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公开(公告)号:CN102810547B
公开(公告)日:2015-08-19
申请号:CN201210168410.8
申请日:2012-05-28
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L27/146
CPC classification number: H01L27/14687 , H01L27/14609 , H01L27/1463 , H01L27/14676
Abstract: 本发明涉及一种检测器件制造方法、检测器件和检测系统。在制造检测器件的方法中,所述检测器件包括排列在基板上的多个像素,并且还包括层间绝缘层,所述像素各自包括开关元件和转换元件,所述转换元件包括设置在电极上的杂质半导体层,所述电极设置在所述开关元件之上,针对每个像素被隔离,并且由与所述开关元件接合的透明导电氧化物制成,所述层间绝缘层由有机材料制成,设置在所述开关元件与所述电极之间,并且覆盖所述开关元件,所述方法包括:形成绝缘构件,所述绝缘构件均由无机材料制成,并且被设置为与层间绝缘层接触地覆盖所述电极中的相邻两个之间的层间绝缘层;和形成杂质半导体膜,所述杂质半导体膜覆盖所述绝缘构件和所述电极,并且变为所述杂质半导体层。
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公开(公告)号:CN102569318B
公开(公告)日:2014-07-23
申请号:CN201110424534.3
申请日:2011-12-16
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L27/146 , H04N5/335 , A61B6/00
CPC classification number: H01L27/14663 , G09G3/3659
Abstract: 本申请涉及矩阵衬底、检测设备、检测系统和驱动检测设备的方法。提供一种矩阵衬底,所述矩阵衬底实现高操作速度和高可靠性,并能够在连接端子数量有限的同时获得高质量图像。所述矩阵衬底包括按矩阵布置的像素、在列方向上布置的N个驱动线、P个连接端子和解复用器,其中,P小于N,所述解复用器设置在连接端子与驱动线之间并包括第一多晶半导体TFT和第一连接端子。所述解复用器还包括在连接端子之一与驱动线中的两个或更多个之间的第二多晶半导体TFT和第二控制线,第二控制线用于使驱动线保持具有使像素处于非选择状态的非选择电压。
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公开(公告)号:CN103517002A
公开(公告)日:2014-01-15
申请号:CN201310245710.6
申请日:2013-06-20
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H04N5/335 , H04N5/363 , H01L27/146
CPC classification number: G09G5/003 , G01T1/17 , H01L27/14603 , H01L27/14663 , H04N5/32 , H04N5/363
Abstract: 本发明涉及检测装置、检测系统和检测装置驱动方法。该检测装置包括:基板,该基板包含矩阵状布置并适于产生像素信号的多个像素、在列方向上布置并且分别与行方向的多个像素共同连接的多个驱动线、在行方向上布置并且分别与列方向的多个像素共同连接的多个数据线、数量比数据线少的连接端子以及设置在连接端子与数据线之间的多路复用器单元;具有用于向连接端子供给恒定的电势的复位开关并与连接端子连接的读取电路;适于控制多个像素的驱动的驱动电路;以及适于向基板和读取电路供给控制信号的控制电路。
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公开(公告)号:CN103474037A
公开(公告)日:2013-12-25
申请号:CN201310223653.1
申请日:2013-06-06
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G09G3/36
CPC classification number: H03K17/005 , G09G3/3677 , G09G2310/0286 , G11C19/28 , H01L27/1214
Abstract: 本发明涉及有源矩阵面板、检测装置和检测系统。一种有源矩阵面板包括与多个晶体管的控制电极连接的栅极线和向栅极线供给导通电压和非导通电压的驱动电路。驱动电路包括包含相互连接的多个移位寄存器单元电路的移位寄存器和包含移位寄存器单元电路的输出信号所输入的多个解复用器单元电路的解复用器。解复用器单元电路包含用于向栅极线供给导通电压的第一晶体管和用于向栅极线供给非导通电压的第二晶体管。当第二晶体管处于导通状态时,第一晶体管从非导通状态变为导通状态。
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公开(公告)号:CN103066083A
公开(公告)日:2013-04-24
申请号:CN201210404438.7
申请日:2012-10-22
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L27/146
CPC classification number: H01L27/14609 , H01L27/14665
Abstract: 本发明提供一种检测设备和检测系统,检测设备包括:晶体管,其配置在基板上;转换元件,其配置在晶体管上并连接至晶体管;电容器,其与转换元件并联连接至晶体管,该电容器在基板和转换元件之间包括:连接至转换元件的欧姆接触部、连接至欧姆接触部的半导体部、以及配置在隔着绝缘层与半导体部和欧姆接触部相对的位置处的导电部;以及电势供给单元,用于向导电部选择性地供给第一电势以在半导体部中积累载荷子,以及向导电部选择性地供给第二电势以耗尽半导体部。由上述方式配置的检测设备能够控制像素的电容,从而实现高的信噪比。
