公开(公告)号：CN103048879A

公开(公告)日：2013-04-17

申请号：CN201210387601.3

申请日：2012-10-15

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 林达也 ,  村上洋介 ,  长谷川敬恭 ,  鸟居弘稔 ,  田中悠辅

IPC: G03F7/00 ,  B82Y10/00

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B29C43/021 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明提供一种压印设备和使用该压印设备的物品制造方法。该压印设备将形成在模具上的图案转印到衬底上的树脂。该压印设备包括：形状校正机构，被配置为向该模具施加力从而使形成在该模具上的图案区域变形；加热机构，被配置为加热形成在该衬底上的衬底侧图案区域从而使该衬底侧图案区域变形；和控制单元，被配置为获得关于形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别的信息，并且基于获得的信息控制该形状校正机构和晶片加热机构以便减小形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别。