公开(公告)号：CN115224135A

公开(公告)日：2022-10-21

申请号：CN202211036920.X

申请日：2022-08-26

Applicant: 厦门大学

Inventor： 龙浩 ,  蔡子灵

IPC: H01L31/0232 ,  H01L31/18 ,  H01L31/08

Abstract: 本发明公开了基于谐振腔的窄带光探测器，相对于传统的光探测器而言，本方案的光探测器能够利用DBR‑FP腔光学相干效应形成高反带中特定波长(腔模)透过率增强，其他波长透过率几乎为0的选择效果，特定腔模可以通过控制腔长所得和调整，即具有优秀的波长选择性；除此之外，本方案利用DBR‑FP腔，将腔模波长入射光限制在两反射镜构成的腔内,发生多次反射产生干涉增强作用,使腔模的光模式态密度增大，增强特定吸收，使本方案的窄带光探测器具有高响应度的优势。

公开(公告)号：CN113206446A

公开(公告)日：2021-08-03

申请号：CN202110485561.5

申请日：2021-04-30

Applicant: 厦门大学

Inventor： 龙浩 ,  陈衍晖 ,  张保平 ,  梅洋 ,  许荣彬

IPC: H01S5/183 ,  H01S5/187 ,  H01S5/042

Abstract: 本发明公开了基于导电氧化物DBR的氮化物垂直腔面发射激光器的制作方法，激光器包括依序层叠设置的支撑基板、第一反射镜、电流限制层、p型层、有源区、n型层、第二反射镜以及n电极；其中，第一反射镜、第二反射镜分别由p型、n型导电性氧化物DBR构成；本发明使用具有导电性的氧化物材料制作分布式布拉格反射镜，作为氮化物垂直腔面发射激光器的反射镜，具有优良的导电性能，能够同时作为激光器电极使用，同时，本发明激光器结构中不需要使用透明电流扩展层以及腔内接触电极结构，从而显著地简化了激光器结构以及制备工艺；本方案制作方法与标准半导体制备工艺兼容，可以满足大规模光电器件制备与集成的需要，有着广泛的应用前景。