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公开(公告)号：CN111863459B
公开(公告)日：2021-10-08
申请号：CN202010601614.0
申请日：2020-06-28
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于滤波电容、微纳制造技术与电子电路的交叉技术领域，公开了一种贴片式微型滤波电容器的制备方法与应用，采用图形化的3D硅基框架(100)，进行集流体(101)和活性材料(102)的包覆，制得电容器的电极，将其固定于封装外壳下部(103a)，涂覆电解质(104)；最后封装外壳上部(103b)并预留导电连接点，将导电引脚(105)内嵌入壳中，实现电容器的贴片设计导电引脚。本发明对贴片式微型滤波电容器整体流程工艺进行设计，通过半导体工艺实现其贴片电极的定制化制作；采用了简易的封装结构，便于密封；制作尺寸可调的内嵌式导电引脚对电路板进行点焊式电连接，保证了连接可靠性和微缩化集成。最终，将其实际应用于贴片的电路板，实现了滤波功能。
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公开(公告)号：CN113267831A
公开(公告)日：2021-08-17
申请号：CN202110665095.9
申请日：2021-06-16
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种用于MEMS重力仪测试的恒温装置，包括由内到外依次嵌套的三级恒温单元，各级恒温单元的温控区域由外到内依次减小，且最外层采用真空腔作为被控腔体，减小了热对流和热传导对MEMS重力仪的影响，并抑制了空气浮力，能够大大提高温度的控制精度；另外，由于各级温控单元的温控点由内到外依次递减，形成了一条由内到外的散热通道，使得本发明在无需外加其他散热装置的前提下能够通过主动温控和被动温控相结合的方式控制各级恒温单元的温度，以维持装置内温度的动态平衡，在MEMS重力仪测试过程中避免引入振动噪声，抗外界干扰能力较强，能够以较小的体积、较低的成本以及较高的抗外界干扰能力为MEMS重力仪提供高精度的恒温环境。
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公开(公告)号：CN112573476B
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202011463363.0
申请日：2020-12-14
Applicant: 华中科技大学
IPC: B81B7/02
Abstract: 本发明属于微机电系统技术领域，公开了一种灵敏度及带宽可调的MEMS传感器，包括敏感模块和检测模块，敏感模块包括负刚度结构和稳定结构；负刚度结构用于减小MEMS传感器的有效刚度并提高器件检测的灵敏度；稳定结构用于稳定负刚度结构并实现MEMS传感器总有效刚度的可调控。稳定结构包括第一稳定电极和第二稳定电极，通过在第一稳定电极和第二稳定电极上施加交流电压来引入高频振动实现负刚度结构的稳定。通过改变交流电压的幅值和频率改变MEMS传感器的总的有效刚度，从而改变传感器的灵敏度。通过调节交流电压的幅值和频率同时也可以调节MEMS传感器的带宽。
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公开(公告)号：CN113917838A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111151260.5
申请日：2021-09-29
Applicant: 华中科技大学
IPC: G05B11/42
Abstract: 本发明公开了一种基于边带激励的谐振式传感器，包括：MEMS谐振器和反馈控制系统，谐振器包括至少两个电极，反馈控制系统用于实现反馈闭环控制并在传感过程中自适应调整边带激励信号的频率，从而维持谐振器的自激振荡。反馈控制系统包括：第一反馈控制电路和第二反馈控制电路，第一反馈控制电路用于通过检测相位差变化来实时跟踪谐振器一阶模态的频率变化，从而解调出谐振器一阶模态的振荡幅值从而产生与振荡基频频率相等的解调参考信号；第二反馈控制电路用于通过检测振荡幅值的变化来输出边带激励信号，同时提取边带激励信号的频率信息作为传感器输出。本发明可以解决现有技术中谐振式加速度传感器灵敏度低和分辨率较低的问题。
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公开(公告)号：CN109905086B
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN201910144812.6
申请日：2019-02-26
Applicant: 华中科技大学
IPC: H03B5/30
Abstract: 本发明公开了一种基于多谐振器耦合结构的MEMS振荡器，MEMS振荡器包括：振荡电路，检测电路以及MEMS谐振器件，MEMS谐振器件包括：N个相互耦合的MEMS谐振器，分别记为第一谐振器、第二谐振器、……第N谐振器，第一谐振器用于确定振荡器的工作频率，其余的谐振器通过耦合实现对第一谐振器的幅度进行调控；N为大于等于2的正整数；振荡电路用于通过闭环控制实现将振荡器的输出频率始终锁定并控制在第一谐振器的谐振频率；检测电路用于检测振荡器输出信号的幅度，并进行反馈控制以防止振荡器的输出幅度过高导致振荡器系统工作异常。本发明可以解决现有技术中由于需要引入可变增益放大器，从而导致的噪声和功耗较大的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111830281A
