-
公开(公告)号：CN119187574A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202411304793.6
申请日：2024-09-19
Applicant: 北方工业大学
Abstract: 本发明公开了一种金刚石与半导体键合的复合材料及其制备方法，所述制备方法包括：获得含支撑结构的半导体层和金刚石层，并将其作为上下表面与作为中间层的钛金属层进行热压键合，其后去除挤出的钛金属和支撑结构，并进行表面清理，得到所述复合材料，其中，所述钛金属层的获得包括：将钛粉依次进行热等静压烧结、冷轧成型、两次退火及氧化层去除。本发明可得到高键合强度、低热边界阻的金刚石与半导体键合的复合材料。
-
公开(公告)号：CN118028771A
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202410307942.8
申请日：2024-03-18
Applicant: 北方工业大学
IPC: C23C16/27 , C23C16/515 , C23C16/54
Abstract: 本发明提供一种调控等离子体制备高强韧性孪晶金刚石环的方法，涉及化学气相沉积技术领域。所述方法包括以下步骤：步骤S1、制备圆环状衬底；步骤S2、采用旋转脉冲法进行初次沉积，得到初加工孪晶金刚石环；步骤S3、采用旋转脉冲法进行二次沉积，得到再加工孪晶金刚石环；步骤S4、孪晶金刚石环表面处理。本发明通过旋转脉冲法调控等离子体源的相对旋转速度的大小，产生脉冲式能量波动。所述方法具有设备操作简单，制备难度低等优点，所得孪晶金刚石环具有高强硬度及韧性，可用于纯金刚石砂轮等生产实际应用。
-
公开(公告)号：CN116254523B
公开(公告)日：2024-02-20
申请号：CN202310132939.2
申请日：2023-02-17
Applicant: 北方工业大学
IPC: C23C16/511 , C23C16/27 , C23C16/26
Abstract: 本发明提供一种高调谐灵敏度的915MHz微波等离子体化学气相沉积装置，包括：腔室上壁和腔室下壁，腔室下壁安装反应腔体；腔室上壁和腔室下壁之间设置金属腔壁，金属腔壁环绕布置于反应腔体外围，构成谐振腔；金属腔壁被配置为：环绕反应腔体收缩或扩张。本发明设置环绕反应腔体收缩或扩张的金属腔壁，通过调整金属腔壁围成的圆柱腔的直径变化，调整谐振腔的内部空间，使反应腔体等离子体形状和电子密度快速实现最优状态，反射降到最低，提高沉积效率。
-
公开(公告)号：CN116926542A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202310855656.0
申请日：2023-07-12
Applicant: 北方工业大学
Abstract: 本发明提供一种低摩擦系数的铜‑镍‑金刚石复合材料及其制备方法，包括：通过对纯铜表面进行合金化，形成具有表面孔洞组织的铜‑镍合金层；选取并清洗金刚石粉末，对清洗后的金刚石粉末进行氢微波等离子体氢化或高温酸洗氧化，得到表面富集氢终端或氧终端的氢化/氧化金刚石粉末，达到分散金刚石粉末的效果，再将氢化/氧化金刚石粉末均匀散入铜‑镍合金层表面孔洞；在内部含有氢化/氧化金刚石粉末的铜‑镍合金层表面镀金属铜膜层，即得低摩擦系数的铜‑镍‑金刚石复合材料。本发明方法简单，制备的复合材料摩擦系数远低于纯铜。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN218710838U
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202223032981.7
申请日：2022-11-15
Applicant: 北方工业大学
Abstract: 本实用新型公开了一种用于长时间沉积金刚石的真空装置测温窗口，用于长时间沉积金刚石的真空装置测温窗口，包括真空石英窗口，所述的真空石英窗口的内侧设有一片可旋转的石英玻璃，所述的可旋转的石英玻璃侧边连接有旋钮，所述的旋钮通过真空油封延伸到真空石英窗口外，旋钮带动可旋转的石英玻璃围绕自身轴心线转动。在开始进行长时间沉积金刚石时，将可旋转的石英玻璃通过旋钮调整至与真空石英窗口平行的位置。在长时间沉积过程中，当表面吸附和沉积在石英玻璃上的物质严重影响温度观测的时候，将石英玻璃调整至于真空石英窗口，可以继续使用表面干净的真空石英窗口继续监测所沉积金刚石的温度，达到长时间准确测温的目的。
