公开(公告)号：CN107340063A

公开(公告)日：2017-11-10

申请号：CN201710488564.8

申请日：2017-06-23

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 易飞 ,  李君宇 ,  谈小超 ,  杨奥 ,  郭颂 ,  周仑 ,  蒋顺 ,  侯铭铭

IPC: G01J5/20 ,  H01L31/09 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明公开了一种热探测器及其制备方法，该热探测器包括从上之下依次排列的微结构阵列、介质层、金属层、钝化层以及热敏电阻层，微结构阵列结构对入射光进行筛选并吸收具有窄带光谱的红外光，具有窄带光谱的红外光在谐振腔内谐振，经由金属层将携带有窄带光谱的红外光转化为携带有窄带光谱的红外光的强度的热信号，热敏电阻层将携带有窄带光谱的红外光的强度的热信号转化为携带有窄带光谱的红外光的强度的电阻信号，通过解调携带窄带光谱的红外光的强度信息的阻值信息获得窄带光谱的红外光强度信息。