一种石墨烯透明电极薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN106756835A

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:CN201611253178.2

    申请日:2016-12-30

    CPC classification number: C23C14/34 C23C14/0605

    Abstract: 本发明涉及一种石墨烯透明电极薄膜的制备方法,以氧化还原石墨片为石墨烯溅射的靶材元素,借助双阴极辉光等离子放电作用在不同基体表面溅射沉积石墨烯薄膜的方法。本发明中石墨烯在溅射成膜过程中由于两个阴极的等离子同时产生作用,增强了体系的辉光放电成膜效率。因此,所得石墨烯薄膜质量较好,性能较为稳定。本发明对基体的材料及形状具有较大的选择性,可以在不同形状及不同材料的基体上制备石墨烯薄膜,所制备的石墨烯薄膜较为均匀,而且可以大面积量制备。

    一种钛氧化合物柔性光电腐蚀薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN109267010B

    公开(公告)日:2021-03-23

    申请号:CN201811445726.0

    申请日:2018-11-29

    Abstract: 本发明涉及一种钛氧化合物柔性光电腐蚀薄膜及其制备方法,借助双阴极辉光等离子放电作用在不锈钢箔基体表面溅射沉积钛氧化合物薄膜,将基体用丙酮进行超声清洗;之后将预处理好的基体放入等离子体炉内的试样台上完成样品表面钛氧化合物薄膜的制备。本发明以高纯金属元素为靶材,为了提高元素反应的供应量和供应效率,在基片和靶材周围形成双层辉光等离子放电,成膜仅需要10‑30min。本发明得到的薄膜与基体之间发生了互渗,因此基体与薄膜之间的结合强度高。本发明得到的薄膜表面质量高,且制备方法成本低,无污染,工艺流程较为简单,对基体本身的性能几乎无影响,不损伤基体。

    一种石墨烯/氧化物复合光学薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN106939405B

    公开(公告)日:2019-04-23

    申请号:CN201710176713.7

    申请日:2017-03-23

    Abstract: 本发明公开了一种石墨烯/氧化物复合光学薄膜的制备方法。是一种在石英片上利用双层辉光等离子物理溅射沉积技术通过两步法实现石墨烯/氧化物复合光学薄膜的制备。具体是将石英片丙酮清洗,高压氮气烘干处理;高纯低熔点和高熔点金属靶作为氧化物的金属元素溅射源,用丙酮进行清洗,同时通入一定比例的氩气和氧气作为金属氧化物的合成气氛条件;将预处理好的基片和靶材样品放入双层辉光等离子溅射腔室内,采用两步法工艺实现氧化物薄膜的制备。

    一种钛合金表面改性方法
    18.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113293350B

    公开(公告)日:2023-05-23

    申请号:CN202110582236.0

    申请日:2021-05-26

    Abstract: 本发明公开了一种钛合金表面改性方法,将预处理好的钛合金制件悬挂在等离子冶金炉的石墨源极靶材中,在石墨源极靶材上插入所渗金属/合金棒(铬、钼、钨等单元和多元合金),形成复合靶材结构;启动辉光电极处理技术,调节复合靶材结构电压在550‑950V,氩氮比例3∶3‑3∶0,使石墨源极靶材和钛合金制件升温至500~1000℃,对钛合金制件表面进行轰击,处理结束后降温,即得到表面改性的钛合金制件。本发明以高熔点金属元素与碳/氮元素为溅射靶材源,对钛合金制件进行表面冶金处理,形成高硬耐磨的冶金陶瓷层,金属表面陶瓷层成分与硬度呈梯度分布,改性方法简单,改性层和基层结合紧密,结合强度高。

    一种二氧化钒薄膜及其制备方法及应用

    公开(公告)号:CN113564522B

    公开(公告)日:2023-04-28

    申请号:CN202110891752.1

    申请日:2021-08-04

    Abstract: 本发明涉及二氧化钒材料技术领域,尤其是一种二氧化钒薄膜及其制备方法及应用,现提出如下方案,其包括在基体上存在空位缺陷的表面侧制备覆盖在所述表面侧的二氧化钒薄膜。本发明通过在非晶石英基体上形成空位缺陷,利用磁控溅射技术在基体上具有空位缺陷的表面侧制备覆盖在其上的二氧化钒薄膜,进行二氧化钒的生长,这种方法制备的二氧化钒晶体结构会受到缺陷应力的挤压,导致键长、键角发生变化,并通过退火工艺优化二氧化钒薄膜的晶体结构,二氧化钒晶体结构的优化导致二氧化钒相变温度的降低,同时太阳光应用效率得到大幅提升,这种制备方法简单易操作,易于实现规模化制备。

    利用酸溶液对金属材料表面氧化处理的方法

    公开(公告)号:CN111876764B

    公开(公告)日:2022-12-13

    申请号:CN202010766597.6

    申请日:2020-08-03

    Abstract: 为了提高不锈钢表面润滑,同时提高其表面薄膜的结合能力,本发明提出一种利用酸溶液对金属材料表面氧化处理的方法,对不锈钢网表面进行羟基修饰,以改善其表面性能。本发明采用等离子清洗不锈钢表面对其进行清洁与活化,使表面一些凸起的杂质被刻蚀掉,降低整个表面的粗糙度,提升基体的耐磨性能;氧离子刻蚀后,还使得网格结构在酸洗前期表面易获得一种氧化层,有助于酸溶液处理之前有效防护基体金属的电化学腐蚀并改变其表面粗糙度。

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