基于手动绑线机的高密度封装芯片失效定位方法

    公开(公告)号:CN110299299A

    公开(公告)日:2019-10-01

    申请号:CN201910602633.2

    申请日:2019-07-05

    Abstract: 本发明公开了一种基于手动绑线机的高密度封装芯片失效定位方法,包括如下步骤:S1:提供COB转接板,并对转接板进行开窗预处理;S2:提供透明薄载玻片;S3:将芯片背面开封或者正面开封,露出硅基面;S4:将芯片的开封面朝向载波片,并进行粘接固定;S5:芯片粘接固定后将透明薄载玻片粘到转接板的开窗部位,使得硅基面朝向待观测面;S6:设置绑线机参数;S7:使用绑线机将芯片的待测针脚与转接板的指定管脚相连接;以及S8:使用EMMI定位芯片失效位置。本发明的高密度封装芯片失效定位方法克服了直接开封测试法中由许多类型封装无外延针脚无法测试问题,也可以规避芯片取die直测法无法背面定位的问题,同时具备价格低廉、使用范围广的优点。

    用于TSV封装芯片的内部信号量测的方法

    公开(公告)号:CN107564829A

    公开(公告)日:2018-01-09

    申请号:CN201710734193.7

    申请日:2017-08-24

    Abstract: 本发明公开了一种用于TSV封装芯片的内部信号量测的方法,该方法包括如下步骤:S1,将待测TSV封装芯片的背面进行研磨抛光,以露出TSV通孔和硅基板;S2,在距离TSV通孔的边缘的硅基板上沉积一个SiO2薄膜区域,以隔离硅基板;S3,清理TSV通孔的表面;S4,在TSV通孔下方的芯片和SiO2薄膜之间沉积金属Pt;S5,在SiO2薄膜上沉积测试板;S6,使用探针与测试板接触,从而将测试力施加在芯片上,以实现芯片内部信号的量测。本发明的方法简单易操作,便于探针的连接测试,同时避免了在探针测试过程中由于探针接触到硅基板而导致信号无法施加在TSV通孔上的问题,从而显著提高了测试的效率和准确性。

    宽频电流传感器转移阻抗特性测量校准装置

    公开(公告)号:CN120009617A

    公开(公告)日:2025-05-16

    申请号:CN202510218570.6

    申请日:2025-02-26

    Abstract: 本发明公开了一种宽频电流传感器转移阻抗特性测量校准装置,可用于变电站控保设备线缆耦合骚扰电流测量用的宽频传感器校准,包括矩形金属板构成的凹型金属腔体、焊接在凹型金属腔体两侧金属板中心的SMA端口、标准的盘式圆环薄片低阻值电阻,可拆卸的圆形金属连接杆和高频连接同轴电缆。两个SMA端口焊接在凹型金属腔体两侧金属板中心,其中一个SMA端口的中心导体和外导体间焊接标准的2欧姆盘式圆环薄片低阻值电阻;可拆卸的金属连接杆连接两个SMA端口在凹型槽内部部分的中心导体,构成传输通路;被测的电流传感器放置在附加低阻值盘式圆环薄片低阻值电阻的金属板上,金属连接杆从电流传感器中心位置穿过。

    接触孔形成方法、半导体器件及芯片

    公开(公告)号:CN119650515A

    公开(公告)日:2025-03-18

    申请号:CN202411791210.7

    申请日:2024-12-06

    Abstract: 本发明提供一种接触孔形成方法、半导体器件及芯片,涉及半导体技术领域。接触孔形成方法包括:自半导体器件表面的接触孔划定位置对半导体器件进行刻蚀,去除接触孔划定位置的层间介质层和部分刻蚀停止层;接触孔划定位置自下而上依次形成有金属硅化物层、刻蚀停止层和层间介质层;利用硅‑钴‑镍刻蚀工艺去除接触孔划定位置剩余的刻蚀停止层;在划定接触孔侧壁形成侧壁阻挡层,在划定接触孔底部形成底部阻挡层;利用刻蚀工艺去除部分底部阻挡层;在划定接触孔内填充金属接触材料,形成接触孔。通过本发明,能减少金属硅化物过度消耗,防止硅化物侧向生长异常,降低底部阻挡层厚度和接触孔电阻,提高器件性能。

    半导体器件电性工艺参数确定方法及装置

    公开(公告)号:CN119167847A

    公开(公告)日:2024-12-20

    申请号:CN202411344717.8

    申请日:2024-09-25

    Abstract: 本发明提供一种半导体器件电性工艺参数确定方法及装置,属于器件制作技术领域。所述半导体器件电性工艺参数确定方法包括:获取器件制造工艺参数和当前设备状态数据;基于所述器件制造工艺参数,采用预置的工艺电性相关模型,确定得到电性参数,所述预置的工艺电性相关模型用于根据器件制造工艺参数信息确定出相关联的器件电性参数信息;基于所述当前设备状态数据,采用预置的不确定性模型,确定得到工艺电性波动范围,所述预置的不确定性模型用于根据设备状态,确定出设备状态对工艺波动的影响大小;基于所述电性参数和所述工艺电性波动范围,得到器件电性工艺参数。大大提高了工作效率,确定过程简单方便,可重复使用。

    分离式深栅LDMOS器件及制造方法、芯片

    公开(公告)号:CN118763118B

    公开(公告)日:2024-12-17

    申请号:CN202411239239.4

    申请日:2024-09-05

    Abstract: 本发明涉及半导体技术领域,提供一种分离式深栅LDMOS器件及制造方法、芯片。该器件包括:衬底、体区、漂移区、源区、漏区、分离式深栅结构及场板结构,体区、漂移区、源区及漏区形成于衬底中,体区与源区相接,漂移区与漏区相接;分离式深栅结构包括多个嵌入体区内的纵向深栅,相邻两个纵向深栅之间通过体区相互隔离;场板结构包括多个嵌入漂移区内的场氧化层,相邻两个场氧化层之间通过漂移区相互隔离;相邻两个纵向深栅之间的体区与相邻两个场氧化层之间的漂移区相接,多个纵向深栅分别与多个场氧化层相接。本发明采用分离式的纵向深栅结构和场板结构形成多个导电沟道,增加栅对沟道的控制,增加器件的导通电流,从而降低导通电阻。

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