公开(公告)号：CN114113113A

公开(公告)日：2022-03-01

申请号：CN202111428159.X

申请日：2021-11-29

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 赵林杰 ,  陈明君 ,  林志宇 ,  尹朝阳 ,  程健 ,  袁晓东 ,  郑万国 ,  廖威 ,  王海军 ,  张传超

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明公开了一种用于表面微缺陷定位与识别的三光源显微系统装置，解决了目前的检测方法无法一次获得在不同光源照射条件下的微缺陷图像，缺陷检测准确率低，可检测缺陷的尺寸范围小，光源安装占用空间大，采集的缺陷图像较为单一，难以准确、高效地识别表面微缺陷的问题，包括：背照光源、背照光源散射板、环形光源、同轴镜头、同轴光源和CCD相机，背照光源、背照光源散射板、环形光源、同轴镜头和CCD相机依次序同轴设置，同轴镜头上还安装有同轴光源，同轴光源的中心轴线垂直于同轴镜头的中心轴线，将光学元件置于背照光源散射板和环形光源之间，通过三光源显微系统装置对光学元件的表面缺陷进行定位和识别。