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公开(公告)号：CN109975820A
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201910137473.9
申请日：2019-02-25
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于Linnik型干涉显微镜的同步偏振相移检焦系统，包括白光光源、准直镜、第一1/4波片、激光光源，科勒照明系统、偏振棱镜、透反射镜、立方分光棱镜、两个显微物镜、参考平面、第二1/4波片、检偏镜、聚焦透镜、分光棱镜、x方向线阵CCD、y方向线阵CCD。白光光源产生白光，经准直，偏振等手段形成平面偏振光，经立方分光棱镜分光后，分别经两个显微物镜照射到参考平面和被测样品，返回光经分光棱镜分光后分别照射到x,y方向线阵CCD生成干涉条纹图像，根据图像离焦像差变化实现检焦。激光经柯勒照明系统后均匀出射，经偏振棱镜等反射，透过立方分光棱镜等直写样品。本发明具有数据处理快、实时定焦、获取被测样品位置及形貌信息的优点。
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公开(公告)号：CN109751971A
公开(公告)日：2019-05-14
申请号：CN201910063167.5
申请日：2019-01-23
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种高精度短相干光三维形貌快速测量算法，首先驱动压电陶瓷按照π/2的相位步进量在一定扫描长度内进行时序垂直扫描，对应每个步进量存储1幅干涉图；将干涉图计算处理融入到时序垂直扫描存储干涉图的过程中，实现快速测量；在时序垂直扫描并记录干涉图完成的同时，完成空域上各像素点移相扫描精相位以及多幅干涉图的对比度求解。对多幅干涉图的对比度进行处理，得到垂直扫描粗相位；再将移相扫描精相位与垂直扫描粗相位融合得到三维形貌测量结果；最后，采用二维离散差分算法判断及消除待测样品中在阶跃形貌的边缘处产生的蝙蝠翼误差，得到高精度三维形貌测量结果。本发明算法简单，速度快，精度及可信度高，抗环境噪声能力强。
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公开(公告)号：CN108957718A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201710387651.4
申请日：2017-05-27
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种宽光谱平场复消色差显微物镜。该显微物镜属于无限远共轭物镜，包括顺次设置的第一部分、第二部分、第三部分，其中：第一部分包括顺次设置的盖玻片、第一弯月透镜和第二弯月透镜，第一部分提供光焦度，并为之后部分减小数值孔径；第二部分包括顺次设置的第一双胶合透镜、第二双胶合透镜、第三双胶合透镜和三胶合透镜，第二部分用于校正色差；第三部分包括第四双胶合透镜，用于辅助补足光焦度，并校正场曲。本发明较相同倍率物镜数值孔径大，增大了荧光显微成像的亮度，并且光谱范围宽，覆盖了大部分可见光以及部分近红外光，最终实现了复消色差。
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公开(公告)号：CN108775861A
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201810745423.4
申请日：2018-07-09
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明公开了一种基于等效波长π/(2k)相移的双波长时域相位解调方法，在双波长同时移相干涉检测中，实现了双波长莫尔条纹中等效波长相位的提取。通过以等效波长的π/(2k)为移相步进量进行移相，对莫尔条纹干涉光强信息加乘处理，结合时域移相干涉处理方法和频谱选通技术，获取了等效波长π/(2k)移相间隔干涉图。对其干涉图序列间隔k帧抽取π/2移相间隔的干涉图序列，得到等效波长π/2移相间隔干涉图。利用移相算法处理，最终实现了零载频引入条件下莫尔条纹种等效波长相位信息的提取，解决了传统双波长同时移相干涉中莫尔条纹处理方法对空域载频的依赖问题。
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公开(公告)号：CN108204949A
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：CN201711454458.4
申请日：2017-12-28
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于反射式交叠衍射成像的相位恢复算法，基于搭建反射式交叠衍射成像装置，在反射位置放置待测物体，使待测物体相对照明光逐行逐列地进行移动，在CCD靶面采集样品的衍射图样，取下待测物体，在反射位置放置反射镜，在CCD靶面采集照明光经过反射后的衍射图样，利用两次PIE算法，最终获得待测样品的相位信息。本发明具有无透镜成像，视场宽，收敛快，可检测反射式样品的优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106323981B
公开(公告)日：2017-11-14
