一种基于物距对焦法的大口径元件边缘检测方法

    公开(公告)号:CN114119555A

    公开(公告)日:2022-03-01

    申请号:CN202111428157.0

    申请日:2021-11-29

    Abstract: 一种基于物距对焦法的大口径元件边缘检测方法,涉及工程光学技术领域,用以解决现有技术在采集图像前不能获得全局清晰的聚焦位置的问题。本发明的技术要点包括:将元件的多个边缘分别移动到相机视野范围内,改变物距,采集获得不同焦平面下每个边缘对应的多个图像;根据每个边缘对应的多个图像的方差变化曲线对每个边缘进行自动清晰聚焦;聚焦完成后,采集包含每个边缘的多个图像,并对多个图像进行处理,从而获取多个边缘的位置;其中,设计边缘自动聚焦策略根据图像的方差变化曲线进行自动聚焦,使得获取的边缘图像更为清晰,进而可以更加准确地获取元件边缘坐标位置。本发明方法易于实现自动化,可用于大口径元件的边缘检测。

    一种大口径元件表面微缺陷检测与修复的自动化工艺方法

    公开(公告)号:CN114113114A

    公开(公告)日:2022-03-01

    申请号:CN202111428288.9

    申请日:2021-11-29

    Abstract: 一种大口径元件表面微缺陷检测与修复的自动化工艺方法,涉及工程光学技术领域,用以解决现有技术对于大口径元件表面微缺陷的检测精度低和修复效率低的问题。本发明的技术要点包括:利用暗场相机采集元件表面图像并处理,实现对元件表面多个缺陷区域的粗定位;利用显微相机按照粗定位获得的每个缺陷区域位置采集包含单个缺陷区域的图像并处理,实现对元件表面多个缺陷区域的精定位;利用激光修复装置对多个缺陷区域进行修复;修复完成后对多个修复坑进行修复效果检测。本发明实现了大口径元件表面微缺陷的自动化检测与修复,有效缩短了元件修复时间,减少人工参与程度,为工程上大批量修复光学元件提供了技术支撑。

    一种用于表面微缺陷定位与识别的三光源显微系统装置

    公开(公告)号:CN114113113A

    公开(公告)日:2022-03-01

    申请号:CN202111428159.X

    申请日:2021-11-29

    Abstract: 本发明公开了一种用于表面微缺陷定位与识别的三光源显微系统装置,解决了目前的检测方法无法一次获得在不同光源照射条件下的微缺陷图像,缺陷检测准确率低,可检测缺陷的尺寸范围小,光源安装占用空间大,采集的缺陷图像较为单一,难以准确、高效地识别表面微缺陷的问题,包括:背照光源、背照光源散射板、环形光源、同轴镜头、同轴光源和CCD相机,背照光源、背照光源散射板、环形光源、同轴镜头和CCD相机依次序同轴设置,同轴镜头上还安装有同轴光源,同轴光源的中心轴线垂直于同轴镜头的中心轴线,将光学元件置于背照光源散射板和环形光源之间,通过三光源显微系统装置对光学元件的表面缺陷进行定位和识别。

    具有平衡装置的大负载单端驱动移动平台

    公开(公告)号:CN105759389B

    公开(公告)日:2018-01-30

    申请号:CN201610231486.9

    申请日:2016-04-14

    Abstract: 具有平衡装置的大负载单端驱动移动平台,涉及一种大负载单端驱动移动平台。解决了现有单侧驱动易造成机构偏载,上升和下降过程中机构形变不同,影响设备的运行精度或安装过程中误差过大,会导致元件卡死在两侧导轨之间,造成设备损坏的问题。本发明的两个气缸结构的浮动接头的下端固定在承载框体的下边框的上表面,且浮动接头的上端与低摩擦力气缸杆螺纹连接,低摩擦力气缸杆在低摩擦力气缸体内做活塞运动,低摩擦力气缸体顶端穿过龙门横板与双耳环座固定链接,双耳环结构安装在龙门肋板上,双耳环结构(11)与双耳环座(12)之间通过气缸铰链轴铰接,实现相对旋转。本发明适用于作为单端驱动形成装置使用。

