公开(公告)号：CN111189493B

公开(公告)日：2020-12-08

申请号：CN201911299342.7

申请日：2019-12-17

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 黄永安 ,  朱臣 ,  熊文楠 ,  郭栋梁 ,  叶冬

IPC: G01D21/02

Abstract: 本发明属于柔性电子皮肤领域，并公开了一种多物理场测量的柔性智能蒙皮、变胞结构及其应用。该柔性智能蒙皮自上而下依次包括第一电极、介电层、第二电极、压电层和第三电极，其中，第一电极、介电层和第二电极形成电容传感器，第二电极、压电层和第三电极形成压电传感器；第二电极包括两根电阻，分别为第一电阻和第二电阻，第一电阻形成电阻传感器，第一电阻和第二电阻共同形成电容传感器；第三电极包括电阻两根热电系数不同的电阻，分别为第三电阻和第四电阻，第三电阻形成电阻传感器，第三电阻和第四电阻共同形成热电偶传感器。通过本发明，实现压力，温度，应变，振动，湿度，流速和健康状态等物理量的测量，功能高度集成，结构的简化。

公开(公告)号：CN109387348A

公开(公告)日：2019-02-26

申请号：CN201811400054.1

申请日：2018-11-22

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 黄永安 ,  熊文楠

IPC: G01M9/06 ,  G01L9/00 ,  G01L9/12

Abstract: 本发明属于压力传感器设计与制造领域，并具体公开了一种柔性多量程电容式压力传感器及其制备方法和应用，该传感器包括从下至上依次设置的柔性基底、多级支撑岛和感压薄膜，多级支撑岛由位于感压薄膜中间的中间圆凸台以及设置在感压薄膜上并与中间圆凸台同心设置的n级环形凸台组成，中间圆凸台与感压薄膜之间设置有顶电极，n级环形凸台由内至外高度依次增大，且最外层环形凸台与柔性基底贴合，柔性基底中部设置有位于中间圆凸台正下方的底电极。本发明传感器在保持高灵敏度的同时拥有宽泛的测压范围，解决了压力传感器量程和灵敏度的矛盾，可满足不同风洞试验对测压范围和灵敏度的需求。