-
公开(公告)号：CN222226553U
公开(公告)日：2024-12-24
申请号：CN202420906035.0
申请日：2024-04-28
Applicant: 北方工业大学
IPC: C23C16/511 , C23C16/27 , C30B25/00 , C30B28/14 , C30B29/04
Abstract: 本实用新型提供一种精准调谐的MPCVD装置，包括微波传输装置，微波传输装置的底部设置有腔室，腔室的底部开设有排气口，腔室的内部设置有石英罩；微波传输装置中贯穿设置有同轴天线，同轴天线的底部位于腔室中，同轴天线的顶部与顶部传动机构连接；腔室的底部贯穿设置有多个底部天线，底部天线的顶部位于腔室的内壁与石英罩的外壁之间，底部天线的底部与底部传动机构连接。上述方案中，所述MPCVD装置结构简单、设计科学合理、使用方便，通过设置顶部传动机构和底部传动机构，可使同轴天线和底部天线进行精准进给，实现了精准调谐，提高了设备的精密性，因此，能够提高金刚石沉积效率和表面质量。
-
公开(公告)号：CN221840242U
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202420410792.9
申请日：2024-03-04
Applicant: 北方工业大学
Abstract: 本实用新型提供一种集成热管的金刚石不锈钢散热器，涉及热管理材料制备领域，包括基片层和金刚石层，在所述基片层上且沿着所述基片层的宽度方向布设至少一个凹槽；所述基片层的上表面和所述凹槽的内表面分别布设改性层；所述改性层的上表面沉积有金刚石层，所述金刚石层与每个所述凹槽的改性层之间设有冷却液通道；相邻两个冷却液通道之间连接有热管；所述冷却液通道连通微型水泵，所述微型水泵用于控制冷却液通道内的冷却液流速；本实用新型制作工艺简单、散热效率高、成本低。
-
公开(公告)号：CN221501302U
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202323549925.5
申请日：2023-12-26
Applicant: 北方工业大学
Abstract: 本实用新型涉及微波等离子体化学气相沉积技术领域，其公开了一种边缘强化的沉积机构，位于底部的沉积台(4)上方设有衬底(2)，所述衬底(2)上设有圆环形模具(1)，所述圆环形模具(1)表面、所述衬底(2)顶面形成金刚石形核生长面(3)；所述沉积台(4)内底面向上嵌设有若干条同轴心的环形冷却水通道，用于为沉积过程冷却降温。本实用新型包括可调节降温的沉积台，可方便调谐出环形电场，通过强化该电场，离化气体，形成环形等离子体，该环形区域是等离子体集中区域，具有更高的等离子体电子密度、功率密度。因此，在调谐出环形电场后，衬底边缘的金刚石沉积速率高。
-
公开(公告)号：CN220783559U
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202322637485.2
申请日：2023-09-27
Applicant: 北方工业大学
Abstract: 本实用新型在金刚石磨具中，特别涉及一种圆弧形嵌入式自紧固金刚石磨具，包括：基体、金刚石磨块和水冷通道，其中，基体的截面为凹形设置，基体的内壁呈弧形设置，基体的中空部分呈半圆设置，基体的内壁均匀开设多个凸形盲孔，多个凸形盲孔的中心点的连线呈弧形半圆设置；金刚石磨块的数量与凸形盲孔的数量适配，金刚石磨块包括凸块和金刚石块，凸块安装在对应的凸形盲孔内，每个凸块上各安装一个金刚石块，所有金刚石块的表面弧形连线围成的半圆弧形面与基体的内壁的半圆弧形面呈同心设置；基体的内部设置水冷通道，水冷通道用于冷却每个金刚石磨块，本磨具提高了环形工件的加工效率。
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
19
records
(took 0.016 seconds)
