公开(公告)号：CN109437303A

公开(公告)日：2019-03-08

申请号：CN201811503365.0

申请日：2018-12-10

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 李垚 ,  豆书亮 ,  赵九蓬 ,  任飞飞 ,  张伟岩 ,  李龙

IPC: C01G31/02

CPC classification number: C01G31/02

Abstract: 基于VO2薄膜的热致变色智能热控器件及其制备方法，它属于智能材料微纳结构器件制备领域。本发明要解决现有VO2薄膜高温的反射较高，导致基于VO2的智能热控器件的高温发射率较低的问题。基于VO2薄膜的热致变色智能热控器件自下而上依次由高反射金属基底层、微纳结构VO2层和保护层组成；或基于VO2薄膜的热致变色智能热控器件自下而上依次由半导体基底层、红外高反射层、微纳结构VO2层和保护层组成。制备方法：一、清洗基片；二、VO2薄膜制备；三、微纳结构加工；四、保护层沉积。本发明用于基于VO2薄膜的热致变色智能热控器件及其制备。

公开(公告)号：CN109365995A

公开(公告)日：2019-02-22

申请号：CN201811489271.2

申请日：2018-12-06

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 李垚 ,  任飞飞 ,  豆书亮 ,  赵九蓬 ,  张伟岩 ,  李龙

IPC: B23K26/0622 ,  B23K26/082 ,  B23K26/046 ,  B23K26/70

Abstract: 一种高度均一的微锥阵列结构的制备方法，本发明涉及微锥阵列结构的制备方法领域。本发明要解决现有方法制备的微锥阵列结构存在的均匀性差，制备工艺繁琐，无法大面积加工，材料普适性差的问题。方法：一、将激光焦点中心聚焦在样品上表面；二、设置激光单脉冲能量；三、设置平面网格路径，然后采用激光扫描样品上表面；四、利用去离子水超声清洗处理后的样品。本发明可以通过调节激光脉冲能量、脉冲速率和振镜扫描参数，实现微锥的尺寸及形貌结构的精确调谐，有利于功能微结构的最优设计。本发明用于制备高度均一的微锥阵列结构。