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公开(公告)号：CN112241031A
公开(公告)日：2021-01-19
申请号：CN202011103988.6
申请日：2020-10-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种红外增透的二氧化铪介质薄膜及其制备方法，它属于红外增透领域。本发明要解决现有Si基底透过率较低，而HfO2薄膜存在增透极限的问题。红外增透的二氧化铪介质薄膜由Si基底及一侧设置的HfO2微纳结构层组成，或红外增透的二氧化铪介质薄膜由Si基底及两侧设置的HfO2微纳结构层组成。制备方法：一、清洗基片；二、HfO2薄膜制备；三、微纳结构加工。本发明用于红外增透的二氧化铪介质薄膜及其制备。
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公开(公告)号：CN109626317B
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN201811554096.0
申请日：2018-12-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于双梯度锥形孔阵列的复合结构膜及其制备方法，它涉及一种复合结构膜及其制备方法，本发明要解决对自驱动的水雾收集膜水滴自驱动效果不理想，自驱动能量来源单一等问题。本发明采用飞秒激光钻孔技术结合低表面能修饰技术，通过调整激光脉冲冲击参数与焦点空间位置，实现具有形貌梯度和表面能梯度的锥形孔阵列的高效快速加工。所述结构能自发的改变水滴自身状态完成从上表面到下表面自驱动地运输过程。本发明制备的复合结构铝箔的上下表面分别具有超疏水和超亲水性能。微孔内顶端到底端存在三种渐变元素，粗糙度、表面能和截面半径，这三种梯度赋予了液滴从铝箔上表面自发地转移到下表面的能力。本发明应用于雾水处理领域。
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公开(公告)号：CN111077603A
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201911405665.X
申请日：2019-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种红外发射率可调柔性薄膜及其制备方法，它属于智能热控领域。本发明要现有方法提高基于VO2的智能热控器件发射率变化值，需要高精度的真空镀膜系统和微纳结构加工系统，成本高，制备效率低，面积大小受限，且制备温度较高，难以在柔性基底上沉积柔性薄膜，不能满足异形结构应用的问题。一种红外发射率可调柔性薄膜自下而上依次由高反射金属基底层、VO2复合层和表面保护层组成。制备方法：一、微米级W掺杂VO2颗粒的制备；二、VO2复合层膜的制备；三、高反射金属基底层沉积；四、表面保护层沉积。本发明用于红外发射率可调柔性薄膜及其制备。
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公开(公告)号：CN112241031B
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202011103988.6
申请日：2020-10-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种红外增透的二氧化铪介质薄膜及其制备方法，它属于红外增透领域。本发明要解决现有Si基底透过率较低，而HfO2薄膜存在增透极限的问题。红外增透的二氧化铪介质薄膜由Si基底及一侧设置的HfO2微纳结构层组成，或红外增透的二氧化铪介质薄膜由Si基底及两侧设置的HfO2微纳结构层组成。制备方法：一、清洗基片；二、HfO2薄膜制备；三、微纳结构加工。本发明用于红外增透的二氧化铪介质薄膜及其制备。
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公开(公告)号：CN111453999B
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202010225122.6
申请日：2020-03-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种智能辐射器的制备方法，它属于智能热控领域。本发明要解决现有VO2薄膜热调控能力不足的问题。一种智能辐射器自下而上依次由高反射金属基底层、红外高吸收中间介质层和VO2复合层组成。制备方法：一、VO2颗粒掺杂的红外透明基体材料溶胶的制备；二、VO2复合层的制备；三、金属层沉积。本发明用于一种智能辐射器及其制备。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109487212A
公开(公告)日：2019-03-19
申请号：CN201811504248.6
申请日：2018-12-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种多层微纳结构VO2智能热控器件及其制备方法，本发明涉及一种VO2智能热控器件及其制备方法，它要解决VO2的相变过程发射率变化比较小，温度调控能力有限的问题。本发明多层微纳结构VO2智能热控器件是在基底表面依次溅射有金属反射层、SiO2层、VO2功能层和Al2O3保护层，其中VO2功能层和Al2O3保护层具有正方形微纳结构。制备方法：在清洗后的基底表面依次溅射金属反射层、SiO2层、功能层和保护层，在功能层和保护层利刻蚀出正方形微纳结构。本发明将VO2表面微结构与等离子体共振吸收相结合，降低太阳吸收率α的同时极大程度的提高红外吸收，拉大了发射率变化范围。
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公开(公告)号：CN111139432B
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202010021933.4
申请日：2020-01-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种仿蛾眼结构二氧化钒智能窗薄膜，它属于智能窗领域。本发明要解决现有VO2薄膜低温可见透过比较低，热调控能力不足以满足使用需求，且相变温度较高，严重制约其在智能窗领域应用的问题。仿蛾眼结构二氧化钒智能窗薄膜自下而上依次由基底层和VO2层组成。制备方法：一、高能脉冲磁控溅射W掺杂的VO2薄膜制备；二、离子束刻蚀。本发明用于仿蛾眼结构VO2智能窗薄膜及其制备。
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公开(公告)号：CN109518148B
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN201811533297.2
申请日：2018-12-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种利用高能脉冲反应磁控溅射制备二氧化钒智能热控器件的方法，涉及一种制备二氧化钒智能热控器件的方法。目的是解决现有磁控溅射制备VO2智能热控器件的工艺存在制备温度高的问题。利用高能脉冲靶磁控溅射装置在基底表面沉积金属反射层，然后在金属反射层表面沉积VO2功能层，最后在VO2功能层表面沉积保护层。本发明将高能脉冲磁控溅射方法应用于VO2智能热控器件制备，优点是所需制备温度低，所需成本较低。本发明适用于制备二氧化钒智能热控器件。
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公开(公告)号：CN109626317A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201811554096.0
申请日：2018-12-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于双梯度锥形孔阵列的复合结构膜及其制备方法，它涉及一种复合结构膜及其制备方法，本发明要解决对自驱动的水雾收集膜水滴自驱动效果不理想，自驱动能量来源单一等问题。本发明采用飞秒激光钻孔技术结合低表面能修饰技术，通过调整激光脉冲冲击参数与焦点空间位置，实现具有形貌梯度和表面能梯度的锥形孔阵列的高效快速加工。所述结构能自发的改变水滴自身状态完成从上表面到下表面自驱动地运输过程。本发明制备的复合结构铝箔的上下表面分别具有超疏水和超亲水性能。微孔内顶端到底端存在三种渐变元素，粗糙度、表面能和截面半径，这三种梯度赋予了液滴从铝箔上表面自发地转移到下表面的能力。本发明应用于雾水处理领域。
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公开(公告)号：CN109518148A
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201811533297.2
申请日：2018-12-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种利用高能脉冲反应磁控溅射制备二氧化钒智能热控器件的方法，涉及一种制备二氧化钒智能热控器件的方法。目的是解决现有磁控溅射制备VO2智能热控器件的工艺存在制备温度高的问题。利用高能脉冲靶磁控溅射装置在基底表面沉积金属反射层，然后在金属反射层表面沉积VO2功能层，最后在VO2功能层表面沉积保护层。本发明将高能脉冲磁控溅射方法应用于VO2智能热控器件制备，优点是所需制备温度低，所需成本较低。本发明适用于制备二氧化钒智能热控器件。
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