申请号：CN201510348552.6
申请日：2015-06-23
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明公开了一种基于偏轴型位相波带片干涉显微检测装置，包括13.5nm极紫外光源、聚焦波带片、五维精密微调整台、偏轴型波带片、光纤点衍射装置和极紫外亮暗场CCD。偏轴型波带片采用镂空位相型结构，对+1级衍射光实现调制，当光入射到样品表面，散射与反射同时发生，偏轴型波带片对反射光和散射光作用，反射光调制成轴向聚焦，散射光由偏轴型波带片反射到暗场CCD；光纤点衍射装置是为测试光提供参考光，并且参考光与测试光实现干涉，干涉图进入亮场CCD，通过计算机解读干涉图还原被测样品轮廓信息。本发明结构简单，抗振性好，精度高，系统成本低，并能同时对亮暗场分析，对位相缺陷及时定位和分析，并获取缺陷轮廓信息。
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公开(公告)号：CN106482839A
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201510522812.7
申请日：2015-08-24
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01J9/02
Abstract: 本发明公开了一种斐索式双波长干涉测试装置及其合成波长相位提取方法。两种波长同时工作时通过采用二向色镜实现了单波长移相干涉图的采集，同时仅需针对部分光路进行消色差设计实现两种波长下的工作。其次，针对传统双波长移相干涉测试装置采用PZT移相而引起的不同波长下移相误差的问题，采用合成波长结合单波长相位处理的方式，抑制了不同波长下移相误差对合成波长相位的影响，避免两种波长下移相步进量进行标定。该方法同样对不同波长下的振动、多光束干涉等误差有效。由于仅需控制单个波长下的测试精度，因此该方法对合成波长相位数据的提取过程快速简单。
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公开(公告)号：CN106482664A
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201510523660.2
申请日：2015-08-24
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明公开了一种基于圆载频莫尔条纹理论的合成波长相位提取方法，基于莫尔条纹理论利用双波长干涉测试装置检测非球面时，可以得到两种波长干涉条纹叠加后的圆载频莫尔条纹图，提出了一种从圆载频莫尔条纹图直接提取合成波长相位的方法。通过以合成波长的π/2为移相步进量进行移相，对圆载频莫尔条纹移相干涉图去除直流分量后平方，并采用二次极坐标变换，得到线载频莫尔条纹图，结合载频交叠重构理论，在频谱域实现对低频的合成波长分量的提取，最终提取出合成波长相位，解决了单波长检测时条纹过密无法恢复相位的问题。
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公开(公告)号：CN106405700A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201510487379.8
申请日：2015-08-10
Applicant: 南京理工大学
IPC: G02B5/18
Abstract: 本发明公开了一种多区域结构位相型波带片，包括透光衬底和镀在所述透光衬底上的透光薄膜，在所述透光薄膜上刻蚀N个同心圆环，N≥3，所述相邻同心圆环的环带相位相差为π，沿径向方向将位相型波带片分成M个区域，2≤M≤10，每个区域的环带数N和环带位置g(n)满足以下关系：所述环带位置g(n)决定环带半径 其中第一个环带的半径λ为工作波长，f为工作焦距；假设第i个区域的环带位置gi(n)为与环带序列n有关的线性变化，即gi(n)＝ain+bi，其中ai和bi表示位置系数，ai和bi均是整数。本发明提供的多区域结构位相型波带片在同环数和同焦距情况下，相比于传统波带片具有更大的数值孔径和更小的焦斑尺寸，带宽变宽更易于加工。
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公开(公告)号：CN106323981A
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201510348552.6
申请日：2015-06-23
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明公开了一种基于偏轴型位相波带片干涉显微检测装置，包括13.5nm极紫外光源、聚焦波带片、五维精密微调整台、偏轴型波带片、光纤点衍射装置和极紫外亮暗场CCD。偏轴型波带片采用镂空位相型结构，对+1级衍射光实现调制，当光入射到样品表面，散射与反射同时发生，偏轴型波带片对反射光和散射光作用，反射光调制成轴向聚焦，散射光由偏轴型波带片反射到暗场CCD；光纤点衍射装置是为测试光提供参考光，并且参考光与测试光实现干涉，干涉图进入亮场CCD，通过计算机解读干涉图还原被测样品轮廓信息。本发明结构简单，抗振性好，精度高，系统成本低，并能同时对亮暗场分析，对位相缺陷及时定位和分析，并获取缺陷轮廓信息。
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