一种纳米ZnO的化学制备方法及装置

    公开(公告)号:CN114589152B

    公开(公告)日:2023-12-05

    申请号:CN202210199666.9

    申请日:2022-03-02

    Abstract: 本发明涉及纳米材料制造设备技术领域,具体公开了一种纳米ZnO的化学制备方法及装置,包括清洗筒、支撑柱、安装基座、电机、搅拌组件、观察板、排液组件和排氧化锌组件,每根支撑柱分别与清洗筒固定连接,并分别位于清洗筒的下方,每个安装基座分别与对应的支撑柱固定连接,且电机的输出端贯穿清洗筒并与搅拌组件固定连接,清洗筒具有开口,贯穿板与清洗筒固定连接,并嵌于开口的内部,排液组件与清洗筒连通,并位于清洗筒的外表壁,排氧化锌组件与清洗筒连通,并位于清洗筒的下端。以上结构的设置,可以减少人工对氧化锌的接触,同时在清洗筒内部,可以减少氧化锌的浪费。

    一种原子层沉积MgZnO薄膜及其研究方法和应用

    公开(公告)号:CN114381712A

    公开(公告)日:2022-04-22

    申请号:CN202210056241.2

    申请日:2022-01-18

    Abstract: 本发明涉及技术领域,具体涉及一种原子层沉积MgZnO薄膜及其研究方法和应用,由如下组分进行反应制得:H2O、二乙基锌Zn(CH2CH3)2(DEZn)、一路镁源、二茂镁Mg(C5H5)2(CP2Mg);对Hr‑ZnO衬底进行生长前表面的氧辅助的离子体预处理;二乙基锌DEZn被通入生长腔室,并在Hr‑ZnO衬底表面发生自限表面化学吸附并形成Zn(CH2CH3)*表面态;随后与通入的氧源前驱体H2O进行反应,产生ZnOH*;将反应副产物CH3CH3和余量的前驱体源清除,将镁前躯体CP2Mg与产生的表面态ZnOH*反应得到新的表面态Mg(C5H5)*;将表面态Mg(C5H5)*与通入的前驱体H2O反应获得MgOH*,将MgZnO薄膜表面喷Pt(3nm)处理之后通过EDS能谱分析来进行薄膜的成分的定性及定量分析,可得薄膜的组分。

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