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公开(公告)号:CN103292127B
公开(公告)日:2014-12-10
申请号:CN201310187886.0
申请日:2013-05-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: G05D3/12 , F16F15/00 , F16F15/002 , F16M11/121 , F16M11/18 , F16M11/26 , F16M11/32 , G05B15/02 , G05B19/27 , G05B2219/49276
Abstract: 多轴支撑气浮平台的测量控制系统,属于超精密仪器设备平台技术领域。本发明为了解决现有支撑平台的调平状态受限,应用范围狭窄的问题。它包括负载反馈单元、执行单元、位置测量单元、安全保护单元、控制器、旋转电机和直线光源,负载反馈单元包括M个压力传感器和四个差动传感器;执行单元包括M个伺服音圈电机和M个伺服音圈电机驱动器;位置测量单元包括平面光栅、M个直线光栅、线阵CCD、倾角传感器、M个电子水平仪和室内GPS;安全保护单元包括2M个接近传感器和M个温度传感器,线阵CCD由不少于六个CCD组成。本发明用于气浮平台的测量控制。
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公开(公告)号:CN104015943A
公开(公告)日:2014-09-03
申请号:CN201410277190.1
申请日:2014-06-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B64G7/00
Abstract: 气浮平面运动平台的质量补偿系统,属于地面全物理仿真领域。为了解决安置于上平台的气瓶中高压气体重量变化会引起上台面负载质量的变化,进而影响仿真试验的问题,所述质量补偿系统由1号储水腔、2号储水腔、水泵以及传输管道组成,1号储水腔悬挂于六自由度气浮台上平台下端,2号储水腔安置于六自由度气浮台下平台上,1号储水腔与2号储水腔通过传输管道与水泵相连。本发明采用两个储水腔动态补给的方式,测量得到气瓶中损失的气体质量后将同等质量的配重液体靠水泵抽取至上平台储水腔。本发明保证了载物平台的质量稳定性,大大提高了仿真实验精度与可行性。
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公开(公告)号:CN104019940B
公开(公告)日:2016-03-30
申请号:CN201410277199.2
申请日:2014-06-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于差动测量的高精度气浮垂向调节机构,属于地面全物理仿真领域。为了解决在测量垂向运动机构测量气腔压力时压力传感器量程过大而带来的精度变差、非线性度及偏差相应增大的问题,所述气浮垂向调节机构由垂向运动机构、基准压力气腔、绝对压力传感器、相对压力传感器构成,垂向运动机构旁安置有基准压力腔,绝对压力传感器安置于基准压力腔内,垂向运动机构由垂向气浮轴承外套和垂向气浮轴承内套组成,垂向气浮轴承外套和垂向气浮轴承内套之间为垂向气腔,相对压力传感器安置于垂向气腔与基准压力腔之间。本发明在测量垂向运动机构绝对压力时采用基准压力腔绝对压力与相对压力叠加的方式,具有较高的测量精度,可达到较为良好的实验效果。
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