波 ,  苏星 ,  张鹏 ,  辛强 ,  王骏

IPC: G02B1/10 ,  C03C23/00

Abstract: 一种火抛光辅助电感耦合等离子体加工方法，它属于精密光学零件加工的技术领域。它的步骤一：启动加工电感耦合等离子体炬和火抛光电感耦合等离子体炬；步骤二：使火抛光电感耦合等离子体炬的火抛光电感耦合等离子体炬作用区位于加工电感耦合等离子体炬的加工电感耦合等离子体炬作用区运动方向前侧；步骤三：被加工件的上表面被加工件吸热，微裂纹发生融化修复作用；然后加工电感耦合等离子体炬对火抛光电感耦合等离子体炬作用区进行去除加工。本发明在对光学镜片加工时，使用火抛光电感耦合等离子体炬预处理，不会产生波纹度误差条件下部分修复微裂纹，进而使用大气等离子体加工，避免了等离子体加工损伤打开的效果，实现了高质量的光学加工。