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公开(公告)号:CN116793492A
公开(公告)日:2023-09-22
申请号:CN202310614808.8
申请日:2023-05-29
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开的具有二维色散的太阳极紫外三级次无狭缝成像光谱仪,属于太阳极紫外观测领域。本发明包括第一面孔径光阑、第二面孔径光阑、第三面孔径光阑、第四面主反射镜、第五面主反射镜、第六面主反射镜、第七件视场光阑件、第八面光栅次镜、第九面反射次镜、第十面光栅次镜、第十一片探测器、第十二片探测器、第十三片探测器。本发明采用三个衍射级次的无狭缝光谱成像结构,通过光谱数据反演算法能够从三个级次图像中提取到高分辨率光谱信息,实现大离轴视场下的光栅像差校正,各级次子系统均获得良好的空间和光谱成像性能,实现极紫外窄波段高空间分辨和高光谱分辨同时成像观测。本发明具有系统结构紧凑、适合卫星遥感平台的应用的优点。
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公开(公告)号:CN102590989B
公开(公告)日:2013-11-20
申请号:CN201210099577.3
申请日:2012-04-06
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种基于系统Zernike波像差分析与光刻过程对于Zernike系数敏感性的光刻物镜非球面位置选择方法,属于非球面光学设计技术领域。本方法首先确定初始系统结构中各元件位置与视场和孔径的关系,分析各类像差对于孔径与视场的依赖关系,得到各元件位置对于不同像差的校正敏感度;然后根据波像差分析结果确定主导像差;再根据光刻仿真结果确定Zernike波像差各分项像差敏感度;得到添加非球面位置范围,并进行试探性优化;最后选取使像质改善较大的非球面位置作为最终位置并进行深度优化,得到像质优良的最终非球面位置。根据所述方法得到的非球面投影光刻物镜的数值孔径为0.75,工作波长为193纳米,波像差小于0.5纳米。
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公开(公告)号:CN102590989A
公开(公告)日:2012-07-18
申请号:CN201210099577.3
申请日:2012-04-06
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种基于系统Zernike波像差分析与光刻过程对于Zernike系数敏感性的光刻物镜非球面位置选择方法,属于非球面光学设计技术领域。本方法首先确定初始系统结构中各元件位置与视场和孔径的关系,分析各类像差对于孔径与视场的依赖关系,得到各元件位置对于不同像差的校正敏感度;然后根据波像差分析结果确定主导像差;再根据光刻仿真结果确定Zernike波像差各分项像差敏感度;得到添加非球面位置范围,并进行试探性优化;最后选取使像质改善较大的非球面位置作为最终位置并进行深度优化,得到像质优良的最终非球面位置。根据所述方法得到的非球面投影光刻物镜的数值孔径为0.75,工作波长为193纳米,波像差小于0.5纳米。
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公开(公告)号:CN116819558A
公开(公告)日:2023-09-29
申请号:CN202310614480.X
申请日:2023-05-29
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01S17/87 , G02B13/18 , G01S17/06 , G01S7/481 , G02B13/02 , G02B13/06 , G02B13/00 , G02B23/04 , G02B27/00 , G02B27/12 , G02B27/09
Abstract: 本发明公开的一种具有主被动复合的空间碎片探测光学系统,属于航天空间碎片探测领域。本发明包括前端的第一片透镜、第二片透镜、第三片透镜组成的前固定组,通过第四片平行玻璃镜分成两条检测通道,第五片透镜、第六片透镜、第七片透镜、第八片透镜、第九片透镜组成可见光通道透镜组;第十片透镜、第十一片透镜;第十二片透镜、第十三片透镜组成的激光组;在激光雷达接收系统的像空间加入第十四片棱镜和激光雷达发射系统构成激光雷达的发射通道透镜组。本发明采用可见光通道进行对广域空间碎片的捕捉,以激光通道的小视场对空间碎片进行精准定位,能够实现在太空环境的情况下利用激光通道与可见光通道两个通道搜索识别空间碎片。
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公开(公告)号:CN116793491A
公开(公告)日:2023-09-22
申请号:CN202310614704.7
申请日:2023-05-29
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开的单光栅三级次同时衍射的太阳极紫外快照成像光谱仪,属于太阳极紫外观测领域。本发明包括第一面孔径光阑、第二片滤光片、第三面主反射镜、第四片视场光阑件、第五面光栅次镜、第六片探测器、第七片探测器、第八片探测器。本发明采用同时工作在三个衍射级次(‑1级,0级,+1级)的无狭缝光谱成像结构,单次快照能够同时获得三幅极紫外窄波段(46.0nm~47.0nm)的太阳日面图像。不发生色散的0级次系统相当于一台极紫外成像仪,能够直接获得高分辨率空间信息,发生色散的‑1级次和+1级次图像携带空间和光谱的混叠信息,通过光谱数据反演算法能从三个级次图像中提取到高分辨率光谱信息,实现太阳极紫外快照成像。