    大口径曲面光学元件表面微缺陷修复用快速装夹随行夹具装置

    公开(公告)号:CN105834636B

    公开(公告)日:2017-10-03

    申请号:CN201610231493.9

    申请日:2016-04-14

    Abstract: 大口径曲面光学元件表面微缺陷修复用快速装夹随行夹具装置,涉及一种随行夹具。解决了现有光学元件随行夹具装置存在夹持不稳定、易划伤光学元件且夹持过程耗时的问题。本发明的夹具框体为矩形框架,夹具框体的底边框的下表面设有两个定位球头,且两个定位球头以夹具框体竖直方向的中线为对称轴对称设置,夹具框体的前侧设置有两个前挡板,且固定在夹具框体的底边框上,夹具框体的左右两个边框上分别设置有一个侧面顶柱,两个侧面顶柱均固定在夹具框体的后侧,夹具框的左右两个边框上的外侧分别设有一个球窝件,夹具框体的上边框上固定有上顶柱,底部定位夹持件的一端夹持在夹具框体下边框上。本发明适用于作为随行夹具使用。

    一种熔石英元件表面缺陷激光修复质量的自动检测方法

    公开(公告)号:CN114119556B

    公开(公告)日:2024-11-05

    申请号:CN202111428213.0

    申请日:2021-11-29

    Abstract: 一种熔石英元件表面缺陷激光修复质量的自动检测方法,涉及工程光学技术领域,用于检测熔石英元件表面缺陷的修复质量。本发明的技术要点包括:改变相机和元件之间的距离,采集对应不同聚焦状态下包含修复坑的多个图像;对不同聚焦状态下的多个图像进行景深融合,获取包含修复坑的清晰图像;将包含修复坑的清晰图像输入预训练的残余损伤检测模型,获取检测结果。本发明通过单幅拍照和扫描拍照结合的方式实现了不同尺寸修复坑图像的自动采集,使用景深融合与图像拼接方法获得了修复坑完整的全景深图像,使用基于卷积神经网络的目标检测方法实现了修复坑残余损伤的检测。本发明无需人工干预,可应用于元件表面缺陷修复后对于修复质量的自动检测。

    一种大口径元件表面微缺陷精确检测工艺方法

    公开(公告)号:CN114113116B

    公开(公告)日:2023-08-18

    申请号:CN202111429843.X

    申请日:2021-11-29

    Abstract: 一种大口径元件表面微缺陷精确检测工艺方法,涉及工程光学技术领域,用以解决现有技术中对于大口径元件表面缺陷检测的定位精度低的问题。本发明的技术要点包括:在暗场环境下对元件表面预设扫描区域进行逐行逐列移动扫描,采集获取多个预设拍照位置的多张子孔径图像;对多张子孔径图像进行处理,获得元件表面多个缺陷区域的位置和实际尺寸。本发明采用扫描拍照的方式实现了大口径元件表面暗场图像的采集,通过图像处理实现了表面缺陷的精确提取。本发明方法易于实现自动化,可为后续缺陷点的定位与修复提供准确的位置与尺寸信息。

    一种基于卷积神经网络的表面微缺陷检测方法及装置

    公开(公告)号:CN114119554A

    公开(公告)日:2022-03-01

    申请号:CN202111428143.9

    申请日:2021-11-29

    Abstract: 一种基于卷积神经网络的表面微缺陷检测方法及装置,涉及机器学习技术领域,用以解决现有技术对于元件表面缺陷的检测准确率不高且自动识别效率不高的问题。本发明的技术要点包括:采集获取多个元件表面缺陷区域的图像作为图像训练集;对训练集图像进行预处理;将预处理后的训练集图像输入改进的卷积神经网络模型中进行训练,获得训练好的基于卷积神经网络的分割模型;将包含元件表面缺陷区域的待检测图像输入训练好的基于卷积神经网络的分割模型中,获得分割结果;基于分割结果,计算获得缺陷区域在图像中的位置和尺寸。本发明解决了传统图像处理算法较难获得缺陷的完整轮廓且会检测出多个目标干扰信息的问题,且极大的降低了图片处理的时间。

    一种大口径元件表面微缺陷高精度自动定位方法

    公开(公告)号:CN114113115A

    公开(公告)日:2022-03-01

    申请号:CN202111429808.8

    申请日:2021-11-29

    Abstract: 一种大口径元件表面微缺陷高精度自动定位方法,涉及工程光学技术领域,用以解决现有技术对于大口径元件上尺寸较小的缺陷区域难以准确定位的问题。本发明的技术要点包括:获取元件表面缺陷区域的原始位置,包括在机床坐标系下X、Y、Z轴原始坐标;采用改变物距的自动聚焦方法对缺陷区域Z轴原始坐标进行修正,获得Z轴修正坐标;根据Z轴修正坐标对应的物距,采集包含元件表面缺陷区域的图像并对图像进行处理,利用处理结果对缺陷区域X、Y轴坐标进行修正,获得X、Y轴修正坐标。本发明提高了元件表面缺陷的定位和尺寸测量精度,为后续激光修复提供了可靠参数。本发明可应用于在已获取元件表面缺陷粗定位后进一步精确定位缺陷区域位置。

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