公开(公告)号：CN118401088A

公开(公告)日：2024-07-26

申请号：CN202410854175.2

申请日：2024-06-28

Applicant: 之江实验室

Inventor： 张晓航 ,  杨丽慧 ,  张明珠 ,  余诗玲 ,  宋艳汝 ,  朱洪力 ,  洪悦 ,  穆堂杰 ,  邹黎明 ,  王海涛 ,  王轶文 ,  段然 ,  冯毅 ,  李菂

IPC: H10N60/83 ,  H10N60/80 ,  H10N60/01 ,  G01J5/10

Abstract: 本发明公开了一种超导动态电感探测器及其制备方法，该超导动态电感探测器包括衬底和超导层，该衬底内设有多个深硅槽；该超导层包括电容、电感线圈和超导馈线，该电容覆盖深硅槽内壁和位于衬底表面，该超导馈线和电感线圈位于衬底表面，通过电感线圈将各电容相互连接，通过超导馈线将电容产生的电信号导出。该超导动态电感探测器尺寸较小，且受到噪音影响较小。

公开(公告)号：CN117070892B

公开(公告)日：2024-07-05

申请号：CN202311002593.0

申请日：2023-08-10

Applicant: 之江实验室

Inventor： 杨丽慧 ,  张晓航 ,  宋艳汝 ,  段然 ,  赵志峰 ,  李菂 ,  余诗玲 ,  冯毅 ,  陈志伟 ,  穆堂杰 ,  洪悦 ,  朱洪力

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/02 ,  C23C14/34 ,  C23C14/54 ,  H01B12/00

Abstract: 本发明公开了一种两步控制N2分压降低NbN薄膜内应力和提高超导转变温度的方法，包括以下步骤：先使用N2/Ar气体质量流量比40％～65％沉积NbN缓冲薄膜层，溅射时间为1～112s，NbN缓冲薄膜层厚度为0.1～5nm；再使用N2/Ar气体质量流量比15％～35％沉积NbN主要薄膜层，溅射时间为150～450s，NbN主要薄膜层厚度为10～30nm；最终得到低内应力和高超导转变温度的NbN超导薄膜。本发明方法通过两步控制N2分压在衬底上实现两层薄膜层生长，制备工艺简单，改善效果良好，可实现大规模生产。

公开(公告)号：CN112432635B

公开(公告)日：2022-09-16

申请号：CN202011271298.1

申请日：2020-11-13

Applicant: 之江实验室

Inventor： 郝剑 ,  翟跃阳 ,  韩邦成 ,  客洪亮 ,  刘颖 ,  唐照建 ,  穆堂杰 ,  唐陈成

IPC: G01C19/58 ,  G01C21/08 ,  G01C21/16

Abstract: 本发明提出了一种产生功率稳定的脉冲光系统的小型化设计方法，基于信号源、声光调制器、PID控制器及其驱动的数字信号和模拟信号的共同作用实现功率稳定的脉冲光输出；采用光束质量分析仪对光源进行测试，基于Tracepro软件的Scheme宏语言和表面光源生成器功能对光源进行建模仿真，实现对替代光源的建立；基于对非球面透镜和自由曲面聚焦透镜的设计，实现对一级衍射光和零级衍射光的分离，并对一级衍射光进行聚焦，使其入射至光电探测器。该方法可满足抽运激光系统和检测激光系统对脉冲光及其高稳光功率系统所需，小型化的设计为工程应用奠定了基础。本发明的方法可用于惯性测量装置、磁力仪、陀螺仪等极弱磁探测领域中及其他相关领域的脉冲光系统中。

公开(公告)号：CN112432635A

公开(公告)日：2021-03-02

申请号：CN202011271298.1

申请日：2020-11-13

Applicant: 之江实验室

Inventor： 郝剑 ,  翟跃阳 ,  韩邦成 ,  客洪亮 ,  刘颖 ,  唐照建 ,  穆堂杰 ,  唐陈成

IPC: G01C19/58 ,  G01C21/08 ,  G01C21/16

Abstract: 本发明提出了一种产生功率稳定的脉冲光系统的小型化设计方法，基于信号源、声光调制器、PID控制器及其驱动的数字信号和模拟信号的共同作用实现功率稳定的脉冲光输出；采用光束质量分析仪对光源进行测试，基于Tracepro软件的Scheme宏语言和表面光源生成器功能对光源进行建模仿真，实现对替代光源的建立；基于对非球面透镜和自由曲面聚焦透镜的设计，实现对一级衍射光和零级衍射光的分离，并对一级衍射光进行聚焦，使其入射至光电探测器。该方法可满足抽运激光系统和检测激光系统对脉冲光及其高稳光功率系统所需，小型化的设计为工程应用奠定了基础。本发明的方法可用于惯性测量装置、磁力仪、陀螺仪等极弱磁探测领域中及其他相关领域的脉冲光系统中。