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公开(公告)号：CN107003615B
公开(公告)日：2019-01-25
申请号：CN201580064782.8
申请日：2015-11-17
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20 , G02B5/08 , G02B17/00 , H01L21/027
Abstract: 提供一种将物体的图像投影到像面上的投影光学系统。投影光学系统包括：包含第一凹面镜、凸面镜和第二凹面镜的成像光学系统；具有各自重新引导光路的第一反射表面和第二反射表面的光学部件；和支撑凸面镜的支撑部件。第一反射表面、第一凹面镜、凸面镜、第二凹面镜和第二反射表面在来自物面的光的行进方向上按顺序被设置。光学部件具有在面向凸面镜的一侧具有开口的通孔。支撑部件延伸贯穿通孔并且从开口延伸到凸面镜。
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