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公开(公告)号：CN116184745A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202310172098.8
申请日：2023-02-14
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本申请涉及一种照明装置和光学检测设备。照明装置包括外壳、固定组件以及照明组件。外壳包括垂直于第一方向的照明表面和安装表面、设置于安装表面和照明表面之间的内腔、以及连通照明表面和安装表面的通孔。通孔用于容纳光学镜头。固定组件靠近安装表面设置于内腔中，用于在第二方向上与光学镜头可拆卸连接；第二方向垂直于第一方向；照明组件设置于内腔中。外壳包括设置于照明表面的照明孔；照明组件露出于照明孔。本申请的技术方案从根本上解决了在狭小空间内固定照明装置的难题，也消除了因照明装置滑落造成的样品表面损伤的问题。并且照明组件的设置提高了样品表面的光照强度，因此能够缩短成像所需的时间。
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公开(公告)号：CN114975213A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210883762.5
申请日：2022-07-26
Applicant: 之江实验室
IPC: H01L21/68
Abstract: 本发明公开了一种晶圆对准装置及对准方法。包括光源、成像相机、光路系统、图像处理器、晶圆载物台和二维运动平台；照明光源、成像相机、光路系统、图像处理器安装位置固定，待对准的晶圆置于晶圆载物台上，二维运动平台上安装有晶圆载物台，可实现晶圆的二维移动；通过相机对晶圆载物台上的晶圆实现宽视场快速成像，识别晶圆轮廓并拟合，得到高精度的晶圆定位信息，宽视场成像同时避免了晶圆摆放偏移量过大导致无法对准的问题。本发明的晶圆对准装置和对准方法，没有采用晶圆预对准器和二次对准即可实现高精度的晶圆定位，晶圆通过机械手直接从料盒中运送到载物台上，减少了预对准器的工作站点，能够同时提高晶圆对准的效率。
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公开(公告)号：CN114459736A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202111572710.8
申请日：2021-12-21
Abstract: 本发明公开了一种激光对焦成像系统及系统的偏移量的自动化检测方法。激光对焦系统通常用于无限远共轭光学系统中，可以检测物方待测样品的位置。其耦合到对应的检测系统或者观察系统中，虽然能够获得一致的对焦结果，但是由于激光对焦系统本身的误差，激光对焦系统耦合到系统中的安装误差以及激光对焦系统波长与检测或者成像系统使用波长的差异，导致激光对焦系统认定的样品位置并非检测系统或观察系统的成像最清晰位置，因此需要设置激光对焦系统的偏移量。本发明提出了一种激光对焦成像系统，能够判断样品上表面与激光对焦系统的焦面的相对位置，同时，提出了一种自动化设置偏移量的方法。本发明具有成本低，精度高，自动化程度高的特点。
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公开(公告)号：CN113670854A
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN202110924675.5
申请日：2021-08-12
Abstract: 本发明公开了一种微分干涉对比显微内窥成像系统及内窥成像方法，所述显微内窥成像系统包括照明光源、光导纤维、照明光路模块、成像接收模块和电缆。本发明显著特征是增强被观察物体的对比度，该技术利用微分干涉棱镜生成寻常光(o光)和非寻常光(e光)，由于两束相干光经过物体后改变了光程差，并在像面发生干涉，使样品表面高度的微小变化在干涉背景上以强烈的光强变化表现出来，形成一种浮雕感，可以观形象地反映出样品表面微观轮廓。微分干涉显微技术可以实现对样品表面纳米级的相位分辨率，观察到样品表面的微细结构，有助于帮助医生通过被观测样品的表面起伏特征判断病灶特征做出诊断。
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公开(公告)号：CN112326665A
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN202011039692.2
申请日：2020-09-28
Abstract: 本发明公开了一种基于空间分步式移频照明的缺陷检测系统，包括光源、显微物镜、管镜、图像探测器、控制模块和数据处理模块，其中，光源包括垂直照明光源和倾斜照明单元。垂直照明光源和各倾斜照明单元的出射光能够照射到被观测样品上而激发出散射场，散射场经显微物镜收集后再经管镜整形而入射到图像探测器，并由数据处理模块转换成远场强度图。控制模块按时序控制各光源的点亮以及各光源照明下图像探测器对被观测样品散射场信号的采集。数据处理模块通过对被观测样品空间频谱信息的重构，最终实现无论是在透射式照明还是反射式照明条件下，被观测样品表面复杂缺陷特征轮廓信息和细节特征信息的检测成像。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117033527B
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202311298547.X
申请日：2023-10-09
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本说明书公开了一种知识图谱的构建方法、装置、存储介质及电子设备。所述方法包括：获取用户基于已有概念设置的关系，其中，针对每个概念，若该概念与另一概念之间存在指定关系，则该概念和该概念的子概念，与另一概念和另一概念的子概念之间也存在所述指定关系；导入各源数据表格，响应于用户的指定操作，确定各源数据表格所关联的概念以及目标关系；针对每个源数据表格，根据该源数据表格所关联的概念对该源数据表格中的各属性进行映射配置；确定用户选择的目标关系的前置概念和后置概念，并根据目标关系的前置概念和后置概念对各源数据表格之间的关系进行映射配置；基于映射配置进行知识抽取并根据知识抽取结果构建知识图谱。(56)对比文件凡天娣;景旭文;肖志建;李磊;徐建新.基于本体的船舶焊接工艺知识图谱构建.电焊机.2019,(第12期),16-21.潘有能;刘朝霞.基于WordNet的关联数据本体映射研究.情报杂志.2013,(第02期),99-102.汤华茂;郭钢.基于逆向工程和粗糙集的协同设计领域本体构建方法.计算机集成制造系统.2010,(第07期),1465-1471.