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN202010697612.6
申请日：2020-07-20
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种面向谐振式MEMS传感器的拱形谐振器及MEMS加速度计，拱形谐振器包括：锚定系统，以及与锚定系统连接的拱形谐振梁；通过锚定系统给拱形谐振梁施加用于调节拱形高度的热电流，在热电流作用下，通过拱形谐振梁产生的热应变来调控所述拱形谐振梁的刚度，使得拱形谐振梁的刚度在同相模态频率和反向模态频率之间实现交叉，进而调节模态耦合或工作区间。本发明改变了谐振器的拱形梁高度，而拱形高度的变化增大了模态之间的频率差，进而提高了灵敏度；同时，本发明通过热电流对拱形结构产生了模态耦合，拱形高度变化使得谐振器的拱形梁的模态中一个模态对应力应变敏感，另一个模态不敏感的特点，可实现差分检测。
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公开(公告)号：CN116500516A
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202210061424.3
申请日：2022-01-19
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01R33/02
Abstract: 本发明属于磁传感器领域，并具体公开了一种MEMS谐振式多功能磁力仪及磁场强度测量方法；该种MEMS谐振式多功能磁力仪包括双端固定音叉谐振器和洛伦兹力发生器；洛伦兹力发生器设置有两个，分别位于双端固定音叉谐振器两端的外侧，并分别与双端固定音叉谐振器的两端固定相连；洛伦兹力发生器两端存在电压差时，其内部产生移动电荷，该电荷在磁场中受洛伦兹力，洛伦兹力发生器将该洛伦兹力施加于双端固定音叉谐振器端部，使双端固定音叉谐振器受轴向力，以此调制双端固定音叉谐振器的谐振频率，实现对外部磁场的感测。该种MEMS谐振式多功能磁力仪能够适应复杂的磁场环境，能够实现片上集成，且灵敏度和分辨率高，并兼具力学传感器等功能。
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公开(公告)号：CN111863459A
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN202010601614.0
申请日：2020-06-28
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于滤波电容、微纳制造技术与电子电路的交叉技术领域，公开了一种贴片式微型滤波电容器的制备方法与应用，采用图形化的3D硅基框架(100)，进行集流体(101)和活性材料(102)的包覆，制得电容器的电极，将其固定于封装外壳下部(103a)，涂覆电解质(104)；最后封装外壳上部(103b)并预留导电连接点，将导电引脚(105)内嵌入壳中，实现电容器的贴片设计导电引脚。本发明对贴片式微型滤波电容器整体流程工艺进行设计，通过半导体工艺实现其贴片电极的定制化制作；采用了简易的封装结构，便于密封；制作尺寸可调的内嵌式导电引脚对电路板进行点焊式电连接，保证了连接可靠性和微缩化集成。最终，将其实际应用于贴片的电路板，实现了滤波功能。
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公开(公告)号：CN101477887B
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN200810197118.2
申请日：2008-09-26
Abstract: 空心耦合电抗器，属于电抗器装置，解决现有空心耦合电抗器耦合系数小的问题。本发明一种形式由相互独立的三相电抗器构成，每一相电抗器包括耦合线圈、接线板、支柱绝缘子，耦合线圈由内线圈和外线圈组成，内、外线圈的导线绕向相反，绕成空心同轴圆柱形，外线圈绕于内线圈之外，内、外线圈的匝间和层间均绝缘。本发明第二种形式由相互独立的三相电抗器构成，每一相电抗器包括耦合线圈、接线板、支柱绝缘子，每一相电抗器中，内径不同的2个或2个以上所述耦合线圈，由内向外依次嵌套构成嵌套线圈，各层耦合线圈之间均绝缘并具有散热气隙。本发明噪音低，线性度好，机械强度高，有较大的稳定裕度，耦合电抗器各臂之间的耦合度高，漏电抗小。
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公开(公告)号：CN101477887A
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200810197118.2
申请日：2008-09-26
Abstract: 空心耦合电抗器，属于电抗器装置，解决现有空心耦合电抗器耦合系数小的问题。本发明一种形式由相互独立的三相电抗器构成，每一相电抗器包括耦合线圈、接线板、支柱绝缘子，耦合线圈由内线圈和外线圈组成，内、外线圈的导线绕向相反，绕成空心同轴圆柱形，外线圈绕于内线圈之外，内、外线圈的匝间和层间均绝缘。本发明第二种形式由相互独立的三相电抗器构成，每一相电抗器包括耦合线圈、接线板、支柱绝缘子，每一相电抗器中，内径不同的2个或2个以上所述耦合线圈，由内向外依次嵌套构成嵌套线圈，各层耦合线圈之间均绝缘并具有散热气隙。本发明噪音低，线性度好，机械强度高，有较大的稳定裕度，耦合电抗器各臂之间的耦合度高，漏电抗小。
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