公开(公告)号：CN216938970U

公开(公告)日：2022-07-12

申请号：CN202220176207.4

申请日：2022-01-21

Applicant: 厦门大学 ,  嘉庚创新实验室

Inventor： 周锐 ,  严星 ,  王振忠 ,  朱宇超 ,  陈哲堃 ,  洪明辉

IPC: B23K26/362 ,  B23K26/16 ,  B23K26/70

Abstract: 本申请公开了一种基片承载及吹扫装置。基片承载及吹扫装置包括真空发生器、气体吹送器和载台；载台顶端设有气流槽；气流槽的槽壁设有朝向气流槽的吹扫孔；吹扫孔连通气体吹送器，以接入气流并朝向气流槽内吹出气体；气流槽的槽底设有承载槽；承载槽与基片匹配；承载槽的槽底设有若干支承基片的凸起部和沿竖直方向贯通的通孔；凸起部的顶端设有吸附孔；各凸起部沿通孔的周向布设；吸附孔连通真空发生器，各吸附孔内的空气由真空发生器进行抽吸且能够处于真空状态；基片支承于凸起部上时，其上表面低于或齐平于气流槽的槽底。采用上述技术方案的基片承载及吹扫装置，其能够灵活地对基片进行装载，对基片的定位准确，基片损伤风险小且清洁度高。

公开(公告)号：CN216871006U

公开(公告)日：2022-07-01

申请号：CN202220190994.8

申请日：2022-01-24

Applicant: 厦门大学 ,  嘉庚创新实验室

Inventor： 周锐 ,  陈哲堃 ,  王振忠 ,  朱宇超 ,  严星 ,  洪明辉

IPC: G03F7/20

Abstract: 本实用新型公开了一种桌面便携式无掩膜曝光机，其特征在于：包括壳体和安装在所述壳体内的激光系统、微透镜阵列模块、移动平台及电源，所述的微透镜阵列模块设在激光系统与移动平台之间，所述的移动平台承载加工基片，激光系统发出的激光束照射到微透镜阵列模块上被分束和聚焦后投射到移动平台上的加工基片进行曝光。它具有如下优点：实现无掩膜光刻，加工效率高，尤其适用周期性图案的曝光加工，小型化、便于移动和携带。

公开(公告)号：CN209080200U

公开(公告)日：2019-07-09

申请号：CN201821610553.9

申请日：2018-09-30

Applicant: 厦门大学

Inventor： 吴德志 ,  吴珊 ,  朱宇超 ,  刘玉 ,  罗毅辉 ,  陈小军 ,  赵扬 ,  王凌云

IPC: B65B1/22 ,  B65B43/46 ,  B65B43/54

Abstract: 一种微颗粒装填密度提升装置，涉及填料装填技术领域。设有激振器、放大器、固定夹具、升降台、固定杆、行程开关、机械手、丝杆、电动机和控制系统；装有固定夹具的激振器安装在升降台上，激振器与放大器相连，激振器的上方悬挂安装机械手，机械手与电动机相连；升降台由电动机、丝杠、行程开关和固定杆控制升降，固定杆上安装行程开关和电动机，丝杆一端与电动机相连，丝杆另一端与升降台连接，控制系统实现整个装置的自动控制。同时采用振动技术和旋转技术对填料盒进行处理，振动技术可以使较小颗粒填充于较大颗粒的间隙，从而减小孔隙率；旋转技术可以使微颗粒间呈规律性排列，从而减小颗粒间的空隙度，进一步提高装填率。