连续真空层压处理系统
    14.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1096716C

    公开(公告)日:2002-12-18

    申请号:CN97117638.8

    申请日:1997-08-13

    CPC classification number: H01L31/1876 H01L31/048 Y02E10/50 Y02P70/521

    Abstract: 连续真空层压处理系统,至少包括堆积必要组成件形成接受真空层压处理的堆积体的叠层工区、对堆积体抽真空的抽真空工区与对堆积体的热处理工区,各工区毗邻排成圈;于叠层工区中形成堆积体是在一批能有选择装或卸和有选择进到各工区的真空层压装置上进行,而且是在此种装置上对堆积体连续作真空层压处理同时使各装置依给定秩序相继通过上述各工区。还给出了适用作此系统中真空层压装置的真空层压设备。

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