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公开(公告)号:CN109556574A
公开(公告)日:2019-04-02
申请号:CN201811259461.5
申请日:2018-10-26
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明提供一种基于小凹系统的位姿检测系统,包括标志点装置、成像镜头、小凹系统、探测器和计算设备;标志点装置固定于待检测元件的目标位置处;成像镜头对包含标志点装置和待检测元件的场景成像;小凹系统通过改变小凹模块所处的通光孔径区域内的局部焦距从而对标志点装置进行局部放大成像;探测器采集小凹系统所成的图像信息;计算设备对探测器采集的图像进行解算,获得待检测元件的位姿信息,本发明能够解决位姿检测方案中成本高、调试难、系统复杂度高的问题,同时又实现高精度快速成像。
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公开(公告)号:CN118936631A
公开(公告)日:2024-11-12
申请号:CN202410278847.X
申请日:2024-03-12
Applicant: 北京理工大学 , 北京卫星环境工程研究所
Abstract: 本发明公开的一种太阳极紫外日冕双波段高分辨率成像光谱仪,属于太阳极紫外观测领域。本发明为观测太阳日冕活动的工作在17nm~21nm和28nm~32nm波段下的狭缝扫描式高分辨率成像光谱仪。本发明包括第一片孔径光阑、第二片滤光片、第三片主反射镜、第四片狭缝件、第五片光栅次镜、第六片探测器、第七片探测器。本发明采用的光栅基于非罗兰圆结构,采用前置离轴凹面反射镜和凹面反射光栅结合的狭缝扫描式光谱成像结构,凹面反射光栅同时实现聚焦、衍射分光和像差校正的功能,能够获得大离轴狭缝视场下的高空间、光谱分辨的太阳日冕活动图像。本发明具有大离轴狭缝视场、空间分辨率高、光谱分辨率高、像散小、体积小的优点。
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公开(公告)号:CN116880038A
公开(公告)日:2023-10-13
申请号:CN202310614662.7
申请日:2023-05-29
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开的基于有源像素传感器的大视场星敏感光学镜头,属于航天器姿态控制领域。本发明包括八面采用不同玻璃的球面透镜。其中所述的光学镜头前端的第一片透镜、第二片透镜为球面透镜,可见光光束经第一片透镜、第二片透镜四次折射实现对可见光光束的畸变与少量慧差的校正。可见光光束经第三片透镜、第四片透镜的两次折射实现对可见光光束的球差的校正,第三片透镜在校正球差的过程中引入了新的慧差,而在第四片透镜的配合下消除所述引入的新的慧差,并在第四片透镜处设置孔径光阑。可见光光束在经过第五片球面透镜、第六片球面透镜、第七片球面透镜、第八片球面透镜时,通过八次折射实现对可见光光束,像散,畸变,剩余球差的控制与校正。
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公开(公告)号:CN109556574B
公开(公告)日:2021-02-12
申请号:CN201811259461.5
申请日:2018-10-26
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明提供一种基于小凹系统的位姿检测系统,包括标志点装置、成像镜头、小凹系统、探测器和计算设备;标志点装置固定于待检测元件的目标位置处;成像镜头对包含标志点装置和待检测元件的场景成像;小凹系统通过改变小凹模块所处的通光孔径区域内的局部焦距从而对标志点装置进行局部放大成像;探测器采集小凹系统所成的图像信息;计算设备对探测器采集的图像进行解算,获得待检测元件的位姿信息,本发明能够解决位姿检测方案中成本高、调试难、系统复杂度高的问题,同时又实现高精度快速成像。
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公开(公告)号:CN102508353A
公开(公告)日:2012-06-20
申请号:CN201110352225.X
申请日:2011-11-09
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种高分辨率福布斯非球面光刻物镜,属于高分辨力投影光刻物镜技术领域;具体包括前透镜组、后透镜组,数值孔径为0.75,共使用29片透镜,其中有6个表面使用了福布斯非球面;透镜材料使用熔石英和氟化钙,其中氟化钙的作用为校正色差;前后透镜组通过透镜外框上的机械组件按一定间距固定连接在一起,两个透镜组同光轴。本发明提高了现有投影光刻物镜的分辨力,确保每个非球面与非球面系数的有效性,使得系统设计在减少非球面个数与有效数字个数的同时提高了像质,并大幅降低了公差灵敏度;以中心光线为参考时单色均方根波像差小于0.5nm,畸变小于0.5nm;可以应用于照明光源波长为193nm的深紫外投影光刻装置中。
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