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公开(公告)号：CN101908497A
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN201010225906.5
申请日：2010-07-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677 , B25J9/02 , B25J13/00 , B25J19/00
Abstract: 一种应用于洁净环境下的双臂传输机器人，用于高洁净度环境下、大直径半导体硅片的传输与高精度定点置放的。双臂传输机器人的结构形式为R-θ型，其工作原理是基于柱坐标系的空间结构，具有各运动轴可以独立控制的特点。双臂传输机器人主要由R轴左臂机构、R轴右臂机构、T轴旋转机构、Z轴升降机构等组成，并且采用了特殊的密封装置封闭传动机构对外部环境的污染，以适应高洁净度的生产环境要求。
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公开(公告)号：CN102623375B
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：CN201210068623.3
申请日：2012-03-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677 , F16H37/02 , F16H25/22
CPC classification number: F16H25/20 , F16H25/2204 , F16H2025/2053 , F16H2025/2096
Abstract: 一种能够平衡受力状态的Z轴升降机构，它涉及一种半导体硅片传输机器人制造领域，以解决现有Z轴传动升降机构存在结构受力状态不好、滚珠导轨产生较大的微观变形的问题。上安装盖与下安装座上下正对设置，Z轴驱动装置组件与下安装座连接，预紧轮支撑架套装在Z轴驱动装置组件上，预紧轮支撑架与下安装座连接，三个丝杠传动机构沿同一圆周均布设置在上安装盖与下安装座之间，同步齿传动带的中心端套装在同步传动主动齿轮上，同步齿传动带的三个外侧端分别套装在三个同步传动被动齿轮上，三个滚珠丝母分别与三个传动丝杠螺纹连接，下深沟球轴承安装在下安装座的下轴承安装孔内，上深沟球轴承安装在上轴承安装孔内。本发明用于硅片传输机器人上。
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公开(公告)号：CN102290360B
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN201110062776.2
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677
Abstract: 一种旋转角度大于1000°的T轴旋转限位结构包括T轴限位上联接盘1、一级拨榫机构组合2、一级旋转限位拨盘3、二级拨榫机构组合4、上轴承5、轴承隔套6、旋转轴7、下轴承8、二级旋转限位拨盘9、限位套10、限位块11、联接螺钉12等。完成装配后，T轴限位机构旋转的总角度达1010°，以适应集成度要求更高、能够满足多角度、多工位进行硅片传输的T轴限位旋转机构。
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公开(公告)号：CN102176424B
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201110062759.9
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/68 , H01L21/677 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种结构合理，能够方便、可靠地调整双臂机械手FORK圆心重合的方法。方法通过FORK圆心基准试验台提供确定的双臂FORK圆心基准，通过FORK调整夹头来对FORK组合中的圆心进行调整。经过调整，当T轴处于零位时，可使双臂机械手末端FORK的圆心在R轴各自的旋转平面内上下重合，从而为双臂机械手运动轨迹提供了原始定位基准。
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公开(公告)号：CN102176423B
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：CN201110062770.5
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677 , H01L21/68
Abstract: 一种硅片传输机器人的Z轴双重限位机构。电子限位应用了光电传感器原理，属于无触点式的电子开关，限位精度高，无机械磨损、使用寿命长。机械硬限位使用金属材料，约束面积大、刚性高，有利于Z轴电机迅速产生过载力矩而报警断电，防止因电子限位失效而造成设备的其它损害。本发明限位作用可靠，在装配过程中无需调整。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102126208B
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201110062722.6
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明在于提供一种用于硅片传输机器人的并联型R轴扩展机械臂，用于完成特殊位置的取放硅片工作流程。当取放硅片的位置相对于R轴回转半径变化不大而行走轨迹较为复杂时，采用并联型R轴扩展机械臂能够简化R轴的工作路径和行走轨迹，化简程序编制的难度及工作量，并能有效的提高工作效率。并联型R轴扩展机械臂的动力由独立的W/T轴电机和两个W/R轴电机提供，由计算机统一控制其工作程序；当R轴的工作轨迹在其回转半径内变化不大且呈现较为复杂状态时，并联型R轴扩展机械臂的W/T轴电机和两个W/R轴电机按计算机程序的控制，驱动执行机构开始作不同角度、不同方向的旋转，带动两个FORK组合按工作位置行进，从而额外获得以W/T轴和W/R轴为旋转中心、以前伸的FORK组合中心长度为半径的一组工作轨迹，以完成特殊位置的取放硅片工作流程。
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公开(公告)号：CN102152316A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN201110062744.2
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25J17/00
Abstract: 一种硅片传输机器人R轴结构，具有更高的回转精度、联接刚度、结构简单、节省空间、特别适用于空间结构狭窄的硅片传输机器人R轴结构，包括R轴大臂外壳机构(1)、R轴大臂同步带及预紧机构(2)、同轴密封机构(3)、同步小带轮旋转机构(4)、同步大带轮旋转机构(5)、十字交叉轴承(6)、传动轴机构(7)、R轴小臂同步带及预紧机构(8)、R轴小臂外壳机构(9)等。本发明机构的特点，是使用1个十字交叉轴承(6)来取代传统结构中的一对角接触球轴承、轴承隔套、轴承压盖、轴承锁紧螺母等一系列零件组成的机构，使传动轴的长度有效减短，从而降低了R轴大小臂的高度空间，并由此引发一系列功能的改善。
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公开(公告)号：CN101865215A
公开(公告)日：2010-10-20
申请号：CN201010225878.7
申请日：2010-07-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种高精度的同轴联接机构，包括次级传动轮(1)、主传动轮轴(2)、联接板(3)，联接螺钉(4)；所述次级传动轮(1)底面具有止口，所述止口上均布第一组螺孔，所述主传动轮轴(2)上均布第二组螺孔，所述联接板(3)上设置有与所述次级传动轮(1)和主传动轮轴(2)上的螺孔相对应的沉头螺孔，所述次级传动轮(1)与所述主传动轮轴(2)间隙配合，所述联接板(3)设置在所述次级传动轮(1)的止口内，对正其沉头螺孔与主传动轮轴(2)配合端面的螺孔，以一组联接螺钉(4)放入联接板(3)的沉头螺孔内并拧紧，使联接板(3)底面与主传动轮轴(2)的端面紧固。螺纹变形自锁不易脱扣。
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公开(公告)号：CN102623375A
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：CN201210068623.3
申请日：2012-03-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677 , F16H37/02 , F16H25/22
CPC classification number: F16H25/20 , F16H25/2204 , F16H2025/2053 , F16H2025/2096
Abstract: 一种能够平衡受力状态的Z轴升降机构，它涉及一种半导体硅片传输机器人制造领域，以解决现有Z轴传动升降机构存在结构受力状态不好、滚珠导轨产生较大的微观变形的问题。上安装盖与下安装座上下正对设置，Z轴驱动装置组件与下安装座连接，预紧轮支撑架套装在Z轴驱动装置组件上，预紧轮支撑架与下安装座连接，三个丝杠传动机构沿同一圆周均布设置在上安装盖与下安装座之间，同步齿传动带的中心端套装在同步传动主动齿轮上，同步齿传动带的三个外侧端分别套装在三个同步传动被动齿轮上，三个滚珠丝母分别与三个传动丝杠螺纹连接，下深沟球轴承安装在下安装座的下轴承安装孔内，上深沟球轴承安装在上轴承安装孔内。本发明用于硅片传输机器人上。
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