一种微流量气体密封的泄漏量检测装置

    公开(公告)号:CN107966252A

    公开(公告)日:2018-04-27

    申请号:CN201711140550.3

    申请日:2017-11-16

    CPC classification number: G01M3/26

    Abstract: 本发明提供一种提高检测精度的微流量气体密封的泄漏量检测装置,属于气体密封领域。本发明包括试验模块、参照模块、差压变送器和数据采集处理模块;试验模块用于为待检测工装提供参照模块相同的气压,差压变送器连接在试验模块与参照模块之间,用于实时有效的读取参照模块管路与试验模块管路的压力差,当待检测工装产生微量泄漏后,试验模块气体压力下降,数据采集处理模块将压力差换算成检测模块中气体的泄漏量,实现实时检测的功能。本发明保持参照模块压力不变,通过差压变送器读取压力差的方式来对气体泄漏量进行间接测量。相比于直接测量,本发明简单方便,成本较低;相比于直接读取管路压力的检测方式,本装置精确度更高。

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