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公开(公告)号:CN102569318A
公开(公告)日:2012-07-11
申请号:CN201110424534.3
申请日:2011-12-16
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L27/146 , H04N5/335 , A61B6/00
CPC classification number: H01L27/14663 , G09G3/3659
Abstract: 本申请涉及矩阵衬底、检测设备、检测系统和驱动检测设备的方法。提供一种矩阵衬底,所述矩阵衬底实现高操作速度和高可靠性,并能够在连接端子数量有限的同时获得高质量图像。所述矩阵衬底包括按矩阵布置的像素、在列方向上布置的N个驱动线、P个连接端子和解复用器,其中,P小于N,所述解复用器设置在连接端子与驱动线之间并包括第一多晶半导体TFT和第一连接端子。所述解复用器还包括在连接端子之一与驱动线中的两个或更多个之间的第二多晶半导体TFT和第二控制线,第二控制线用于使驱动线保持具有使像素处于非选择状态的非选择电压。
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公开(公告)号:CN101842901B
公开(公告)日:2012-03-28
申请号:CN200880114009.8
申请日:2008-11-04
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L27/148
CPC classification number: H01L27/14663
Abstract: 本发明涉及放射线检测装置的制造方法、放射线检测装置和放射线成像装置。本发明的目的是实现轻型的放射线检测装置,包括以下的步骤:制备矩阵阵列,所述矩阵阵列包含基板、布置于该基板上的绝缘层和布置于该绝缘层上的多个像素,其中,所述像素包含将入射的放射线转换成电信号的转换元件和布置于所述多个像素的外周的连接电极;将用于覆盖所述多个像素的柔性支撑部件固定到所述矩阵阵列的与基板相反的一侧;以及使所述基板从所述矩阵阵列脱离。
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公开(公告)号:CN102222675A
公开(公告)日:2011-10-19
申请号:CN201110087328.8
申请日:2011-04-08
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L27/146
CPC classification number: H01L27/14663 , H01L27/14665 , H01L31/18
Abstract: 本发明涉及检测装置、制造该检测装置的方法和检测系统。提供了一种检测装置,其包括:衬底;开关元件,布置在衬底上方并且包括多个电极;导电线,布置在衬底上方并且与开关元件的多个电极中的第一电极电连接;和转换元件,包括布置在开关元件和导电线上方并且布置在两个电极之间的半导体层,所述两个电极中的一个电极与开关元件的多个电极中的第二电极电连接。所述转换元件的所述一个电极通过在所述一个电极和开关元件的第一电极之间或在所述一个电极和导电线之间形成的空间而被布置在开关元件和导电线上方。
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公开(公告)号:CN101228632B
公开(公告)日:2010-05-19
申请号:CN200680027124.2
申请日:2006-07-25
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01L27/14658 , G01T1/2018 , H01L27/14663 , H01L31/119
Abstract: 一种放射线检测设备包括:多个像素,每个像素配备有被设置在绝缘衬底上的开关元件和被设置在所述开关元件上的转换元件;以及沿着一个方向排列的并和所述多个开关元件相连的多个信号配线,其中所述转换元件具有分别对于所述像素的分离电极,所述开关元件和所述每个像素的电极相连,并且所述信号配线的在宽度方向上彼此相对的两个端部以及所述控制配线的在宽度方向上彼此相对的两个端部被设置在从转换元件的上方看时的所述电极的区域内。
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公开(公告)号:CN101013711A
公开(公告)日:2007-08-08
申请号:CN200710004773.7
申请日:2007-01-30
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L27/146 , H01L27/12 , H01L21/84 , G03B42/00
CPC classification number: H01L27/14603 , H01L27/1462 , H01L27/14632 , H01L27/14665 , H01L27/14685 , H01L27/14687 , H01L27/14692
Abstract: 提供了一种成像设备,包括以二维方式设置在绝缘基板上的多个像素,每个像素包括转换元件和薄膜晶体管;该光电转换元件设置在薄膜晶体管之上,其中用作层间绝缘膜的绝缘膜插入转换元件与薄膜晶体管之间;通过设置在绝缘膜中的接触孔使薄膜晶体管的源电极或漏电极与光电转换元件彼此连接。该成像设备具有其中通过激光束照射移除接触孔部分从而断开了转换元件与用作薄膜晶体管的源电极或漏电极的导电层之间的电连接的像素。
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