公开(公告)号：CN113878537A

公开(公告)日：2022-01-04

申请号：CN202111194455.8

申请日：2021-10-13

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 王波 ,  廖秋岩 ,  丁飞 ,  薛家岱 ,  李铎 ,  乔政 ,  吴言功 ,  杨彦佶 ,  陈勇

IPC: B25B27/00 ,  B25B11/02

Abstract: 多层嵌套X射线聚焦镜主动力控制装调装置，属于X射线聚焦镜加工技术领域。该装调装置用于保证大批量装配的一致性，确保大尺寸超薄镜片低变形的同时提高装调效率。吊装盘组件、轮毂调节组件和光源组件从上到下依次安装在支架上，相机调节组件设置在吊装盘组件的正上方，吊装盘组件用于将镜筒吊装在相机调节组件和轮毂调节组件之间，光源组件发出的平行光经轮毂调节组件筛选后，经镜筒反射后聚焦于相机调节组件的相机成像平面上，根据相机所形成的光斑位置调节镜筒或者轮毂调节组件的轮毂。本发明避免了人为操作引入的不规范性，实现了装调的一致性和可靠性，保证了装配过程中镜片的低变形，节省人力，提高整体装调效率。

公开(公告)号：CN113847886A

公开(公告)日：2021-12-28

申请号：CN202111193022.0

申请日：2021-10-13

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 王波 ,  廖秋岩 ,  李铎 ,  丁飞 ,  薛家岱 ,  乔政 ,  吴言功 ,  杨彦佶 ,  陈勇

IPC: G01B11/24 ,  G01B9/02

Abstract: WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测方法，属于X射线聚焦镜内壁非接触检测技术领域。包括以下步骤：S5.用激光自准直仪确定镜筒主轴回转和垂直轴的偏心量、记录；S6.调整X位移台、长距离干涉测头和聚焦型短距离干涉测头到合适的位置，使其处于有效工作范围内；S7.控制高精度气浮主轴带动长距离干涉测头和聚焦型短距离干涉测头旋转一周，测量此处截面圆度；S8.移动升降导轨，根据需要测量多个截面圆度；S9.实时调整X位移台位置，通过控制升降导轨测量母线精度；S10.控制高精度气浮主轴旋转到一定角度，测量多条母线精度；S11.分析测量数据，得到镜筒内壁的面形精度。本发明可实现镜片内壁轴向和圆周方向的轮廓测量。