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公开(公告)号：CN117056316A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202311306042.3
申请日：2023-10-10
Applicant: 之江实验室
IPC: G06F16/21 , G06F16/242 , G06F16/28
Abstract: 本说明书公开了一种多源异构数据关联查询加速方法、装置及设备。所述方法包括：获取各异构数据源，根据各异构数据源的描述信息，连接各异构数据源；接收各异构数据源对应的初始查询请求；对指定数据模式的目标数据以及查询请求进行特征抽取，得到特征向量并输入决策模型，确定不同迁移策略的执行时间，进而确定目标迁移策略，根据目标迁移策略判断是否需要进行数据迁移；若是，则按照目标迁移策略进行数据迁移，得到目标数据源；根据目标数据源对查询请求进行解析重建，并根据重建后的目标查询请求生成逻辑执行计划；根据逻辑执行计划确定物理执行计划，并执行目标查询请求对应的数据处理任务。
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公开(公告)号：CN117033467A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202311057065.5
申请日：2023-08-18
Applicant: 之江实验室
IPC: G06F16/2458 , G06F16/2455 , G06F16/22
Abstract: 本说明书公开了一种基于预计算的数据挖掘方法、装置及存储介质，获取待挖掘数据，响应于用户的业务请求，根据所述业务请求，对所述待挖掘数据进行预计算，获得中间结果，并存储；根据所述业务请求，在已存储的挖掘分析结果集中，判断是否存在所述业务请求对应的挖掘分析结果，若否，则当预计算完成时，根据所述中间结果，对所述待挖掘数据进行挖掘分析，获得所述业务请求对应的挖掘分析结果，并展示。本方法通过预计算的中间结果进行挖掘分析，减少了对待挖掘数据进行挖掘分析的时间，提高了数据挖掘分析的效率。
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公开(公告)号：CN116342589B
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202310582526.4
申请日：2023-05-23
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种跨视场划痕缺陷连续性检测方法和系统。包括：1）检测获得单视场划痕缺陷的坐标信息；2）根据划痕缺陷坐标进行工件整体划痕分布图的绘制；3）确定缺陷分布图坐标及保存图像像素映射关系；4）再通过图像预处理、骨架提取、连通域计算、拟合度计算以及坐标像素映射等步骤获得跨视场划痕的统计信息。本发明实现了对工件表面跨视场划痕缺陷的连续性检测效果，相比于现有的划痕缺陷检测算法，能够在较小的物方视场尺寸即较高的物方检测分辨率时保证划痕缺陷检测的完整性，同时不需要将跨视场划痕缺陷图像进行拼接后再进行特征的提取，大大降低了对算力的要求。
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公开(公告)号：CN116579102A
公开(公告)日：2023-08-11
申请号：CN202310520845.2
申请日：2023-05-09
Applicant: 之江实验室
IPC: G06F30/17 , G06F30/20 , G06F119/14 , G06F111/04
Abstract: 本发明公开了一种基于半定规划的金属结构箱型梁的轻量化设计方法，包括：确定金属结构箱型梁的尺寸序列，以及纵向加强筋布设的位置和数量，得到所有可能的截面，进行稳定性判定，得到可行截面集合；计算可行截面集合中每个截面的面积和强轴惯性矩，得到“面积‑惯性矩”平面中的点集；定义点集的凸包，得到凸多边形顶点的组合系数；以箱型梁截面面积最小为优化目标，考虑箱型梁的柔度约束和力平衡约束，以凸多边形顶点的组合系数为变量，构建松弛优化问题的非凸模型；将松弛优化问题的非凸模型等效转化为半定规划问题，求解得到全局最优解；对全局最优解进行邻域搜索，得到离散可行解，即金属结构箱型梁的截面设计方案。
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